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1. (WO2008126173) TCPハンドリング装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/126173 国際出願番号: PCT/JP2007/054972
国際公開日: 23.10.2008 国際出願日: 13.03.2007
IPC:
G01R 31/26 (2014.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
26
個々の半導体装置の試験
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
出願人:
株式会社アドバンテスト ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 〒1790071 東京都練馬区旭町1丁目32番1号 Tokyo 32-1, Asahicho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 1790071, JP (AllExceptUS)
村野 寿 MURANO, Hisashi [JP/JP]; JP (UsOnly)
小野澤 正貴 ONOZAWA, Masataka [JP/JP]; JP (UsOnly)
大西 武士 ONISHI, Takeshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
村野 寿 MURANO, Hisashi; JP
小野澤 正貴 ONOZAWA, Masataka; JP
大西 武士 ONISHI, Takeshi; JP
代理人:
早川 裕司 HAYAKAWA, Yuzi; 〒1070052 東京都港区赤坂六丁目9番5号氷川アネックス2号館501 アーケイディア特許事務所 Tokyo Arcadia Patent Firm, Suite 501, Hikawa-Annex No.2 9-5, Akasaka 6-chome, Minato-ku, Tokyo 1070052, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) TCP HANDLING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MANIPULATION DE TCP
(JA) TCPハンドリング装置
要約:
(EN) A carrier tape (5) on which a plurality of TCPs are formed is conveyed and pressed against a probe card (8) having a plurality of probes (81) connected electrically with a test head (10), and the plurality of TCPs can be tested sequentially by connecting the test pad of a TCP with the probe (81). In such a TCP handler (2), a camera (6d) which can be inserted between the carrier tape (5) and the probe card (8) is provided in order to shoot the test pad of a TPC on the carrier tape (5) and the distal end of the probe (81) of a probe card (8) by the camera (6d). Since the distal end of the probe (81) can be shot directly, alignment of the test pad of a TCP with the probe (81) of a probe card (8) can be performed extremely accurately.
(FR) Une bande porteuse (5) sur laquelle une pluralité de TCP sont formés est transportée et pressée contre une carte de sonde (8) ayant une pluralité de sondes (81) connectées électriquement avec une tête de test (10), et la pluralité de TCP peut être testée de manière séquentielle par la connexion de la pastille de test d'un TCP avec la sonde (80). Dans un tel dispositif de manipulation de TCP (2), une caméra (6d) qui peut être introduite entre la bande porteuse (5) et la carte de sonde (8) est prévue afin de filmer la pastille de test d'un TCP sur la bande porteuse (5) et l'extrémité distale de la sonde (81) d'une carte de sonde (8). Etant donné que l'extrémité distale de la sonde (81) peut être filmée directement, l'alignement de la pastille de test d'un TCP avec la sonde (81) d'une carte de sonde (8) peut être exécuté de manière extrêmement précise.
(JA)  TCPが複数形成されたキャリアテープ5を搬送して、テストヘッド10に電気的に接続されている複数のプローブ81を有するプローブカード8に対してキャリアテープ5を押圧し、TCPのテストパッドをプローブ81に接続させることにより、複数のTCPを順次試験に付すことのできるTCPハンドラ2において、キャリアテープ5とプローブカード8との間に挿入し得るカメラ6dを設け、そのカメラ6dによって、キャリアテープ5上のTCPのテストパッド)と、プローブカード8のプローブ81の先端部とを撮影する。これにより、プローブ81の先端部を直接撮影することができるため、TCPのテストパッドとプローブカード8のプローブ81との位置合わせを極めて正確に行うことができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020100005067