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1. (WO2008123525) ファブリペロー型波長可変フィルタおよびその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/123525    国際出願番号:    PCT/JP2008/056491
国際公開日: 16.10.2008 国際出願日: 01.04.2008
IPC:
G02B 26/00 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
出願人: YAMAICHI ELECTRONICS CO., LTD. [JP/JP]; 28-7, Nakamagome 3-chome, Ohta-ku Tokyo 1438515 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOSHIN KOGAKU CO., LTD. [JP/JP]; 69-3, bodai Hadano-shi Kanagawa 2591302 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YAMANOI, Toshio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ENDOU, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YAMANOI, Toshio; (JP).
ENDOU, Takashi; (JP)
代理人: KIKUCHI, Osamu; AOZORA INTERNATIONAL PATENT OFFICE 4TH FL., IMAS HAMAMATSUCHO BLDG. 2-10-4, HAMAMATSUCHO, MINATO-KU Tokyo 1050013 (JP)
優先権情報:
2007-097411 03.04.2007 JP
発明の名称: (EN) FABRY-PEROT TYPE WAVELENGTH-VARIABLE FILTER AND ITS MANUFACTURING METHOD
(FR) FILTRE ACCORDABLE EN LONGUEUR D'ONDE DE TYPE FABRY-PÉROT ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) ファブリペロー型波長可変フィルタおよびその製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is a small-size Fabry-Perot type wavelength-variable filter which can be driven by a low voltage and applied to light of a wide wavelength band from an infrared ray to an ultraviolet ray, for example. The filter includes an SOI substrate (1), a movable portion (2) which is displaced horizontally with respect to the surface of the SOI substrate, a suspension support body (3) which supports the movable portion (2) in such a manner that the movable portion (2) can elastically move, and a fixed portion (4) which is fixed to the SOI substrate (1). A comb-shaped electrostatic actuator which displaces the movable portion (2) has a comb-shaped electrode (5) which controls/displaces in the horizontal direction, a first mirror structure (6) formed on the surface of the movable portion (2). In the Fabry-Perot type wavelength-variable filter, a first mirror surface (6a) of a first mirror structure (6) and a second mirror surface (7a) of a second mirror structure (7) are arranged in parallel to each other and opposed to each other so as to constitute an optical resonator. The resonator length is changed by the aforementioned displacement in the horizontal direction.
(FR)L'invention concerne un petit filtre accordable en longueur d'onde de type Fabry-Pérot, qui peut fonctionner avec une basse tension et filtrer la lumière dans une large bande de longueur d'onde allant des infrarouges aux ultraviolets, par exemple. Ce filtre comprend un substrat de SOI (1), une partie mobile (2) qui se déplace parallèlement à la surface du substrat de SOI, un corps de support de suspension (3) qui soutient la partie mobile (2) tout en lui permettant de se déplacer et de revenir en place, et une partie fixe (4) collée au substrat de SOI (1). Un excitateur électrostatique en forme de peigne, qui fait bouger la partie mobile (2), possède une électrode en forme de peigne (5) qui assure le contrôle et le déplacement horizontal, et la surface de la partie mobile (2) porte une première structure à miroirs (6). Dans ce filtre accordable en longueur d'onde de type Fabry-Pérot, une première surface de miroir (6a) d'une première structure à miroirs (6) et une seconde surface de miroir (7a) d'une seconde structure à miroirs (7) sont parallèles et opposées afin de former un résonateur optique. La longueur de ce résonateur change lors du déplacement horizontal mentionné ci-dessus.
(JA) 例えば赤外光から紫外光にわたる広い波長帯域の光において適用可能であり、小型で低電圧駆動するファブリペロー型波長可変フィルタを提供する。  SOI基板1の表面に対し水平方向に変位する可動部2、可動部2を弾性可動に支持するサスペンション支持体3、SOI基板1に固定された固定部4が設けられる。可動部3を変位させる櫛歯型静電アクチュエータの櫛型電極5により、可動部2表面に接合して形成された第1のミラー構造体6が水平方向に制御され変位する。このファブリペロー型波長可変フィルタでは、第1のミラー構造体6の第1のミラー面6aと、固定部4の表面に接合して形成された第2のミラー構造体7の第2のミラー面7aとが平行に対向配置されて光共振器をなし、上記水平方向の変位によりその共振器長を変える構成になっている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)