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1. (WO2008123432) 測定により場を取得する装置および方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/123432 国際出願番号: PCT/JP2008/056137
国際公開日: 16.10.2008 国際出願日: 28.03.2008
IPC:
G01N 27/90 (2006.01) ,G01Q 30/04 (2010.01) ,G01Q 60/50 (2010.01) ,G01R 29/12 (2006.01) ,G01R 33/02 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
27
電気的,電気化学的,または磁気的手段の利用による材料の調査または分析
72
磁気変量の調査によるもの
82
きずの調査用
90
渦電流を用いるもの
G 物理学
01
測定;試験
Q
走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
30
走査プローブ技術または装置の補助または改良に資する補助的手段,例.表示装置またはデータ処理装置
04
表示装置またはデータ処理装置
G 物理学
01
測定;試験
Q
走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
60
特定の型のSPMまたはそのための装置;その基本的な構成部品
50
MFMまたはそのための装置,例.MFM用のプローブ
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
29
グループ19/00~27/00に包含されない電気量を指示しまたは測定する装置
12
静電界の測定
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33
磁気的変量を測定する計器または装置
02
磁界または磁束の方向または大きさの測定
出願人:
国立大学法人京都大学 Kyoto University [JP/JP]; 〒6068501 京都府京都市左京区吉田本町36番地1 Kyoto 36-1, Yoshida-honmachi, Sakyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6068501, JP (AllExceptUS)
木村 建次郎 KIMURA, Kenjiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
小林 圭 KOBAYASHI, Kei [JP/JP]; JP (UsOnly)
山田 啓文 YAMADA, Hirofumi [JP/JP]; JP (UsOnly)
松重 和美 MATSUSHIGE, Kazumi [JP/JP]; JP (UsOnly)
堀内 喬 HORIUCHI, Takashi [JP/JP]; JP (UsOnly)
佐藤 宣夫 SATOH, Nobuo [JP/JP]; JP (UsOnly)
中井 章文 NAKAI, Akifumi [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
木村 建次郎 KIMURA, Kenjiro; JP
小林 圭 KOBAYASHI, Kei; JP
山田 啓文 YAMADA, Hirofumi; JP
松重 和美 MATSUSHIGE, Kazumi; JP
堀内 喬 HORIUCHI, Takashi; JP
佐藤 宣夫 SATOH, Nobuo; JP
中井 章文 NAKAI, Akifumi; JP
代理人:
松阪 正弘 MATSUSAKA, Masahiro; 〒5420081 大阪府大阪市中央区南船場1丁目11番9号 長堀八千代ビル6階 Osaka Nagahori-Yachiyo Bldg. 6F 11-9, Minamisemba 1-chome Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5420081, JP
優先権情報:
2007-09185630.03.2007JP
発明の名称: (EN) DEVICE AND METHOD FOR ACQUIRING A FIELD BY MEASUREMENT
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR ACQUÉRIR UN CHAMP DE MESURE
(JA) 測定により場を取得する装置および方法
要約:
(EN) A magnetic force distribution on a measurement plane (91) is acquired as a magnetic force image above a sample (9) having a magnetic domain by using an MFM. Measurement is executed on a measurement plane (92) apart from the measurement plane (91) by a small distance d so as to acquire an auxiliary magnetic force image. The difference between them is divided by the small distance d so as to obtain a magnetic force gradient image. The magnetic force image and the auxiliary magnetic force image are subjected to the Fourier transform and substituted into a tertiary field acquisition expression derived from a general solution of the Laplace expression. Thus, it is possible to obtain a tertiary field indicating a magnetic force with a high accuracy. By acquiring the tertiary field, it is also possible to obtain the state of the magnetic domain on a surface (93) of a sample (9) with a high accuracy. The tertiary field acquisition method using the tertiary field acquisition expression can be applied to various fields which satisfy the Laplace expression such as a magnetic position, an electric potential, a temperature, and a gravity potential. Moreover, the tertiary field acquisition can be extended to acquisition of a higher n-dimension field.
(FR) Une distribution de force magnétique sur un plan de mesure (91) est acquise sous forme d'image de force magnétique au-dessus d'un échantillon (9) ayant un domaine magnétique à l'aide d'un MFM. La mesure est exécutée sur un plan de mesure (92) séparé du plan de mesure (91) d'une petite distance d, de façon à acquérir une image de force magnétique auxiliaire. La différence entre celles-ci est divisée par la petite distance d, de façon à obtenir une image de gradient de force magnétique. L'image de force magnétique et l'image de force magnétique auxiliaire sont soumises à la transformée de Fourier et substituées dans une expression d'acquisition de champ tertiaire issue d'une solution générale de l'expression de Laplace. Ainsi, il est possible d'obtenir un champ tertiaire indiquant une force magnétique avec une précision élevée. Par l'acquisition du champ tertiaire, il est également possible d'obtenir l'état du domaine magnétique sur une surface (93) d'un échantillon (9) avec une précision élevée. Le procédé d'acquisition de champ tertiaire utilisant l'expression d'acquisition de champ tertiaire peut être appliqué à divers champs qui satisfont l'expression de Laplace, tels qu'une position magnétique, un potentiel électrique, une température et un potentiel de gravité. De plus, l'acquisition de champ tertiaire peut être étendue à l'acquisition d'un champ de dimension n supérieure.
(JA)  磁区を有する試料(9)の上方において、MFMを用いて測定面(91)での磁気力の分布が磁気力画像として取得され、測定面(91)から微小距離dだけ離れた測定面(92)にて測定を行って補助磁気力画像が取得され、これらの差分を微小距離dで除算して磁気力勾配画像が取得される。磁気力画像および補助磁気力画像はフーリエ変換されてラプラス方程式の一般解から導かれる3次元場取得式に代入され、磁気力を示す3次元場が高精度に取得される。3次元場の取得により、試料(9)の表面93における磁区の様子も高精度に得ることができる。3次元場取得式を利用する3次元場取得方法は、ラプラス方程式を満たす磁位、電位、温度、重力ポテンシャル等の様々な場に利用することができる。また、3次元場の取得は高次のn次元場の取得に拡張することができる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020090130369EP2141481JPWO2008123432US20100219819JP4878063