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1. (WO2008120656) プラズマガン周辺を電気的中性にしたプラズマ生成装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/120656 国際出願番号: PCT/JP2008/055841
国際公開日: 09.10.2008 国際出願日: 27.03.2008
IPC:
C23C 14/32 (2006.01) ,H05H 1/32 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
32
爆発によるもの;蒸発およびその後の蒸気のイオン化によるもの
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
26
プラズマトーチ
32
アークを用いるもの
出願人:
株式会社フェローテック Ferrotec Corporation [JP/JP]; 〒1040031 東京都中央区京橋1丁目4番14号 Tokyo 4-14, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040031, JP (AllExceptUS)
椎名 祐一 SHIINA, Yuichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
椎名 祐一 SHIINA, Yuichi; JP
代理人:
三木 久巳 MIKI, Hisami; 〒5410056 大阪府大阪市中央区久太郎町2丁目3番8号 ハイム船場303号 Osaka Haim-Senba 303, 3-8 Kyutaromachi 2-chome Chuo-ku, Osaka-shi Osaka 5410056, JP
優先権情報:
2007-09335630.03.2007JP
発明の名称: (EN) PLASMA GENERATION EQUIPMENT RENDERED ELECTRICALLY NEUTRAL ON THE PERIPHERY OF PLASMA GUN
(FR) EQUIPEMENT DE GÉNÉRATION DE PLASMA RENDU ÉLECTRIQUEMENT NEUTRE À LA PÉRIPHÉRIE D'UN CANON À PLASMA
(JA) プラズマガン周辺を電気的中性にしたプラズマ生成装置
要約:
(EN) Plasma generation equipment having a plasma gun which can remove droplets mixed with plasma efficiently without reducing the effective amount of plasma generated by vacuum arc discharge and in which a droplet removing section can be constituted easily and inexpensively, and precision of surface treatment of films by high purity plasma can be enhanced. Periphery of the cathode (407) of a plasma gun is surrounded by an enclosure member (420) and a droplet remover (406) constituted by laying a plurality of droplet catching members (411) in multilayer is provided on the inside of the enclosure member (420). The enclosure member (420), the catching member (411) and a plasma traveling path (402) have no relation of connection with an arc power supply (409) and held in electrically neutral floating state.
(FR) La présente invention concerne un équipement de génération de plasma présentant un canon à plasma qui peut efficacement éliminer des gouttelettes mélangées au plasma sans réduire la quantité effective de plasma générée par décharge à arc solide et dans lequel une section d'élimination des gouttelettes peut être construite aisément et à moindre coût, et dans lequel la précision du traitement de surface de films par plasma de pureté élevée peut être améliorée. La périphérie de la cathode (407) d'un canon à plasma est entourée par un élément d'enceinte (420) et un élément éliminant les gouttelettes (406) construit en déposant une pluralité d'éléments attrapant les gouttelettes (411) en multicouche se situe à l'intérieur de l'élément d'enceinte (420). L'élément d'enceinte (420), l'élément attrapant les gouttelettes (411) et la voie où circule le plasma (402) n'ont aucune relation de connexion avec une alimentation d'arc (409) et sont maintenus dans un état flottant électriquement neutre.
(JA)  プラズマガンにおいて、真空アーク放電により発生させるプラズマの有効量を減退させることなく、プラズマに混入するドロップレットを効率的に除去でき、しかも簡易かつ安価にドロップレット除去部を構成でき、高純度プラズマによる成膜等の表面処理精度の向上を図ることのできるプラズマ生成装置を提供する。プラズマガン陰極407の周辺は、外囲部材420によって包囲され、外囲部材420の内側には、ドロップレットを捕集する捕集部材411を複数個、多層状に構成したドロップレット除去装置406が設けられている。外囲部材420、捕集部材411及びプラズマ進行路402は、アーク電源409との接続関係がなく、電気的に中性の浮遊状態に保持されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
SG154980EP2138603US20100059369CN101636520