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1. (WO2008120654) 異方導電性コネクター、プローブ部材およびウエハ検査装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/120654 国際出願番号: PCT/JP2008/055826
国際公開日: 09.10.2008 国際出願日: 27.03.2008
IPC:
H01R 11/01 (2006.01) ,G01R 1/073 (2006.01) ,H01B 5/16 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
R
導電接続;互いに絶縁された多数の電気接続要素の構造的な集合体;嵌合装置;集電装置
11
互いに接続される導電部材用の,間隔をあけた2つ以上の接続箇所を有する個々の接続部材(例,電線またはケーブルによって支持され,かつ,他の電線,端子,導電部材への電気接続を容易にするための手段を備えた,電線またはケーブルのための端子片,締付け端子柱ブロック)
01
接続位置間の導電相互接続の形状または配列に特徴があるもの
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1
グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02
一般的な構造の細部
06
測定用導線;測定用探針
067
測定用探針
073
複合探針
H 電気
01
基本的電気素子
B
ケーブル;導体;絶縁体;導電性,絶縁性または誘導性特性に対する材料の選択
5
形を特徴とする非絶縁導体または導電物体
16
絶縁材料またはほとんど導電性を有しない導電材料中に導電材料を含むもの
出願人:
JSR株式会社 JSR Corporation [JP/JP]; 〒1040045 東京都中央区築地五丁目6番10号 Tokyo 6-10, Tsukiji 5-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040045, JP (AllExceptUS)
直井 雅也 NAOI, Masaya [JP/JP]; JP (UsOnly)
藤山 等 FUJIYAMA, Hitoshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
三浦 一裕 MIURA, Ichihiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
直井 雅也 NAOI, Masaya; JP
藤山 等 FUJIYAMA, Hitoshi; JP
三浦 一裕 MIURA, Ichihiro; JP
代理人:
大井 正彦 OHI, Masahiko; 〒1010062 東京都千代田区神田駿河台三丁目4番地 日専連朝日生命ビル Tokyo Nissenren-Asahiseimei Building 4, Kanda Surugadai 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010062, JP
優先権情報:
2007-09181430.03.2007JP
発明の名称: (EN) ANISOTROPIC CONDUCTIVE CONNECTOR, PROBE MEMBER AND WAFER INSPECTION EQUIPMENT
(FR) CONNECTEUR CONDUCTEUR ANISOTROPE, ÉLÉMENT DE SONDE ET ÉQUIPEMENT D'INSPECTION DE TRANCHE
(JA) 異方導電性コネクター、プローブ部材およびウエハ検査装置
要約:
(EN) An anisotropic conductive connector ensuring uniform conductivity at all conductive parts when an inspection object wafer is pressed even if the wafer has a large area and the total number of electrodes to be inspected of an integrated circuit is 10000 or above. A probe member and wafer inspection equipment equipped with an anisotropic conductive connector are also provided. The anisotropic conductive connector consists of a frame plate in which a plurality of holes for arranging an anisotropic conductive film are formed, and a plurality of elastic anisotropic conductive films arranged in the holes of the frame plate for arranging the anisotropic conductive film and supported on the periphery of the holes for arranging the anisotropic conductive film. Each elastic anisotropic conductive film has a plurality of conductive parts for connection extending in the thickness direction while containing conductive particles exhibiting magnetism densely in an elastic polymer substance, and a part for insulating these conductive parts for connection from each other. The conductive part for connection of the elastic anisotropic conductive film arranged in the peripheral region of the frame plate has a thickness thinner than that of the conductive part for connection of the elastic anisotropic conductive film arranged in the central region of the frame plate.
(FR) L'invention concerne un connecteur conducteur anisotrope assurant une conductivité uniforme au niveau de toutes les parties conductrices lorsqu'une tranche objet d'inspection est pressée même si la tranche a une aire importante et que le nombre total d'électrodes qui doivent être inspectées d'un circuit intégré, est de 10 000 ou plus. L'invention concerne également un élément de sonde et un équipement d'inspection de tranche équipé d'un connecteur conducteur anisotrope. Le connecteur conducteur anisotrope se compose d'une plaque de cadre dans laquelle sont formés une pluralité de trous pour disposer un film conducteur anisotrope, et d'une pluralité de films conducteurs anisotropes élastiques disposés dans les trous de la plaque de cadre pour agencer le film conducteur anisotrope et supportés sur la périphérie des trous pour agencer le film conducteur anisotrope. Chaque film conducteur anisotrope élastique a une pluralité de parties conductrices pour une connexion s'étendant dans la direction de l'épaisseur tout en contenant des particules conductrices présentant un magnétisme de façon dense dans une substance polymère élastique, et une partie pour isoler les unes des autres ces parties conductrices pour une connexion. La partie conductrice pour une connexion du film conducteur anisotrope élastique disposé dans la région périphérique de la plaque de cadre a une épaisseur plus fine que celle de la partie conductrice pour une connexion du film conducteur anisotrope élastique disposé dans la région centrale de la plaque de cadre.
(JA)  検査対象のウエハが大面積のもので、集積回路の被検査電極の総数が10000以上のものでも、加圧されたときに、全ての導電部において均一な導通性が得られる異方導電性コネクター、プローブ部材およびこれを具えたウエハ検査装置を提供する。  本発明の異方導電性コネクターは、複数の異方導電膜配置用孔が形成されたフレーム板と、フレーム板の異方導電膜配置用孔内に配置され、異方導電膜配置用孔の周辺部に支持された複数の弾性異方導電膜とよりなり、弾性異方導電膜の各々は、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子が密に含有されてなる厚み方向に伸びる複数の接続用導電部、およびこれらの接続用導電部を相互に絶縁する絶縁部を有し、フレーム板における周辺領域に配置された弾性異方導電膜の接続用導電部は、その厚みが当該フレーム板における中央領域に配置された弾性異方導電膜の接続用導電部の厚みより小さいものである。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
KR1020090127156JPWO2008120654US20100127724JP4952787