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1. (WO2008120625) 高繰返しパルス電源及びこの高繰返しパルス電源を備えた露光装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/120625 国際出願番号: PCT/JP2008/055670
国際公開日: 09.10.2008 国際出願日: 26.03.2008
予備審査請求日: 15.12.2008
IPC:
H03K 3/53 (2006.01) ,H03K 3/57 (2006.01)
H 電気
03
基本電子回路
K
パルス技術
3
電気的パルスの発生回路;単安定回路,双安定回路,多安定回路
02
パルスの発生に用いられる回路形式または手段によって特徴づけられた発生器
53
外部信号により制御されるスイッチング素子によって負荷を通して放電させられ,かつ正帰還が組みこまれていないエネルギ蓄積素子の使用によるもの
H 電気
03
基本電子回路
K
パルス技術
3
電気的パルスの発生回路;単安定回路,双安定回路,多安定回路
02
パルスの発生に用いられる回路形式または手段によって特徴づけられた発生器
53
外部信号により制御されるスイッチング素子によって負荷を通して放電させられ,かつ正帰還が組みこまれていないエネルギ蓄積素子の使用によるもの
57
開閉装置が半導体装置であるもの
出願人:
国立大学法人熊本大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KUMAMOTO UNIVERSITY [JP/JP]; 〒8608555 熊本県熊本市黒髪二丁目39番1号 Kumamoto 2-39-1, Kurokami, Kumamoto-shi, Kumamoto 8608555, JP (AllExceptUS)
佐久川貴志 SAKUGAWA, Takashi [JP/JP]; JP (UsOnly)
秋山秀典 AKIYAMA, Hidenori [JP/JP]; JP (UsOnly)
勝木淳 KATSUKI, Sunao [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
佐久川貴志 SAKUGAWA, Takashi; JP
秋山秀典 AKIYAMA, Hidenori; JP
勝木淳 KATSUKI, Sunao; JP
代理人:
松尾憲一郎 MATSUO, Kenichiro; 〒8100042 福岡県福岡市中央区赤坂1丁目10番17号 しんくみ赤坂ビル7階 Fukuoka 7th Floor, Shinkumi Akasaka Bldg., 10-17, Akasaka 1-chome, Chuo-ku, Fukuoka-shi, Fukuoka 8100042, JP
優先権情報:
2007-09565330.03.2007JP
発明の名称: (EN) HIGH REPETITION PULSE POWER SUPPLY AND LITHOGRAPHY SYSTEM WITH HIGH REPETITION PULSE POWER SUPPLY
(FR) ALIMENTATION ÉLECTRIQUE À IMPULSION À RÉPÉTITION ÉLEVÉE ET SYSTÈME DE LITHOGRAPHIE AVEC ALIMENTATION ÉLECTRIQUE À IMPULSION À RÉPÉTITION ÉLEVÉE
(JA) 高繰返しパルス電源及びこの高繰返しパルス電源を備えた露光装置
要約:
(EN) A pulse power supply which can perform high repetition by enhancing the throughput of a pulse supply comprising a charger, an initial stage capacitor section equipped with a capacitor charged by the charger, and a magnetic pulse compression circuit performing magnetic pulse compression of a pulse current generated by discharge at the initial stage capacitor section before being outputted, and a lithography system comprising that pulse power supply. The pulse power supply is provided, between the initial stage capacitor section and the magnetic pulse compression circuit, with a transistor for controlling the timing of discharge from the initial stage capacitor section, an inductor constituting a resonance circuit together with the capacitor at the initial stage capacitor section, and a diode for rectifying the pulse current, and further provided with a means for preventing generation of a pulse current in the reverse direction.
(FR) L'invention concerne une alimentation électrique à impulsion qui peut effectuer une répétition élevée en augmentant le débit d'une fourniture d'impulsions comprenant un chargeur, une section de condensateur d'étage initial équipée d'un condensateur chargé par le chargeur, et un circuit de compression d'impulsions magnétique effectuant une compression d'impulsions magnétique d'un courant d'impulsion généré par la décharge au niveau de la section de condensateur d'étage initial avant d'être émis, et un système de lithographie comprenant cette alimentation électrique à impulsion. L'alimentation électrique à impulsion comprend, entre la section de condensateur d'étage initial et le circuit de compression d'impulsions magnétique, un transistor pour commander le cadencement de décharge à partir de la section de condensateur d'étage initial, une bobine d'induction constituant un circuit résonant conjointement avec le condensateur au niveau de la section de condensateur d'étage initial, et une diode pour redresser le courant à impulsion, et comporte en outre des moyens pour empêcher la génération d'un courant d'impulsion dans le sens inverse.
(JA)  充電器と、この充電器で充電されるコンデンサを備えた初段コンデンサ部と、この初段コンデンサ部の放電によって生じるパルス電流を磁気パルス圧縮して出力する磁気パルス圧縮回路とを備えたパルス電源のスループットを向上させて、高繰り返し可能としたパルス電源及びこのパルス電源を備えた露光装置を提供する。  パルス電源は、初段コンデンサ部と磁気パルス圧縮回路の間に、初段コンデンサ部からの放電のタイミングを制御するトランジスタと、初段コンデンサ部のコンデンサとともに共振回路を構成するインダクタと、パルス電流を整流するダイオードとを設けるとともに、パルス電流に逆流方向の電流が生じることを防止する逆流防止手段を設ける。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2008120625US20100134776