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1. (WO2008120430) シートプラズマ装置及びシート状プラズマ調整方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/120430 国際出願番号: PCT/JP2008/000140
国際公開日: 09.10.2008 国際出願日: 05.02.2008
IPC:
C23C 14/46 (2006.01) ,H05H 1/00 (2006.01) ,H05H 1/24 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
34
スパッタリング
46
外部のイオン源により作られたイオンビームによるもの
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
H 電気
05
他に分類されない電気技術
H
プラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1
プラズマの生成;プラズマの取扱い
24
プラズマの発生
出願人:
新明和工業株式会社 SHINMAYWA INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 〒6658550 兵庫県宝塚市新明和町1番1号 Hyogo 1-1, Shinmeiwa-cho, Takarazuka-shi, Hyogo 6658550, JP (AllExceptUS)
岡田基 OKADA, Motoi; null (UsOnly)
山川健司 YAMAKAWA, Kenji; null (UsOnly)
古塚毅士 FURUTSUKA, Takeshi; null (UsOnly)
村下善朗 MURASHITA, Yoshiro; null (UsOnly)
発明者:
岡田基 OKADA, Motoi; null
山川健司 YAMAKAWA, Kenji; null
古塚毅士 FURUTSUKA, Takeshi; null
村下善朗 MURASHITA, Yoshiro; null
代理人:
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 〒6500031 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 Hyogo 3rd Fl., Bo-eki Bldg. 123-1, Higashimachi, Chuo-ku Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
優先権情報:
2007-08485028.03.2007JP
発明の名称: (EN) SHEET PLASMA APPARATUS AND SHEET-LIKE PLASMA ADJUSTING METHOD
(FR) APPAREIL DE PLASMA DE FEUILLET ET PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT DE PLASMA DE TYPE FEUILLET
(JA) シートプラズマ装置及びシート状プラズマ調整方法
要約:
(EN) A sheet plasma apparatus is provided with a plasma gun (10); an anode (51); a sheet plasma deforming tank (20) for deforming columnar plasma (22) into sheet-like plasma (27); a pair of permanent magnets (24A, 24B) arranged on the outer side of the sheet plasma deforming tank (20); a moving mechanism (70) for relatively moving the pair of permanent magnets to the center axis (22A) of the cylindrical plasma; a film forming tank (30); and a pair of sensors (S1, S2), which are arranged at positions sandwiching the center axis of the columnar plasma in the width direction of the sheet-like plasma, for detecting a physical quantity relating to plasma density; and a control apparatus (90). The control apparatus (90) moves the pair of permanent magnets (24A, 24B) by the moving mechanism (70) and adjusts the balance of the plasma density in the width direction of the sheet-like plasma, based on the physical quantity detected by the pair of sensors (S1, S2).
(FR) L'invention concerne un appareil de plasma de feuillet qui comporte un canon à plasma (10) ; une anode (51) ; un réservoir de déformation de plasma de feuillet (20) pour déformer un plasma en colonne (22) en un plasma de type feuillet (27) ; une paire d'aimants permanents (24A, 24B) disposés sur le coté externe du réservoir de déformation de plasma de feuillet (20) ; un mécanisme de déplacement (70) pour déplacer relativement la paire d'aimants permanents vers l'axe central (22A) du plasma cylindrique ; un réservoir de formation de film (30) ; et une paire de détecteurs (S1, S2), qui sont disposés à des positions prenant en sandwich l'axe central du plasma en colonne dans la direction de la largeur du plasma de type feuillet, pour détecter une quantité physique liée à la densité de plasma ; et un appareil de commande (90). L'appareil de commande (90) déplace la paire d'aimants permanents (24A, 24B) par le mécanisme de déplacement (70) et ajuste l'équilibre de la densité de plasma dans la direction de la largeur du plasma de type feuillet, sur la base de la quantité physique détectée par la paire de détecteurs (S1, S2).
(JA) 本発明のシートプラズマ装置は、プラズマガン(10)と、陽極(51)と、円柱状プラズマ(22)をシート状プラズマ(27)に変形するシートプラズマ変形槽(20)と、シートプラズマ変形槽(20)の外側に設けられた一対の永久磁石(24A,24B)と、一対の永久磁石を円柱状プラズマの中心軸(22A)に対し相対的に移動させる移動機構(70)と、成膜槽(30)と、シート状プラズマの幅方向において円柱状プラズマの中心軸を挟む位置に設けられた、プラズマ密度と関連する物理量を検知するための一対のセンサ(S1,S2)と、制御装置(90)と、を備え、制御装置(90)は、一対のセンサ(S1,S2)により検知された物理量に基づいて、移動機構(70)により一対の永久磁石(24A,24B)を移動させてシート状プラズマの幅方向におけるプラズマ密度のバランスを調整する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
また、:
JPWO2008120430JP5261179