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1. (WO2008120294) 搬送装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/120294    国際出願番号:    PCT/JP2007/054065
国際公開日: 09.10.2008 国際出願日: 02.03.2007
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), B25J 9/06 (2006.01), B65G 49/06 (2006.01)
出願人: DAIHEN Corporation [JP/JP]; 2-1-11, Tagawa, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5328512 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MIYAMOTO, Akira [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SADO, Daisuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OKAMOTO, Akira [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUO, Hideki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NISHIMORI, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MIYAMOTO, Akira; (JP).
SADO, Daisuke; (JP).
OKAMOTO, Akira; (JP).
MATSUO, Hideki; (JP).
NISHIMORI, Yasuhiro; (JP)
代理人: YOSHIDA, Minoru; 2-32-1301, Tamatsukuri-motomachi, Tennoji-ku, Osaka-shi, Osaka 5430014 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) CONVEYING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT
(JA) 搬送装置
要約: front page image
(EN)A conveying device (A) disposed in a vacuum chamber (B) comprises a fixed base (1), a turning base (2) which is so held as to be capable of turning relative to the fixed base (1), linear- movable mechanisms (3A, 3B) supported on the turning base (2), and hands (4A, 4B) supported on the linear mechanisms (3A, 3B), respectively. A work (W) placed on the hands (4A, 4B) is conveyed by the operation of the linear-movable mechanisms (3A, 3B). Heat radiation plates (62, 63, 65) are provided at suitable places on the lower surface of the turning base (2) or the lower surfaces of the linear moving mechanisms (3A, 3B). The wall of the vacuum chamber (B) opposed to the lower surface of the turning base (2) is provided with heat absorbing plates (61, 66).
(FR)Un dispositif de transport (A) disposé dans une chambre sous vide (B) comprend une base fixe (1), une base tournante (2) qui est maintenue de façon à être capable de tourner par rapport à la base fixe (1), des mécanismes mobiles linéaires (3A, 3B) supportés sur la base tournante (2), et des mains (4A, 4B) supportées sur les mécanismes linéaires (3A, 3B), respectivement. Un travail (W) placé sur les mains (4A, 4B) est transporté par l'actionnement des mécanismes mobiles linéaires (3A, 3B). Des plaques de rayonnement thermique (62, 63, 65) sont disposées à des endroits appropriés sur la surface inférieure de la base tournante (2) ou les surfaces inférieures des mécanismes mobiles linéaires (3A, 3B). La paroi de la chambre sous vide (B) opposée à la surface inférieure de la base tournante (2) comporte des plaques absorbant la chaleur (61, 66).
(JA) 搬送装置(A)は、真空室(B)内に配置され、固定ベース(1)と、固定ベース(1)に対して旋回可能に保持された旋回ベース(2)と、旋回ベース(2)に支持された直線移動機構(3A,3B)と、直線機構(3A,3B)に支持されたハンド(4A,4B)とを備え、直線移動機構(3A,3B)の作動によりハンド(4A,4B)に載置したワークWを搬送するものである。旋回ベース(2)もしくは直線移動機構(3A,3B)の下面側の適部に熱輻射板(62,63,65)が設けられており、真空室(B)を形成する壁のうち旋回ベース(2)の下面側と対向する壁に吸熱板(61,66)が設けられている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)