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1. (WO2008117727) 基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及びコンピュータ可読記憶媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報

国際公開番号: WO/2008/117727 国際出願番号: PCT/JP2008/055138
国際公開日: 02.10.2008 国際出願日: 19.03.2008
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 13/08 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
25
手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
J
マニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
13
マニプレータの制御
08
センサー手段,例.視覚または触覚装置,によるもの
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 〒1076325 東京都港区赤坂五丁目3番1号 Tokyo 3-1, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1076325, JP (AllExceptUS)
近藤 圭祐 KONDOH, Keisuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者:
近藤 圭祐 KONDOH, Keisuke; JP
代理人:
伊東 忠彦 ITOH, Tadahiko; 〒1506032 東京都渋谷区恵比寿4丁目20番3号 恵比寿ガーデンプレイスタワー32階 Tokyo 32nd Floor Yebisu Garden Place Tower 20-3, Ebisu 4-Chome Shibuya-Ku, Tokyo 1506032, JP
優先権情報:
2007-07750023.03.2007JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, SUBSTRATE TRANSFER MODULE, SUBSTRATE TRANSFER METHOD AND COMPUTER READABLE STORAGE MEDIUM
(FR) APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRAT, MODULE DE TRANSFERT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE SUBSTRAT ET SUPPORT DE STOCKAGE POUVANT ÊTRE LU PAR UN ORDINATEUR
(JA) 基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及びコンピュータ可読記憶媒体
要約:
(EN) Disclosed is a substrate transfer apparatus having a joint-type transfer arm wherein an arm section is turnably connected to a holding section which holds a substrate. The substrate transfer apparatus is provided with a heating section configured to heat the arm section, a temperature detecting section for detecting the temperature of the arm section; and a control section, which makes the heating section heat the arm section prior to starting substrate transfer, permits the substrate to be transferred after the temperature detection value obtained from the temperature detecting section is increased to a set temperature range previously set, then controls the heating section so that the temperature detection value is maintained within the set temperature range.
(FR) L'invention concerne un appareil de transfert de substrat ayant un bras de transfert de type articulé, dans lequel une section du bras est reliée de manière rotative à une section de support qui porte un substrat. L'appareil de transfert de substrat est muni d'une section de chauffage configurée pour chauffer la section de bras ; d'une section de détection de température pour détecter la température d'une section de bras ; et d'une section de commande, qui fait en sorte que la section de chauffage chauffe la section de bras avant de démarrer un transfert de substrat, permet au substrat d'être transféré après que la valeur de détection de température obtenue de la section de détection de température a été augmentée jusqu'à une plage de température de consigne établie préalablement, et régule ensuite la section de chauffage de sorte que la valeur de détection de température est maintenue dans la plage de température établie.
(JA)  開示される基板搬送装置は、基板を保持する保持部に回転自在にアーム部が連結された関節型の搬送アームを備えた基板搬送装置であって、アーム部を加熱するように構成される加熱部と、アーム部の温度を検出する温度検出部と、基板搬送開始前に加熱部にアーム部を加熱させ、温度検出部による温度検出値が予め設定した設定温度範囲まで上昇した後に基板の搬送を許可し、その後は温度検出値が設定温度範囲内に維持されるように加熱部を制御する制御部と、を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)
Also published as:
KR1020090037931US20110178626CN101542709