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1. (WO2008117690) 蒸着源、蒸着装置、成膜方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/117690    国際出願番号:    PCT/JP2008/054876
国際公開日: 02.10.2008 国際出願日: 17.03.2008
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), C23C 14/12 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NEGISHI, Toshio [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NEGISHI, Toshio; (JP)
代理人: ISHIJIMA, Shigeo; Toranomonkougyou Bldg., 3F 1-2-18, Toranomon Minato-ku, Tokyo 105-0001 (JP)
優先権情報:
2007-078252 26.03.2007 JP
発明の名称: (EN) EVAPORATION SOURCE, VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF FILM FORMATION
(FR) SOURCE D'ÉVAPORATION, APPAREIL DE DÉPÔT DE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM
(JA) 蒸着源、蒸着装置、成膜方法
要約: front page image
(EN)A vapor deposition apparatus that is capable of forming an organic thin film of high quality. In vapor deposition apparatus (1), tray (41) is disposed in evaporation chamber (15), and supply unit (30) feeds evaporation material (16) onto the tray (41). The tray (41) is mounted on mass meter (49), and the mass of evaporation material (16) disposed on the tray (41) is measured. Control unit (45) compares the measurement value with a reference value, making the supply unit (30) feed any required amount of evaporation material (16). As the evaporation material (16) is replenished whenever required, there is no event in which the evaporation material (16) is used up in the midst of film formation and is further no event in which a large amount of evaporation material (16) is heated for a prolonged period of time, thereby avoiding deterioration of the evaporation material (16).
(FR)L'invention concerne un appareil de dépôt par évaporation capable de former un film mince organique de haute qualité. Dans l'appareil de dépôt par évaporation (1), un plateau (41) est placé dans la chambre d'évaporation (15) et une unité d'alimentation (30) amène la matière d'évaporation (16) sur le plateau (41). Le plateau (41) est monté sur un compteur volumétrique (49) et le volume de la matière d'évaporation (16) disposée sur le plateau (41) est mesuré. Une unité de commande (45) compare la valeur de mesure à une valeur de référence, ce qui permet à l'unité d'alimentation (30) d'amener toute quantité requise de matière d'évaporation (16). Lorsqu'on refait le plein, chaque fois que nécessaire, en matière d'évaporation (16), il n'y a aucun risque que la matière d'évaporation (16) s'épuise au beau milieu de la formation du film et aucun autre risque qu'une grande quantité de matière d'évaporation (16) soit chauffée sur une durée prolongée, ce qui évite sa détérioration.
(JA) 膜質の良い有機薄膜を成膜可能な蒸着装置を提供する。本発明の蒸着装置1は、蒸発室15内に受け皿41が配置され、供給装置30はこの受け皿41上に蒸着材料16を供給する。受け皿41は質量計49に乗せられ、受け皿41上に配置された蒸着材料16の質量を測定し、制御装置45はその測定値と、基準値とを比較して、必要な量の蒸着材料16を供給装置30に供給させる。蒸着材料16は必要なときに補充されるので、成膜の途中に蒸着材料16が無くなることがなく、また、長時間多量の蒸着材料16が加熱されることもないので、蒸着材料16が変質しない。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)