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1. (WO2008114684) エネルギー分析器、2次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/114684    国際出願番号:    PCT/JP2008/054612
国際公開日: 25.09.2008 国際出願日: 13.03.2008
予備審査請求日:    20.11.2008    
IPC:
H01J 49/48 (2006.01), G01N 23/227 (2006.01), H01J 37/05 (2006.01), H01J 37/252 (2006.01)
出願人: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NARA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 8916-5, Takayama-cho, Ikoma-shi, Nara 6300192 (JP) (米国を除く全ての指定国).
DAIMON, Hiroshi; (米国のみ).
TOTH, Laszlo; (米国のみ).
MATSUDA, Hiroyuki; (米国のみ)
発明者: DAIMON, Hiroshi; .
TOTH, Laszlo; .
MATSUDA, Hiroyuki;
代理人: HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; Daiwa Minamimorimachi Building 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita Kita-ku, Osaka-shi Osaka 5300041 (JP)
優先権情報:
2007-069574 16.03.2007 JP
発明の名称: (EN) ENERGY ANALYZER, 2-DIMENSIONAL DISPLAY TYPE ENERGY ANALYZER, AND PHOTOELECTRON MICROSCOPE
(FR) ANALYSEUR D'ÉNERGIE, ANALYSEUR D'ÉNERGIE DE TYPE À AFFICHAGE BIDIMENSIONNEL, ET MICROSCOPE PHOTOÉLECTRONIQUE
(JA) エネルギー分析器、2次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡
要約: front page image
(EN)It is possible to provide an energy analyzer, a 2-dimensional display type energy analyzer, and a photoelectron microscope which can perform energy analysis with a simple configuration at a low cost. The energy analyzer (1) selects a beam having a path energy E from an electron or ion beam (hereinafter, simply referred to as a beam) emitted from a predetermined object surface position with a certain open angle. The energy analyzer includes: a wide-angle electron lens (2) for acquiring the beam and conversing the beam; and a first aperture (3) arranged at the emission opening of the wide-angle electron lens (2) and having a through hole A arranged at the same position as the converging point where the beam having the predetermined energy is converged.
(FR)L'invention vise à proposer un analyseur d'énergie, un analyseur d'énergie de type à affichage bidimensionnel et un microscope électronique, qui peuvent effectuer une analyse d'énergie avec une configuration simple, à un coût faible. L'analyseur d'énergie (1) sélectionne un faisceau ayant une énergie de trajet E à partir d'un faisceau électronique ou ionique (ci-après, simplement appelé faisceau) émis à partir d'une position de surface d'objet prédéterminée avec un certain angle ouvert. L'analyseur d'énergie comprend : une lentille à électrons grand-angle (2) pour acquérir le faisceau et le convertir ; et une première ouverture (3) disposée au niveau de l'ouverture d'émission de la lentille à électrons grand-angle (2) et ayant un trou traversant A disposé à la même position que le point de convergence où le faisceau ayant l'énergie prédéterminée converge.
(JA) 安価、かつ、簡易な構成でエネルギー分析を行うエネルギー分析器、2次元表示型エネルギー分析器および光電子顕微鏡を提供する。エネルギー分析器(1)は、所定物面位置から一定の開き角をもって出射された電子またはイオンビーム(以下、ビーム)から、パスエネルギーEを有するビームを選別するエネルギー分析器であって、前記ビームを取り込み、集束させる広角電子レンズ(2)と、広角電子レンズ(2)の出射口に設けられ、かつ、前記所定のエネルギーを有するビームが集束する集束点と同位置に設けられた貫通孔Aが形成された第1アパチャー(3)とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)