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1. (WO2008111390) 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/111390    国際出願番号:    PCT/JP2008/053268
国際公開日: 18.09.2008 国際出願日: 26.02.2008
IPC:
G01B 11/30 (2006.01), G01Q 60/22 (2010.01)
出願人: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKATA, Toshihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WATANABE, Masahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INOUE, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIDAKA, Kishio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIROOKA, Motoyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKATA, Toshihiko; (JP).
WATANABE, Masahiro; (JP).
INOUE, Takashi; (JP).
HIDAKA, Kishio; (JP).
HIROOKA, Motoyuki; (JP)
代理人: ASAMURA, Kiyoshi; Room 331, New Ohtemachi Bldg. 2-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP)
優先権情報:
2007-061201 12.03.2007 JP
2007-322722 14.12.2007 JP
発明の名称: (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE AND METHOD OF OBSERVING SAMPLE USING THE SAME
(FR) MICROSCOPE À CHAMP PROCHE ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'UN ÉCHANTILLON À L'AIDE DE CELUI-CI
(JA) 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法
要約: front page image
(EN)In a near-field scanning microscope using an aperture probe, the upper limit of the aperture formation is at most several ten nm in practice. In a near-filed scanning microscope using a scatter probe, the resolution ability is limited to at most several ten nm because of the external illuminating light serving as background noise. Moreover, measurement reproducibility is seriously lowered by a damage or abrasion of a probe. Optical data and unevenness data of the surface of a sample can be measured at a nm-order resolution ability and a high reproducibility while damaging neither the probe nor the sample by fabricating a plasmon-enhanced near-field probe having a nm-order optical resolution ability by combining a nm-order cylindrical structure with nm-order microparticles and repeatedly moving the probe toward the sample and away therefrom at a low contact force at individual measurement points on the sample.
(FR)Dans un microscope à champ proche utilisant une sonde d'ouverture, la limite supérieure de la formation d'ouverture est au mieux de plusieurs dizaines de nm en pratique. Dans un microscope à champ proche utilisant une sonde à diffusion, la capacité de résolution est limitée à au mieux plusieurs dizaines de nm étant donné que la lumière d'éclairage externe agit comme un bruit de fond. De plus, la reproductibilité des mesures est sérieusement diminuée par un endommagement ou une abrasion d'une sonde. Des données optiques et des données de non-uniformité de la surface d'un échantillon peuvent être mesurées à une capacité de résolution de l'ordre du nm et à une reproductibilité élevée en n'endommageant ni la sonde ni l'échantillon, par la fabrication d'une sonde en champ proche améliorée par plasmon ayant une aptitude à la résolution optique de l'ordre du nm par la combinaison d'une structure cylindrique de l'ordre du nm avec des microparticules de l'ordre du nm et par le déplacement répété de la sonde vers l'échantillon et loin de celui-ci à une force de contact faible à des points de mesure individuels sur l'échantillon.
(JA) 開口プローブを用いた近接場走査顕微鏡では実用上数十nmの開口形成が限界であり、また散乱プローブを用いた近接場走査顕微鏡では外部照明光が背景雑音となり、数十ナノメートルが分解能の限界であった。またプローブの損傷や磨耗により測定再現性が著しく低かった。ナノメートルオーダの円筒形構造とナノメートルオーダの微小粒子を組み合わせて、ナノメートルオーダの光学分機能を有するプラズモン増強近接場プローブを構成し、試料上の各測定点で低接触力での接近・退避を繰り返すことにより、プローブと試料の双方にダメージを与えることなく、ナノメートルオーダの分解能でかつ高い再現性で、試料表面の光学情報及び凹凸情報を測定する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)