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1. (WO2008108463) 研磨具及び研磨装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/108463    国際出願番号:    PCT/JP2008/054181
国際公開日: 12.09.2008 国際出願日: 07.03.2008
IPC:
B24B 1/04 (2006.01), B24B 37/00 (2006.01), B24B 45/00 (2006.01)
出願人: OHNISHI, Kazumasa [JP/JP]; (JP)
発明者: OHNISHI, Kazumasa; (JP)
代理人: YANAGAWA, Yasuo; Mitsuya-Yotsuya Building 8th Floor 2-14, Yotsuya, Shinjuku-ku, Tokyo 1600004 (JP)
優先権情報:
2007-098874 07.03.2007 JP
2007-137186 23.04.2007 JP
発明の名称: (EN) POLISHING TOOL AND POLISHING DEVICE
(FR) OUTIL DE POLISSAGE ET DISPOSITIF DE POLISSAGE
(JA) 研磨具及び研磨装置
要約: front page image
(EN)A polishing device (10) comprises a supporting table (12) for a polishing object (11), a rotating shaft (13a) arranged vertically above the supporting table, and a polishing tool (40) including a grind stone holding member (32) connected with the rotating shaft and to which annular ultrasonic vibrators (31a, 31b) are fixed, and an annular grind stone (33) provided at the lower end of the circumferential edge of the grind stone holding member. At a position between the fixing position of the annular ultrasonic vibrator of the grind stone holding member and the connecting position with the rotating shaft, an annular air phase containing region (36) is provided by multiply forming annular air phase containing bands including discontinuous air phase arranged annularly, and ultrasonic vibration generated from the annular ultrasonic vibrator is prevented by the annular air phase containing region from being transmitted linearly to a region closer to the side of the connecting position with the rotating shaft than the annular air phase containing region of the grind stone holding member. Since the polishing device (10) can impart ultrasonic vibration generated from the ultrasonic vibrator efficiently to the grind stone, the polishing object can be polished with high precision.
(FR)L'invention concerne un dispositif de polissage (10) qui comprend une table de support (12) pour un objet à polir (11), un arbre tournant (13a) disposé verticalement au-dessus de la table de support, et un outil de polissage (40) comprenant un élément de maintien de meule (32) relié à l'arbre tournant et auquel des vibrateurs ultrasoniques annulaires (31a, 31b) sont fixés, et une meule annulaire (33) disposée à l'extrémité inférieure du bord périphérique de l'élément de maintien de meule. À une position entre la position de fixation du vibrateur ultrasonique annulaire de l'élément de maintien de meule et la position de liaison avec l'arbre tournant, une région annulaire contenant une phase d'air (36) est fournie par la formation de multiples bandes annulaires contenant une phase d'air, ces bandes comprenant une phase d'air discontinue disposée de façon annulaire, et une vibration ultrasonique générée à partir du vibrateur ultrasonique annulaire est empêchée par la région annulaire contenant une phase d'air d'être transmise linéairement à une région plus proche du côté de la position de liaison avec l'arbre tournant que la région annulaire contenant une phase d'air de l'élément de maintien de meule. Étant donné que le dispositif de polissage (10) peut conférer de façon efficace à la meule une vibration ultrasonique générée à partir du vibrateur ultrasonique, l'objet à polir peut être poli avec une précision élevée.
(JA) 研磨対象物(11)の支持テーブル(12);支持テーブルの上方に垂直に配置された回転軸(13a);そして回転軸に接続されている、環状超音波振動子(31a、31b)を固定した砥石保持部材(32)と、砥石保持部材の周縁部の下端に備えられた環状の砥石(33)とを含む研磨具(40)から構成され、前記の砥石保持部材の環状超音波振動子の固定位置と回転軸との接続位置との間の位置に、環状に配置した非連続の空気相を含む環状空気相含有帯域を多重に形成してなる環状空気相含有領域(36)が設けられていて、この環状空気相含有領域により、環状超音波振動子から発生される超音波振動が砥石保持部材の環状空気相含有領域よりも回転軸との接続位置の側の領域に直線的に伝達されないようにされていることを特徴とする研磨装置(10)は、超音波振動子から発生される超音波振動を砥石に効率良く付与することができるため、研磨対象物を高い精度で研磨することができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)