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1. (WO2008108349) プラズマ処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/108349    国際出願番号:    PCT/JP2008/053807
国際公開日: 12.09.2008 国際出願日: 04.03.2008
IPC:
C23C 14/34 (2006.01)
出願人: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 5-1, Kasama 2-chome, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2478610 (JP) (米国を除く全ての指定国).
AOYAMA, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AOYAMA, Hiroshi; (JP)
代理人: HYUGAJI, Masahiko; Kannai ST Bldg. 4-1, Onoe-cho, 1-chome Naka-ku, Yokohama-shi Kanagawa 2310015 (JP)
優先権情報:
2007-055122 06.03.2007 JP
発明の名称: (EN) PLASMA PROCESSING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) プラズマ処理装置
要約: front page image
(EN)A plasma processing apparatus is provided with a placing table connected to the ground to place an object to be processed; a cathode body, which is arranged to face the object and is applied with a voltage for generating plasma in a processing space formed between the cathode body and the object; an anode body, which is arranged to surround the processing space and is connected to the ground; and a holding member having an inner end section, which is in contact with a region of the object to be processed and covers such region, and an outer end section arranged to be in contact with the anode body. The impedance on a path of a current flowing to the ground from the object through the holding member is smaller than that on a path of a current flowing from the object to the ground through the placing table.
(FR)L'invention concerne un appareil de traitement au plasma qui comporte une table de positionnement reliée au sol pour positionner un objet devant être traité ; un corps de cathode, qui est disposé pour être tourné vers l'objet et se voit appliquer une tension pour générer un plasma dans un espace de traitement formé entre le corps de cathode et l'objet ; un corps d'anode, qui est disposé pour entourer l'espace de traitement et est relié au sol ; et un élément de maintien ayant une section d'extrémité interne, qui est en contact avec une région de l'objet devant être traité et recouvre une telle région, et une section d'extrémité externe disposée pour être en contact avec le corps d'anode. L'impédance sur un trajet d'un courant circulant vers le sol à partir de l'objet à travers l'élément de maintien est inférieure à celle sur un trajet d'un courant circulant à partir de l'objet vers le sol à travers la table de positionnement.
(JA) グランドに接続され、被処理物を載置可能な載置台と、被処理物に対向して設けられ、被処理物との間に形成される処理空間にプラズマを発生させる電圧が印加されるカソード体と、処理空間の周囲を囲んで設けられ、グランドに接続されたアノード体と、被処理物の非処理領域に接触して非処理領域を覆う内側端部と、アノード体に接して設けられた外側端部とを有する押さえ部材とを備えたプラズマ処理装置であって、被処理物から押さえ部材を介してグランドに流れる電流の経路のインピーダンスよりも、被処理物から載置台を介してグランドに流れる電流の経路のインピーダンスを小さくした。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)