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1. (WO2008108149) アーク式蒸発源
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/108149    国際出願番号:    PCT/JP2008/052506
国際公開日: 12.09.2008 国際出願日: 15.02.2008
IPC:
C23C 14/32 (2006.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA RIKEN [JP/JP]; 13-5, Kudankita 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1028202 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NISSIN ELECTRIC CO., LTD. [JP/JP]; 47, Umezu-takasecho, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6158686 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TSUJI, Katsuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NISHIMURA, Kazuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TSUJI, Katsuhiro; (JP).
NISHIMURA, Kazuya; (JP)
代理人: AKAO, Kenichiro; 4kai, Kyobashi-Nichiei Biru 3-4, Kyobashi 3-chome Chuo-ku, Tokyo 1040031 (JP)
優先権情報:
2007-052550 02.03.2007 JP
発明の名称: (EN) ARC EVAPORATION SOURCE
(FR) SOURCE D'ÉVAPORATION À L'ARC
(JA) アーク式蒸発源
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide an arc evaporation source in which the arc spot is prevented from moving to another part other than the cathode evaporation surface. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] An arc evaporation source for evaporating the cathode substance of a cathode (22) by arc electric discharge controlled by a magnetic field. The arc evaporation source comprises a magnetic field producing mechanism (42) adapted for producing a magnetic field (M) having a strong component parallel to the cathode central axis (Ax) near the evaporation surface (22a) at the end of the cathode and disposed outside the cathode, a support mechanism (26) supporting the cathode, a cooling mechanism (61) for cooling the cathode, and a tapered ring (64) having a truncated cone shape and a through-hole through which the cathode extends in the axial direction of the truncated cone and tapered towards the evaporation surface. The tapered ring (64) is made of a ferromagnetic material. The edge (64a) of the tapered ring is moved to a position flush with the evaporation surface or a little behind the evaporation surface when in use.
(FR)L'invention concerne une source d'évaporation à l'arc selon laquelle le point de l'arc est empêché de se déplacer vers une partie autre que la surface d'évaporation de la cathode. La source d'évaporation à l'arc selon l'invention est destinée à évaporer la substance cathodique d'une cathode (22) par une décharge électrique à l'arc contrôlée par un champ magnétique. La source d'évaporation à l'arc comprend un mécanisme qui produit un champ magnétique (42) conçu pour créer un champ magnétique (M) qui possède un composant important parallèle à l'axe central de la cathode (Ax), à proximité de la surface d'évaporation (22a), à l'extrémité de la cathode. Elle comprend également, à l'extérieur de la cathode, un mécanisme de support (26) destiné à soutenir la cathode, un mécanisme de refroidissement (61) destiné à refroidir la cathode et un anneau fuselé (64) qui a la forme d'un cône tronqué, comprend un orifice au travers duquel la cathode s'étend dans la direction axiale du cône tronqué et est fuselé dans la direction de la surface d'évaporation. L'anneau fuselé (64) est constitué d'un matériau ferromagnétique. A l'usage, le bord (64a) de l'anneau fuselé est déplacé en une position au même niveau que la surface d'évaporation ou légèrement en arrière par rapport à la surface d'évaporation.
(JA)【課題】アークスポットがカソード蒸発面以外の部分に移動することを抑制することができるアーク式蒸発源を提供する。 【解決手段】磁場によって制御されるアーク放電によってカソード22のカソード物質を蒸発させるアーク式蒸発源であって、カソード先端の蒸発面22a付近にカソード中心軸Axに平行な成分が強い磁場Mを形成し、かつカソードの外側に配置される磁場形成機構42と、カソードを支持する支持機構26と、カソードを冷却する冷却機構61と、円錐台状をなしその軸方向にカソードを貫通させる貫通孔を有し、かつカソードの蒸発面に向かって先細になるよう配置されるテーパーリング64とを備え、テーパーリングは強磁性体から成り、使用時にテーパーリングの先端64aがカソードの蒸発面と面一又は蒸発面よりやや後退するよう位置する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)