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1. (WO2008102687) 圧電/電歪素子
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2008/102687 国際出願番号: PCT/JP2008/052432
国際公開日: 28.08.2008 国際出願日: 14.02.2008
IPC:
H01L 41/09 (2006.01) ,H01L 41/187 (2006.01) ,H01L 41/22 (2006.01)
出願人: NGK INSULATORS, LTD.[JP/JP]; 2-56 Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678530, JP
発明者: SHIMIZU, Hideki; JP
EBIGASE, Takashi; JP
代理人: YOSHITAKE, Hidetoshi; 10th floor, Sumitomo-seimei OBP Plaza Bldg. 4-70, Shiromi 1-chome Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5400001, JP
優先権情報:
60/890,63620.02.2007US
発明の名称: (EN) PIEZOELECTRIC DEVICE
(FR) DISPOSITIF PIÉZOÉLECTRIQUE
(JA) 圧電/電歪素子
要約: front page image
(EN) In the production of a multilayer piezoelectric device wherein an electrode film mainly composed of platinum or an platinum alloy and having a thickness of not more than 2.0 μm and a piezoelectric film are arranged, one or both of yttrium oxide (Y2O3) and cerium oxide (CeO2) are added to the electrode film or the piezoelectric film, and the electrode film and the piezoelectric film are fired at the same time. Consequently, the thickness of the electrode film is reduced, the heat resistance of the electrode film is improved, and change in the piezoelectric characteristics over time is reduced. As a result, there is obtained a piezoelectric device having good initial piezoelectric characteristics, which is reduced in change in the piezoelectric characteristics over time.
(FR) L'invention concerne un dispositif piézoélectrique multicouches dans lequel sont agencés un film d'électrode principalement composé de platine ou d'un alliage de platine et ayant une épaisseur ne dépassant pas 2,0 μm et un film piézoélectrique. Dans ledit dispositif, un oxyde d'yttrium (Y2O3) et/ou un oxyde de cérium (CeO2) sont ajoutés au film d'électrode ou au film piézoélectrique, et le film d'électrode et le film piézoélectrique sont allumés en même temps. Par conséquent, l'épaisseur du film d'électrode est réduite, la résistance thermique du film d'électrode est améliorée, et le changement des caractéristiques piézoélectriques dans le temps est réduit. Par conséquent, on obtient un dispositif piézoélectrique doté de bonnes caractéristiques piézoélectriques initiales, lesdites caractéristiques piézoélectriques changeant peu dans le temps.
(JA)  白金又は白金を主成分とする合金の電極膜であって膜厚が2.0μm以下のものと圧電/電歪膜とを積層した積層型の圧電/電歪素子の製造にあたって、電極膜又は圧電/電歪膜に酸化イットリウム(Y2O3)及び酸化セリウム(CeO2)の両方又は一方を添加しておき、電極膜と圧電/電歪膜とを同時焼成する。これにより、電極膜の膜厚を薄くすること、電極膜の耐熱性を向上すること及び圧電/電歪特性の経時変化を小さくすることを同時に実現することができ、初期圧電/電歪特性が良好で圧電/電歪特性の経時変化が小さい圧電/電歪素子を得ることができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)