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1. (WO2008099789) 静電チャック

Pub. No.:    WO/2008/099789    International Application No.:    PCT/JP2008/052199
Publication Date: Fri Aug 22 01:59:59 CEST 2008 International Filing Date: Sat Feb 09 00:59:59 CET 2008
IPC: H01L 21/683
H02N 13/00
Applicants: CREATIVE TECHNOLOGY CORPORATION
株式会社クリエイティブ テクノロジー
MIYASHITA, Kinya
宮下 欣也
FUJISAWA, Hiroshi
藤澤 博
Inventors: MIYASHITA, Kinya
宮下 欣也
FUJISAWA, Hiroshi
藤澤 博
Title: 静電チャック
Abstract:
 誘電体層や基板で生じる異常放電を防止することができるだけでなく、再利用に適した構造の静電チャックを提供する。静電チャック(1)は、基板(2)と吸着電極(3)と誘電体層(4)とを備える。基板(2)には、リング状のガス流路(21,22)が凹設されている。絶縁体(6)を支持した支持部材(5−1,5−2)が、これらのガス流路(21,22)内に嵌められている。絶縁体(6)は支持部材(5−1(5−2))に形成された長溝(8)内に充填されている。絶縁体(6)は、多孔質のセラミックスであり、全体としてガス流路(21(22))に対応したリング状の帯体をなし、その上面の幅は誘電体層(4)の通気孔(41)の直径よりも大きく設定されている。通気孔(41)の下部開口が絶縁体(6)の上面に当接し、通気孔(41)が絶縁体(6)を通じてガス流路(21(22))に連通している。好ましくは、切り欠き部(51a)を支持部材(5−1(5−2))に設ける。