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1. (WO2008099697) 表示装置およびその製造方法

Pub. No.:    WO/2008/099697    International Application No.:    PCT/JP2008/051744
Publication Date: Fri Aug 22 01:59:59 CEST 2008 International Filing Date: Tue Feb 05 00:59:59 CET 2008
IPC: G02F 1/1368
G02F 1/1343
G02F 1/1345
H01L 29/786
Applicants: Mitsubishi Electric Corporation
三菱電機株式会社
NAKAHATA, Takumi
中畑 匠
INOUE, Kazunori
井上 和式
ODA, Koji
小田 耕治
NAKAGAWA, Naoki
中川 直紀
ISHIGA, Nobuaki
石賀 展昭
Inventors: NAKAHATA, Takumi
中畑 匠
INOUE, Kazunori
井上 和式
ODA, Koji
小田 耕治
NAKAGAWA, Naoki
中川 直紀
ISHIGA, Nobuaki
石賀 展昭
Title: 表示装置およびその製造方法
Abstract:
 この表示装置(1B)は、基板(3)上に形成された金属導電層(21)と、同一基板上に形成され、前記金属導電層と接合する透明導電膜(39)と、金属導電層(21)と透明導電膜(39)とを隔絶する層間絶縁膜(25)とを備え、金属導電層(21)は、アルミまたはアルミ合金からなる下層アルミ層(40a)と、不純物を含むアルミまたはアルミ合金からなり下層アルミ層(40a)の上面の略全面上に形成された中間不純物含有層(41a)と、アルミまたはアルミ合金からなり中間不純物含有層(40a)上に形成された上層アルミ層(42a)とを有し、層間絶縁膜(25)および上層アルミ層(42a)には、中間不純物含有層(41a)が局所的に露出する様にコンタクトホール(27)が貫設され、透明電極膜(39)は、金属導電層(21)と、コンタクトホール(27)から露出する中間不純物含有層(41a)で接合する。