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1. (WO2008099686) 試験装置およびプログラム

Pub. No.:    WO/2008/099686    International Application No.:    PCT/JP2008/051582
Publication Date: Fri Aug 22 01:59:59 CEST 2008 International Filing Date: Fri Feb 01 00:59:59 CET 2008
IPC: G01R 31/28
Applicants: ADVANTEST CORPORATION
株式会社アドバンテスト
MIURA, Toshiyuki
三浦 稔幸
Inventors: MIURA, Toshiyuki
三浦 稔幸
Title: 試験装置およびプログラム
Abstract:
 被試験デバイスを試験する試験装置であって、パフォーマンスボードに設けられた複数のリレースイッチの導通状態を制御するリレー制御部が、リレースイッチに対応して設けられ、対応するリレースイッチの導通状態を制御する制御信号をそれぞれ出力する複数の制御出力部と、制御出力部が出力する制御信号に応じた制御電圧を観測する複数の観測部とを有し、テスタ制御装置が、被試験デバイスの試験に先立って、制御出力部が出力する制御信号を変化させ、観測部により制御電圧のレベルの変化を観測できなかったことに応じて障害を検出することを特徴とする。