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1. (WO2008096792) サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム

Pub. No.:    WO/2008/096792    International Application No.:    PCT/JP2008/051965
Publication Date: Fri Aug 15 01:59:59 CEST 2008 International Filing Date: Thu Feb 07 00:59:59 CET 2008
IPC: H01L 21/02
G05B 19/418
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED
東京エレクトロン株式会社
SHIOYAMA, Noriaki
塩山 紀晶
KOSHOJI, Yoshiaki
小正路 義明
Inventors: SHIOYAMA, Noriaki
塩山 紀晶
KOSHOJI, Yoshiaki
小正路 義明
Title: サーバ装置、情報処理方法、及びプログラム
Abstract:
【課題】権限に関する情報を容易に管理することができるようにする。 【解決手段】サーバ装置10は、処理についての権限に関する権限情報が記憶される権限情報記憶部11と、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置40あるいはクライアント装置20から送信された情報であり、所望の処理の実行に関する許否の判断を要求する情報である判断要求情報を受信する判断要求情報受信部12と、判断要求情報受信部12が受信した判断要求情報に応じた許否の判断を、権限情報を用いて行う許否判断部13と、許否判断部13による判断結果を示す判断結果情報を、判断要求情報を送信した装置に送信する判断結果情報送信部14と、を備える。