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1. (WO2008096580) マイクロデバイス及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/096580    国際出願番号:    PCT/JP2008/050514
国際公開日: 14.08.2008 国際出願日: 17.01.2008
IPC:
G02B 3/14 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01), G02B 6/13 (2006.01), G02B 26/00 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01), G02F 2/00 (2006.01)
出願人: The University of Tokyo [JP/JP]; 3-1, Hongo 7-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1138654 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIMOYAMA, Isao [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MATSUMOTO, Kiyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IWASE, Eiji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NGUYEN, Binh-Khiem [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIMOYAMA, Isao; (JP).
MATSUMOTO, Kiyoshi; (JP).
IWASE, Eiji; (JP).
NGUYEN, Binh-Khiem; (JP)
代理人: USHIKI, Mamoru; 3rd Fl., Yusei Fukushi Kotohira Bldg. 14-1, Toranomon 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
優先権情報:
2007-007782 17.01.2007 JP
2007-149686 05.06.2007 JP
発明の名称: (EN) MICRODEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
(FR) MICRODISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) マイクロデバイス及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a highly reliable small-sized thin microdevice having a simple structure, which is improved in productivity. Also disclosed is a method for manufacturing such a microdevice. Specifically, by forming a silicon oil convex portion (6) using a silicon oil which hardly evaporates even in a high vacuum, it becomes possible to form a protective film (10) on the liquid surface of the silicon oil convex portion (6), which is in a liquid state, by a high-vacuum CVD method. Because of such a simple structure, a microdevice can be reduced in size and thickness, while being improved in productivity since a conventional complicated assembling process wherein a separate sheet member is bonded can be omitted. Since the protective film (10) is used, deformation of the silicon oil convex portion (6) due to an external impact or gravity can be prevented, and thus there can be provided a variable focus liquid lens (1) having a higher reliability.
(FR)Microdispositif mince de petite taille hautement fiable, ayant une structure simple, dont la productivité est améliorée. Également, procédé de fabrication correspondant. Spécifiquement, la formation d'une partie convexe en huile de silicone (6), de faible évaporation même sous vide élevé, permet d'établir un film de protection (10) sur la surface liquide de cette partie (6), qui est à l'état liquide, selon un procédé CVD sous vide élevé. Cette structure simple permet de réduire la taille et l'épaisseur d'un microdispositif, tout en améliorant la productivité, car on n'utilise plus le procédé classique d'assemblage complexe qui fait appel à la liaison d'une feuille séparée. L'utilisation d'un tel film de protection (10) permet d'éviter la déformation de ladite partie convexe (10) due à un impact externe ou à la gravité, et on dispose ainsi d'une lentille liquide à focalisation variable (1) de fiabilité supérieure.
(JA)簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、かつ生産性を向上させながら信頼性の高いマイクロデバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。 高真空の中でも蒸発量が少ないシリコンオイルによってシリコンオイル膨出部6を形成したことで、高真空CVD法を用いて、液体状のシリコンオイル膨出部6の液表面に保護膜10 を積層形成できるようにした。かくして簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、また従来のように別途シート部材を貼着する煩雑な組立工程を省くことができるので、その分生産性を向上さ せることができる。さらに、保護膜10 を用いていることから、衝撃や重力などによってシリコンオイル膨出部6が変形してしまうことを防止でき、一段と信頼性の高い可変焦点液体レンズ1を提供できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)