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1. (WO2008096454) プラズマ生成用Pt・Rh系電極、プラズマ生成装置及びプラズマ処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/096454    国際出願番号:    PCT/JP2007/052803
国際公開日: 14.08.2008 国際出願日: 09.02.2007
IPC:
B01J 19/08 (2006.01)
出願人: TOYOHASHI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY [JP/JP]; 1-1, Hibarigaoka, Tempaku-cho, Toyohashi-city, Aichi 4418580 (JP) (米国を除く全ての指定国).
DAIKEN CHEMICAL CO., LTD. [JP/JP]; 7-19, Hanaten-nishi 2-chome, Joto-ku, Osaka-city, Osaka 5360011 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKIKAWA, Hirofumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIKI, Hajime [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OKAWA, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMANAKA, Shigenobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HARADA, Akio [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKIKAWA, Hirofumi; (JP).
SHIKI, Hajime; (JP).
OKAWA, Takashi; (JP).
YAMANAKA, Shigenobu; (JP).
HARADA, Akio; (JP)
代理人: MIKI, Hisami; Haim-Senba 303 3-8, Kyutaromachi 2-chome Chuo-ku, Osaka-city Osaka 5410056 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) PT RH BASED PLASMA GENERATION ELECTRODE, PLASMA GENERATION APPARATUS AND PLASMA PROCESSING SYSTEM
(FR) ÉLECTRODE DE GÉNÉRATION DE PLASMA À BASE DE PLATINE ET RHODIUM, GÉNÉRATEUR DE PLASMA, ET SYSTÈME DE TRAITEMENT AU PLASMA
(JA) プラズマ生成用Pt・Rh系電極、プラズマ生成装置及びプラズマ処理装置
要約: front page image
(EN)A long life plasma generation electrode in which emission of particles of worn materials is significantly reduced when plasma is generated by discharge and wear-out of the electrode is reduced extremely, and a plasma generation apparatus and a plasma processing system. In a plasma generation electrode of a plasma generation apparatus (7) for generating plasma P of a supply gas by discharge, at least the discharge surface is formed of an electrode material of Pt Rh based metal represented by Pt1-YRhY (0≤Y<1). The plasma generation apparatus (7) generates plasma using this plasma generation electrode, and a plasma processing system (2) performs plasma processing of the surface of an article to be processed using this plasma generation apparatus.
(FR)La présente invention concerne une électrode à génération de plasma réduisant de façon notable l'émission de particules de matière usée en cas de production de plasma par décharge, et réduisant extrêmement l'usure de l'électrode. L'invention concerne également un générateur de plasma et un système de traitement au plasma. La surface de décharge de l'électrode de génération de plasma d'un générateur de plasma (7) utilisé pour la production de plasma P d'un gaz d'alimentation par décharge, est formée d'un matériau d'électrode en métal à base de platine (Pt) et de rhodium (Rh), en l'occurrence Pt1-YRhY avec 0≤Y<1. Le générateur de plasma (7) utilise cette électrode pour la production de plasma. Enfin, le système de traitement au plasma (2) de l'invention permet le traitement au plasma de la surface d'u article à traiter au moyen de ce générateur de plasma.
(JA) 本発明の目的は、放電によりプラズマを発生させた場合に損耗材料粒子の放出が大幅に低減化され、電極損耗が極めて少なく、長寿命のプラズマ生成用電極、プラズマ生成装置及びプラズマ処理装置を提供することである。 本発明は、放電によって供給ガスのプラズマPを発生させるプラズマ生成装置7のプラズマ生成用電極であって、このプラズマ生成用電極の少なくとも放電表面がPt1−YRh(0≦Y<1)で表されるPt・Rh系金属の電極材料から形成されるプラズマ生成用電極、このプラズマ生成用電極を用いてプラズマを生成するプラズマ生成装置7及びこのプラズマ生成装置により被処理物表面をプラズマ処理するプラズマ処理装置2である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)