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1. (WO2008093729) 測定装置および測定方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/093729    国際出願番号:    PCT/JP2008/051404
国際公開日: 07.08.2008 国際出願日: 30.01.2008
IPC:
G01N 21/35 (2006.01), G01N 21/01 (2006.01), H01L 31/0232 (2006.01)
出願人: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 1-32-1, Asahi-cho, Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OGAWA, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HAYASHI, Shinichiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KATO, Eiji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OGAWA, Yuichi; (JP).
HAYASHI, Shinichiro; (JP).
KATO, Eiji; (JP)
代理人: RYUKA, Akihiro; 5F, Shinjuku Square Tower 22-1, Nishi-Shinjuku 6-chome, Shinjuku-ku Tokyo 1631105 (JP)
優先権情報:
2007-021660 31.01.2007 JP
発明の名称: (EN) MEASURING APPARATUS AND MEASURING METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE MESURE
(JA) 測定装置および測定方法
要約: front page image
(EN)A measuring apparatus is provided with a void arranged structure having a void region surrounded by a conductor on a flat surface; an electromagnetic wave irradiation section for irradiating a measuring object held by the void arranged structure with an electromagnetic wave; and an electromagnetic wave detecting section for measuring an electromagnetic wave passed through the void arranged structure. The measuring apparatus measures the characteristics of the measuring object by measuring the electromagnetic wave passed through the void arranged structure. The electromagnetic wave projected toward the void arranged structure from the electromagnetic wave irradiation section diagonally enters the flat surface that includes the void region, and the electromagnetic wave passed through the void arranged structure is measured.
(FR)Un appareil de mesure comporte une structure à vide ménagé présentant une zone de vide entourée par un conducteur sur une surface plate ; une section de rayonnement d'onde électromagnétique pour irradier un objet de mesure maintenu par la structure à vide ménagé avec une onde électromagnétique ; et une section de détection d'onde électromagnétique pour mesurer une onde électromagnétique qui a traversé la structure à vide ménagé. L'appareil de mesure permet de mesurer les caractéristiques de l'objet de mesure par la mesure de l'onde électromagnétique qui a traversé la structure à vide ménagé. L'onde électromagnétique projetée vers la structure à vide ménagé à partir de la section de rayonnement d'onde électromagnétique entre en diagonale dans la surface plate qui comprend la zone de vide et l'onde électromagnétique qui a traversé la structure à vide ménagé est mesurée.
(JA) 平面上に導体により包囲された空隙領域を有する空隙配置構造体と、前記空隙配置構造体に保持された被測定物に向かって電磁波を照射する電磁波照射部と、前記空隙配置構造体を透過した電磁波を測定する電磁波検出部とを備え、前記空隙配置構造体を透過した電磁波を測定することにより前記被測定物の特性を測定する測定装置であって、前記電磁波照射部から前記空隙配置構造体に向かって投射される電磁波が、前記空隙領域を含む平面に対して傾斜して入射し、前記空隙配置構造体を透過した電磁波を測定する測定装置を提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)