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1. (WO2008093576) シリコン結晶素材及びその製造方法

Pub. No.:    WO/2008/093576    International Application No.:    PCT/JP2008/050882
Publication Date: Fri Aug 08 01:59:59 CEST 2008 International Filing Date: Thu Jan 24 00:59:59 CET 2008
IPC: C30B 29/06
C30B 13/04
Applicants: SUMCO TECHXIV CORPORATION
SUMCO TECHXIV株式会社
TOGAWA, Shinji
十河 慎二
UEDA, Ryosuke
上田 亮輔
Inventors: TOGAWA, Shinji
十河 慎二
UEDA, Ryosuke
上田 亮輔
Title: シリコン結晶素材及びその製造方法
Abstract:
 CZ法により製造されたシリコン結晶素材であって、FZ法によるシリコン単結晶の製造の原料棒として用いられ、機械加工を必要とせずにFZ法の結晶成長炉内に装填することができる被把持部を有するシリコン結晶素材及びその製造方法を提供すること。  CZ法によるシリコン結晶の製造方法により製造され、肩部、直胴部、及び尾部と同様に、CZ法によるシリコン結晶製造過程で形成された、前記FZ法による単結晶製造装置に装着されて単結晶成長を可能とするための被把持部を有する。また、CZ法によるシリコン結晶製造で用いられた種結晶を被把持部として有する。その製造方法は、CZ法によるシリコン結晶の製造方法で製造する際に、結晶の成長条件を一時的に変更して、直胴部の外周面に凸部又は凹部を、又は直胴部の肩部にくぼみ部を形成することを特徴とする。