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1. (WO2008075636) リン酸含有メタルエッチング液又はリン酸の再生方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/075636    国際出願番号:    PCT/JP2007/074210
国際公開日: 26.06.2008 国際出願日: 17.12.2007
IPC:
C23F 1/46 (2006.01), B01D 11/04 (2006.01), B01D 19/00 (2006.01), C01B 25/238 (2006.01)
出願人: NAGASE CHEMTEX CORPORATION [JP/JP]; 1-17, Shinmachi 1-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5508668 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIBATA, Junji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NISHIJIMA, Yoshitaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YASUE, Hidekuni [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMABE, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MUKAI, Yoshihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIBATA, Junji; (JP).
NISHIJIMA, Yoshitaka; (JP).
YASUE, Hidekuni; (JP).
YAMABE, Takashi; (JP).
MUKAI, Yoshihiro; (JP)
代理人: FURUTANI, Shinya; FURUTANI NAIGAI TOKKYO JIMUSHO 1-27, Dojima 2-chome Kita-ku, Osaka-shi Osaka 5300003 (JP)
優先権情報:
2006-341708 19.12.2006 JP
発明の名称: (EN) PROCESS FOR REGENERATION OF PHOSPHORIC ACID CONTAINING ETCHANT FOR METALS OR PHOSPHORIC ACID
(FR) PROCÉDÉ DE RÉGÉNÉRATION D'UN AGENT D'ATTAQUE CHIMIQUE POUR MÉTAUX CONTENANT DE L'ACIDE PHOSPHORIQUE OU D'ACIDE PHOSPHORIQUE
(JA) リン酸含有メタルエッチング液又はリン酸の再生方法
要約: front page image
(EN)The invention provides a process for regenerating efficiently a phosphoric acid containing etchant for metals which further contains volatile impurities such as volatile and hydrophilic etching inhibitor substances and other impurities such as metal ions into an etchant free from these impurities. The process comprises the step (1) of ridding a phosphoric acid containing etchant for metals which further contains at least one acid other than phosphoric acid and volatile and hydrophilic impurities of the volatile components by heating, vacuumization, blasting, or a combination of two or three of them and the step (2) of extracting metal ions from the residue obtained in the step (1) which contains phosphoric acid as the main component by the use of an extractant containing both a phosphoric monoester and a phosphoric diester.
(FR)L'invention concerne un procédé de régénération efficace d'un agent d'attaque chimique pour métaux contenant de l'acide phosphorique, qui contient en outre des impuretés volatiles telles que des substances hydrophiles inhibitrices de la corrosion et d'autres impuretés telles que des ions métalliques dans un agent d'attaque chimique dépourvu de ces impuretés. Le procédé comprend l'étape (1) consistant à éliminer un agent d'attaque chimique pour métaux contenant de l'acide phosphorique, qui contient en outre au moins un acide autre que l'acide phosphorique et des impuretés volatiles et hydrophiles des composants volatiles par chauffage, application d'un vide, projection ou une combinaison de deux ou trois d'entre eux et l'étape (2) consistant à extraire des ions métalliques du résidu obtenu à l'étape (1) contenant de l'acide phosphorique comme composant principal par l'utilisation d'un agent d'extraction contenant à la fois un monoester phosphorique et un diester phosphorique.
(JA) 揮発性かつ親水性のエッチング阻害物質等の揮発性不純物や金属イオン等の不純物を含むリン酸含有メタルエッチング液をこれらの不純物を含まないエッチング液に効率的に再生する方法を提供する。本発明は、リン酸以外の少なくとも1種類の他の酸と揮発性かつ親水性の不純物を含むリン酸含有メタルエッチング液から、加熱、減圧、送気又はこれらのいずれか2つ若しくは3つの組合せにより、揮発性成分を除去する工程(1)、及び、前記工程(1)を経て得られたリン酸を主成分とする残留物から、リン酸モノエステルとリン酸ジエステルとを含有してなる抽出液を用いて、さらに、不純物として含まれる金属イオンを該抽出液中に抽出する工程(2)、を含むメタルエッチング液の再生方法である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)