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1. (WO2008075404) 半導体製造システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/075404    国際出願番号:    PCT/JP2006/325244
国際公開日: 26.06.2008 国際出願日: 19.12.2006
IPC:
H01L 21/02 (2006.01)
出願人: SYSTEMV MANAGEMENT INC., [JP/JP]; Meguro Toyo Bldg. 8F., 1-11, Shimomeguro 1-chome, Meguro-ku, Tokyo 1530064 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IIMORI, Tatsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IIMORI, Tatsushi; (JP)
代理人: NAKOSHI, Hideo; IKUTA & NAKOSHI Roppongi First Bldg. 7F. 9-9, Roppongi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1060032 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR
(JA) 半導体製造システム
要約: front page image
(EN)There is provided a semiconductor manufacturing system used in manufacturing a semiconductor in a semiconductor manufacturing facility employing a flow shop system. The semiconductor manufacturing system has a plurality of bays equipped with a plurality of semiconductor manufacturing equipment and an intrabay transfer device, an interbay transfer device for transferring a carrier between the bays, and a flow shop controller. The semiconductor manufacturing equipment comprises one more modules each constituted by a subsystem equipped with at least one more IO devices. The bay, the semiconductor manufacturing equipment, the module, the subsystem, and the IO device each include a controller equipped with a controller framework that achieves each function by a common control system.
(FR)L'invention concerne un système de fabrication de semi-conducteur utilisé dans la fabrication d'un semi-conducteur dans un équipement de fabrication d'un semi-conducteur employant un système d'atelier monogamme. Le système de fabrication de semi-conducteur a une pluralité de postes équipés d'une pluralité d'équipements de fabrication de semi-conducteur et un dispositif de transfert intrapostes, un dispositif de transfert interpostes pour transférer un support entre les postes, et un contrôleur d'atelier monogamme. L'équipement de fabrication de semi-conducteur comprend un ou plusieurs modules constitués chacun par un sous-système équipé d'au moins un ou plusieurs dispositifs d'E/S. Le poste, l'équipement de fabrication de semi-conducteur, le module, le sous-système et le dispositif d'E/S comprennent chacun un contrôleur équipé d'un cadre de travail de contrôleur qui accomplit chaque fonction par un système de commande commun.
(JA) フローショップ方式における半導体製造施設において半導体を製造する際に用いる半導体製造システムを提供することを目的とする。  複数の半導体製造装置とベイ内搬送装置とを備える複数のベイと、ベイ間のキャリアの搬送を実行するベイ間搬送装置と、フローショップコントローラと、を有しており、半導体製造装置は、少なくとも一以上のIO装置を備えるサブシステムにより構成されているモジュールを、一以上備えることにより構成されており、ベイ、半導体製造装置、モジュール、サブシステム、IO装置の各々にコントローラを備えており、各コントローラには、共通の制御方式により各機能を実現するコントローラフレームワークが備えられている、半導体製造システムである。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)