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World Intellectual Property Organization
1. (WO2008072369) 測定装置および測定方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/072369    国際出願番号:    PCT/JP2007/001372
国際公開日: 19.06.2008 国際出願日: 07.12.2007
G01B 11/24 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-Chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
AOKI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOMATSU, Koichiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AOKI, Hiroshi; (JP).
KOMATSU, Koichiro; (JP)
代理人: FURUYA, Fumio; Dai2 Meiho Bldg. 9th Floor, 19-5, Nishishinjuku 1-Chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023 (JP)
2006-335971 13.12.2006 JP
2007-014246 24.01.2007 JP
(JA) 測定装置および測定方法
要約: front page image
(EN)A measurement device having a light sending section for sending light to a first direction that is the direction of the depth of a hollow, a conversion section for converting the direction of the light to the circumferential direction perpendicular to the first direction, a detection section for detecting that portion of light, the direction of which light is converted by the conversion section, that is reflected by the inner side of an object to be measured, and a shape measurement section for measuring the shapes of the inner side of the object by obtaining displacements from a predetermined reference position based on the result of detection by the detection section. The shapes of the hollow in the object can be obtained at the same time without rotating the object or a light source, and the measurement device enables highly accurate measurement.
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure ayant une section d'émission de lumière pour émettre de la lumière dans une première direction qui est la direction de la profondeur d'un creux, une section de conversion pour convertir la direction de la lumière dans la direction circonférentielle perpendiculaire à la première direction, une section de détection pour détecter cette partie de lumière, lumière dont la direction est convertie par la section de conversion, qui est réfléchie par le côté intérieur d'un objet qu'il faut mesurer, et une section de mesure de formes pour mesurer les formes du côté intérieur de l'objet en obtenant des déplacements par rapport à la position de référence prédéterminée en fonction du résultat de la détection effectuée par la section de détection. Les formes du creux dans l'objet peuvent être obtenues en même temps sans faire tourner l'objet ou une source de lumière, et le dispositif de mesure permet une mesure extrêmement précise.
(JA) 本発明に係る測定装置は、前記中空状の深さ方向である第1の方向に光を送光する送光部と、前記第1の方向と略直交する円周方向に前記光の方向を変換する変換部と、前記変換部で方向が変換された光のうち前記被測定物の内側で反射した光を検出する検出部と、前記検出部の検出結果に基づいて、所定基準位置からのずれを求めることにより前記被測定物の内側形状を測定する形状測定部とを設けた。これによって、物体や光源を回転させる必要がなく、物体の中空形状を一度に得ることができ、簡単な装置で精度の高い測定ができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)