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1. (WO2008069305) 露光装置及び搬送装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/069305    国際出願番号:    PCT/JP2007/073668
国際公開日: 12.06.2008 国際出願日: 07.12.2007
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUZUKI, Motoko [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUZUKI, Motoko; (JP)
代理人: KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden 5-4, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2006-330400 07.12.2006 JP
発明の名称: (EN) EXPOSURE APPARATUS AND CONVEYANCE APPARATUS
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION ET APPAREIL DE TRANSPORT
(JA) 露光装置及び搬送装置
要約: front page image
(EN)An exposure apparatus (1) in which vibration of a vacuum robot for conveying a wafer (W) to a wafer stage (29) is reduced. The exposure apparatus (1) has a first vacuum robot (25) and a second vacuum robot (27). In conveying the wafer (W) from a load lock chamber (15) to the wafer stage (29) inside a vacuum chamber (11), the first vacuum robot (25) is placed in the vacuum chamber (11) and conveys the wafer coming from the load lock chamber, and the second vacuum robot (27) is placed in the vacuum chamber and conveys the wafer (W) to the wafer stage (29). The first vacuum robot is driven independent of the second vacuum robot.
(FR)La présente invention concerne un appareil d'exposition (1) dans lequel la vibration d'un robot de transport pour transporter une tranche (W) vers un étage de tranche (29) est réduite. L'appareil d'exposition (1) se compose d'un premier robot de transport (25) et d'un second robot de transport (27). Lors du transport de la tranche (W) d'une chambre de blocage de charge (15) vers l'étage de la tranche (29) à l'intérieur d'une chambre à vide (11), le premier robot de transport (25) est placé dans la chambre à vide (11) et transporte la tranche provenant de la chambre de blocage de charge, et le second robot de transport (27) est placé dans la chambre à vide et transporte la tranche (W) vers l'étage de tranche (29). Le premier robot de transport est entraîné indépendamment du second robot de transport.
(JA) 露光装置1は、ウエハステージ29にウエハWを搬送する真空ロボットの振動を低減することができる。ロードロック室15からのウエハWを真空チャンバ11内のウエハステージ29に搬送する際に、前記真空チャンバ11内に配置され前記ロードロック室からのウエハを搬送する第1の真空ロボット25と、前記真空チャンバ内に配置され前記ウエハWを前記ウエハステージ29に搬送する第2の真空ロボット27とを備え、前記第1の真空ロボットは前記第2の真空ロボットとは独立に駆動される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)