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1. (WO2008069151) 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/069151    国際出願番号:    PCT/JP2007/073255
国際公開日: 12.06.2008 国際出願日: 30.11.2007
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KIUCHI, Tohru [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KIUCHI, Tohru; (JP)
代理人: KAWAKITA, Kijuro; YKB Mike Garden, 5-4, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2006-325472 01.12.2006 JP
発明の名称: (EN) EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND DEVICE PRODUCTION METHOD
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE DISPOSITIF
(JA) 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)An exposure apparatus (EX) has a first optical member (8) that emits an exposure beam; first movement bodies (1, 2) that can move in predetermined regions while holding substrates; a first holding device (30) that, when the first movement body is away from the first optical member (8), releasably holds a first cap member (C1) so that the first cap member (C1) is placed at a position facing the emitting surface of the first optical member, the first cap member (C1) being capable of forming a space for holding a liquid (LQ) between itself and the first optical member (8); a second holding device (CH1) that is provided on the first movement body and can hold the first cap member (C1) released from the first holding device (30); and a third holding device (CH2) that is provided on the first movement body and releasably holds a second cap member (C2). Reduction in operation rate is suppressed, and reduction in performance caused by a cap member is also suppressed.
(FR)Un appareil d'exposition (EX) a une premier élément optique (8) qui émet un faisceau d'exposition ; des premiers corps de mouvement (1, 2) qui peuvent se déplacer dans des régions prédéterminées tout en maintenant des substrats ; un premier dispositif de maintien (30) qui, lorsque le premier corps de mouvement est loin du premier élément optique (8), maintient de façon libérable un premier élément de capuchon (C1), de telle sorte que le premier élément de capuchon (C1) est placé à une position opposée à la surface d'émission du premier élément optique, le premier élément de capuchon (C1) étant capable de former un espace pour maintenir un liquide (LQ) entre celui-ci et le premier élément optique (8) ; et un second dispositif de maintien (CH1) qui est disposé sur le premier corps de mouvement et qui peut maintenir le premier élément de capuchon (C1) libéré du premier dispositif de maintien (30) ; et un troisième dispositif de maintien (CH2) qui est disposé sur le premier corps de mouvement et maintient de façon libérable un second élément de capuchon (C2). Une réduction de la vitesse de fonctionnement est supprimée, et une réduction de la performance provoquée par un élément de capuchon est également supprimée.
(JA) 露光装置EXは、露光ビームを射出する第1光学部材8と、所定領域内で基板を保持しながら移動可能な第1移動体1,2と、第1移動体が第1光学部材8から離れているときに、第1光学部材の射出面と対向する位置に、第1光学部材8との間に液体LQを保持する空間を形成可能な第1カバー部材C1が配置されるように、第1カバー部材C1をリリース可能に保持する第1保持装置30と、第1移動体上に設けられ、第1保持装置30からリリースされた第1キャップ部材C1を保持可能な第2保持装置CH1と、第1移動体上に設けられ、第2キャップ部材C2をリリース可能に保持する第3保持装置CH2とを備えている。稼動率の低下を抑制しつつ、キャップ部材に起因する性能の劣化を抑制できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)