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1. (WO2008069110) スピン偏極イオンビーム発生装置及びそのスピン偏極イオンビームを用いた散乱分光装置並びに試料加工装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/069110    国際出願番号:    PCT/JP2007/073121
国際公開日: 12.06.2008 国際出願日: 29.11.2007
IPC:
H05H 1/46 (2006.01), G01N 27/64 (2006.01), H01J 27/24 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/252 (2006.01)
出願人: JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY [JP/JP]; 4-1-8, Hon-cho, Kawaguchi-shi, Saitama 3320012 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUZUKI, Taku [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAUCHI, Yasushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUZUKI, Taku; (JP).
YAMAUCHI, Yasushi; (JP)
代理人: HIRAYAMA, Kazuyuki; 6th Floor, Shinjukugyoen Bldg. 2-3-10, Shinjuku Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2006-321044 29.11.2006 JP
2007-190277 23.07.2007 JP
発明の名称: (EN) SPIN-POLARIZATION ION BEAM GENERATOR, SCATTERING SPECTROSCOPE USING THE SPIN-POLARIZATION ION BEAM, AND SPECIMEN PROCESSING DEVICE
(FR) GÉNÉRATEUR DE FAISCEAU IONIQUE À POLARISATION EN SPIN, SPECTROSCOPE DE DIFFUSION UTILISANT LE FAISCEAU IONIQUE À POLARISATION EN SPIN ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'ÉCHANTILLON
(JA) スピン偏極イオンビーム発生装置及びそのスピン偏極イオンビームを用いた散乱分光装置並びに試料加工装置
要約: front page image
(EN)A spin-polarization ion beam generator (30) generates spin-polarization ion beam with high efficiency by applying circularly- and linearly-polarized pumping light beams (34, 35) generated by a pumping light generating section (33) from mutually perpendicular application directions to ions produced by ionizing metastable atoms in a high-frequency discharge lamp (15). For example, the generator (30) can generate a polarization helium ion beam having a high spin polarizability from 18% to 25%. The generator (30) can be used for a processing apparatus or an analyzer in which an polarized ion beam can be applied to a specimen. A spin-polarization ion scattering spectroscope can measure the spin state in the region about two or three atom layer depth of the specimen with an accuracy higher than conventional in a short measurement time while distinguishing an element from an atom layer.
(FR)Un générateur (30) de faisceau ionique de polarisation en spin génère un faisceau ionique de polarisation en spin avec un rendement élevé par l'application de faisceaux lumineux (34, 35) de pompage polarisés de façon circulaire et linéaire générés par une section (33) de génération de lumière de pompage à partir de directions d'application mutuellement perpendiculaires à des ions produits par ionisation d'atomes métastables dans une lampe à décharge (15) à fréquence élevée. Par exemple, le générateur (30) peut générer un faisceau ionique d'hélium de polarisation ayant une aptitude à la polarisation en spin élevée de 18 % à 25 %. Le générateur (30) peut être utilisé pour un appareil de traitement ou un analyseur dans lequel un faisceau ionique polarisé peut être appliqué à un échantillon. Un spectroscope de diffusion d'ions de polarisation en spin peut mesurer l'état de spin dans la région autour d'une profondeur de couche de l'échantillon de deux ou trois atomes avec une précision supérieure à la précision classique dans un temps de mesure court, tout en distinguant un élément d'une couche d'atome.
(JA) スピン偏極イオンビーム発生装置(30)は、高周波放電管(15)内のイオンへポンピング光発生部(33)により準安定原子に対して円偏光と直線偏光とを互いに直角の照射方向から光ポンピング(33,34)を照射することで効率良くスピン偏極イオンを発生することができ、例えば、スピン偏極率が18%を超え25%に達する高い偏極率をもった偏極ヘリウムイオンビームを発生させることができる。スピン偏極イオンビーム発生装置(30)は、試料へ偏極したイオンビームを照射することができる加工装置や分析装置にも適用することができる。スピン偏極イオン散乱分光装置によれば、試料の表面2~3原子層程度の深さ領域において、元素と原子層とを同時選別したスピン状態を、測定時間を短縮して従来にはない高精度の測定が可能になる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)