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1. (WO2008068894) 欠陥検出装置、欠陥検出方法、情報処理装置、情報処理方法及びそのプログラム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/068894    国際出願番号:    PCT/JP2007/001335
国際公開日: 12.06.2008 国際出願日: 30.11.2007
IPC:
G01N 21/956 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01), G06T 1/00 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAWARAGI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAWARAGI, Hiroshi; (JP)
代理人: OMORI, Junichi; 4th Floor, Matrice Bldg. 2-13-7, Minamiaoyama Minato-ku, Tokyo 1070062 (JP)
優先権情報:
2006-327095 04.12.2006 JP
発明の名称: (EN) DEFECT DETECTING DEVICE, DEFECT DETECTING METHOD, INFORMATION PROCESSING DEVICE, INFORMATION PROCESSING METHOD AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE DÉFAUTS, DISPOSITIF, PROCÉDÉ ET PROGRAMME DE TRAITEMENT D'INFORMATIONS
(JA) 欠陥検出装置、欠陥検出方法、情報処理装置、情報処理方法及びそのプログラム
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS TO BE SOLVED] A problem to be solved is to efficiently detect defects of an MEMS device without the necessity of an absolute model image while preventing mistakenly detecting with a high degree of accuracy. [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] A defect detecting device (100) picks up an image of a protein chip (35) formed in each die (30) of a wafer (1) for every first divided region (71), wherein each die is divided into a plurality of the first divided regions. The defect detecting device preserves the image together with an ID to identify each divided region (71) as an examination subject image, eliminates low frequency components from the examination subject image through a high-pass filter, then calculates average brightness for each pixel of each examination subject image having a corresponding ID, and forms a model image for each first divided region (71). The defect detecting device extracts a difference between the model image and each examination subject image as a difference image, carries out filtering of the difference image by the extraction of a Blob, extracts the Blob with not less than a predetermined area as a Blob defect, and classifies kinds of defects in accordance with a characteristic amount of the extracted Blob.
(FR)Le problème à résoudre consistait à détecter efficacement les défauts d'un dispositif MEMS sans disposer nécessairement d'une image modèle absolue tout en évitant la détection par inadvertance avec un niveau de précision élevé. On a donc mis au point un dispositif de détection de défauts (100) qui prélève une image d'une puce à protéines (35) formée dans chaque dé (30) d'une tranche (1) pour chaque première région divisée (71), chaque dé étant divisé en une pluralité de premières régions divisées. Le dispositif de détection de défauts conserve l'image ainsi que des données d'identification (ID) pour identifier chaque région divisée (71) en tant qu'image du sujet examiné, élimine les composantes basse fréquence de l'image du sujet examiné à l'aide d'un filtre passe-haut et calcule ensuite une luminosité moyenne pour chaque pixel de chaque image du sujet examiné ayant une ID correspondante et forme une image modèle pour chaque première région divisée (71). Le dispositif de détection de défauts établit et calcule une différence entre l'image modèle et chaque image du sujet examiné sous forme d'image différentielle, effectue le filtrage de l'image différentielle par extraction d'un Blob, extrait le Blob avec une zone qui n'est pas inférieure à une zone prédéterminée en tant que défaut Blob et classifie les types de défauts en fonction d'une quantité caractéristique du Blob extrait.
(JA)【課題】絶対的なモデル画像を必要とすることなく、誤検出を防ぎながら高精度かつ効率的にMEMSデバイスの欠陥を検出すること。 【解決手段】欠陥検出装置100は、ウェハ1の各ダイ30に形成されたプロテインチップ35を、各ダイが複数に分割された第1分割領域71毎にそれぞれ撮像して、各第1分割領域71を識別するIDとともに検査対象画像として保存し、各検査対象画像に対してハイパスフィルタを施して低周波成分を除去した後、対応するIDを有する各検査対象画像の各画素毎の平均輝度値を算出して各第1分割領域71毎のモデル画像を作成し、モデル画像と各検査対象画像との差分を差分画像として抽出した後、各差分画像に対してBlob抽出によるフィルタリングを施して所定面積以上のBlobを欠陥として抽出し、抽出されたBlobの特徴量を基に欠陥の種類を分類する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)