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1. (WO2008068859) 搬送装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/068859    国際出願番号:    PCT/JP2006/324294
国際公開日: 12.06.2008 国際出願日: 05.12.2006
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
出願人: Hirata Corporation [JP/JP]; 9-20, Togoshi 3-chome Shinagawa-ku, Tokyo 142-0041 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HIRATA, Shojiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HIRATA, Shojiro; (JP)
代理人: AIKAWA, Toshihiko; Nakano Bldg. #3 12-5, Minami Ikebukuro 2-chome Toshima-ku, Tokyo 1710022 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) CONVEYING EQUIPMENT
(FR) EQUIPEMENT DE TRANSPORT
(JA) 搬送装置
要約: front page image
(EN)High mobility vacuum conveying equipment which can be extended and can deal with increase/decrease in production flexibly. In the conveying equipment comprising an equipment front end module, a load lock chamber, and/or a vacuum conveyance chamber arranged to be coupled sequentially on a common frame, a conveyance robot movable substantially horizontally along a straight line is provided in the vacuum conveyance chamber. The vacuum conveyance chamber is constituted by coupling at least one module chamber along the moving direction of the conveyance robot. Various utilities are arranged under the installation plane of the common frame on the outside of the vacuum conveyance chamber and the conveyance robot exhibits its function depending on the position thereof.
(FR)La présente invention concerne un équipement de transport sous vide d'une mobilité élevée pouvant être étendu et s'adapter à une augmentation/diminution de la production de façon flexible. Dans l'équipement de transport comprenant un module frontal d'équipement, une chambre de blocage de charge, et/ou une chambre de transport sous vide agencées de façon à être couplées séquentiellement sur un châssis commun, un robot transporteur se déplaçant de façon sensiblement horizontale le long d'une ligne droite est prévu dans la chambre de transport sous vide. La chambre de transport sous vide est constituée en couplant au moins une chambre de module le long de la direction de déplacement du robot transporteur. Divers éléments sont placés sous le plan d'installation du châssis commun à l'extérieur de la chambre de transport sous vide et le robot transporteur exerce sa fonction en fonction de la position de celui-ci.
(JA)増設可能で生産量の増減に柔軟に対応でき、機動性の高い真空搬送装置を提供する。順に連結可能な装置前端部モジュール、ロードロックチャンバ、及び/又は真空搬送チャンバを共通の架台に備える搬送装置であって、前記真空搬送チャンバ内に、実質的に直線に沿って水平に移動可能な搬送ロボットを備える。前記真空搬送チャンバは、少なくとも1つのモジュールチャンバを、前記搬送ロボットの移動方向に沿って、リニアに連結してなる。前記共通架台の設置面の下であって、前記真空搬送チャンバ外に、各種のユーティリティが配置され、前記搬送ロボットの位置に応じて、前記搬送ロボットがその機能を発揮する。    
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)