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1. (WO2008066118) 薄膜積層体及びそれを用いた薄膜磁気センサ並びにその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/066118    国際出願番号:    PCT/JP2007/073058
国際公開日: 05.06.2008 国際出願日: 29.11.2007
IPC:
H01L 43/06 (2006.01), G01R 33/07 (2006.01), G01R 33/09 (2006.01), H01L 29/201 (2006.01), H01L 43/08 (2006.01), H01L 43/12 (2006.01), H01L 43/14 (2006.01)
出願人: ASAHI KASEI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 2-6, Dojimahama 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka, 5308205 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIBASAKI, Ichiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
GEKA, Hirotaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OKAMOTO, Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIBASAKI, Ichiro; (JP).
GEKA, Hirotaka; (JP).
OKAMOTO, Atsushi; (JP)
代理人: TANI, Yoshikazu; 6-20, Akasaka 2-chome, Minato-ku, Tokyo, 1070052 (JP)
優先権情報:
2006-324573 30.11.2006 JP
発明の名称: (EN) THIN FILM LAMINATED BODY, THIN FILM MAGNETIC SENSOR USING THE THIN FILM LAMINATED BODY AND METHOD FOR MANUFACTURING THE THIN FILM LAMINATED BODY
(FR) CORPS LAMINÉ À COUCHE MINCE, CAPTEUR MAGNÉTIQUE À COUCHE MINE UTILISANT LE CORPS LAMINÉ À COUCHE MINCE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU CORPS LAMINÉ À COUCHE MINCE
(JA) 薄膜積層体及びそれを用いた薄膜磁気センサ並びにその製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is a thin film laminated body to have a thin film conductive layer having high electron mobility and sheet resistance as an InAsSb operation layer. A thin film magnetic sensor using such thin film laminated body and a method for manufacturing such thin film laminated body are also provided. The thin film laminated body is provided with an AlXIn1-XSb mixed crystal layer arranged on a substrate, and an InAsXSb1-X (0XIn1-XSb layer by being brought into direct contact with the layer. The AlXIn1-XSb mixed crystal layer exhibits resistance higher than that of the InAsXSb1-X thin film conductive layer or insulating characteristics or p-type conductivity, a band gap larger than that of the InAsXSb1-X thin film conducive layer and a lattice mismatch within a range of +1.3% to -0.8%.
(FR)La présente invention concerne un corps laminé à couche mince permettant d'avoir une couche conductrice à film mince ayant une mobilité électronique et une résistance de couche en tant que couche de fonctionnement InAsSb. Un capteur magnétique à couche mince utilisant ce corps laminé à couche mince et un procédé de fabrication de ce corps laminée à couche mince sont également prévus. Le corps laminé à couche mince est doté d'une couche cristalline mixte AlXIn1-XSb disposée sur un substrat, et d'une couche conductrice à film mince InAsXSb1-X (0<1) agencée sur la couche AlXIn1-XSb en étant amenée en contact direct avec la couche. La couche cristalline mixte AlXIn1-XSb présente une résistance supérieure à celle de la couche conductrice à film mince InAsXSb1-X ou des caractéristiques d'isolation ou une conductivité de type-p, et un espace de bande supérieur à celui de la couche conductrice à film mince InAsXSb1-X et un décalage de réseau dans une plage de +1,3 % à -0,8 %.
(JA) InAsSb動作層としての高い電子移動度とシート抵抗を有する薄膜導電層を実現するようにした薄膜積層体及びそれを用いた薄膜磁気センサ並びにその製造方法に関する。基板上に設けられたAlIn1-xSb混晶層と、該AlIn1-xSb層上に直接接して設けられたInAsSb1-x(0<x≦1)薄膜導電層と、を備え、前記AlIn1-xSb混晶層は、前記InAsSb1-x薄膜導電層より高抵抗又は絶縁性、若しくはp型の伝導性を示す層で、かつ、バンドギャップが前記InAsSb1-x薄膜導電層より大きく格子不整合(ミスマッチ)が+1.3%~-0.8%であることを特徴とする薄膜積層体を提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)