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1. (WO2008066030) 表示デバイス用Al合金膜、表示デバイス、及びスパッタリングターゲット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/066030    国際出願番号:    PCT/JP2007/072832
国際公開日: 05.06.2008 国際出願日: 27.11.2007
IPC:
H01L 21/3205 (2006.01), C23C 14/14 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), H01L 21/285 (2006.01), H01L 23/52 (2006.01), H01L 29/786 (2006.01)
出願人: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO [JP/JP]; 10-26, Wakinohama-cho 2-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6518585 (JP) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
GOTOU, Hiroshi; (米国のみ).
TOMIHISA, Katsufumi; (米国のみ).
HINO, Aya; (米国のみ).
OKUNO, Hiroyuki; (米国のみ).
NAKAI, Junichi; (米国のみ).
KAWAKAMI, Nobuyuki; (米国のみ).
OCHI, Mototaka; (米国のみ)
発明者: GOTOU, Hiroshi; .
TOMIHISA, Katsufumi; .
HINO, Aya; .
OKUNO, Hiroyuki; .
NAKAI, Junichi; .
KAWAKAMI, Nobuyuki; .
OCHI, Mototaka;
代理人: OGURI, Shohei; Eikoh Patent Office 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2006-324494 30.11.2006 JP
2007-168298 26.06.2007 JP
発明の名称: (EN) Al ALLOY FILM FOR DISPLAY DEVICE, DISPLAY DEVICE, AND SPUTTERING TARGET
(FR) FILM D'ALLIAGE D'AL POUR UN DISPOSITF D'AFFICHAGE, DISPOSITF D'AFFICHAGE, ET CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE
(JA) 表示デバイス用Al合金膜、表示デバイス、及びスパッタリングターゲット
要約: front page image
(EN)Disclosed is an Al alloy film for display devices, which is directly connected with a conductive oxide film on a substrate. This Al alloy film for display devices contains 0.05-0.5 atom% of Ge and 0.05-0.45 atom% of Gd and/or La in total. Also disclosed are a display device using such an Al alloy film, and a sputtering target for display devices. The Al alloy film for display devices has high adhesion to a conductive oxide film and low contact resistivity even when the Al alloy film is directly connected with the conductive oxide film without using a barrier metal. Preferably, the Al alloy film for display devices is excellent in dry etching properties.
(FR)L'invention concerne un film d'alliage d'Al pour des dispositifs d'affichage, qui est directement relié à un fil d'oxyde conducteur sur un substrat. Ce film d'alliage d'Al pour des dispositifs d'affichage contient 0,05-0,5 % atomique de Ge et 0,05-0,45 % atomique de Gd et/ou La au total. L'invention concerne également un dispositif d'affichage utilisant un tel film d'alliage d'Al, et une cible de pulvérisation cathodique pour des dispositifs d'affichage. Le film d'alliage d'Al pour des dispositifs d'affichage présente une haute adhésion à un film d'oxyde conducteur et une faible résistivité de contact même lorsque le film d'alliage d'Al est directement relié au film d'oxyde conducteur sans utiliser un métal de barrière. De préférence, le film d'alliage d'Al pour des dispositifs d'affichage a d'excellentes propriétés de gravure à sec.
(JA) 本発明は、基板上にて、導電性酸化膜に直接接続する表示デバイス用Al合金膜であって、Al合金膜は、Geを0.05~0.5原子%含有し、Gdおよび/またはLaを合計で0.05~0.45原子%含有する表示デバイス用Al合金膜、これを用いた表示デバイスおよび表示デバイス用のスパッタリングターゲットを提供する。本発明のAl合金膜は、バリアメタルを設けず、導電性酸化膜とAl合金膜を直接接続させても、導電性酸化膜とAl合金膜との間の密着性が高く、コンタクト抵抗率が低く、好ましくは、ドライエッチング性にも優れる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)