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1. (WO2008065909) 巻取式真空成膜方法および巻取式真空成膜装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/065909    国際出願番号:    PCT/JP2007/072250
国際公開日: 05.06.2008 国際出願日: 16.11.2007
IPC:
C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/56 (2006.01)
出願人: ULVAC, INC. [JP/JP]; 2500 Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543 (JP) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
HIRONO, Takayoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NOMURA, Tsunehito [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TADA, Isao [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKATSUKA, Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HIRONO, Takayoshi; (JP).
NOMURA, Tsunehito; (JP).
TADA, Isao; (JP).
NAKATSUKA, Atsushi; (JP)
代理人: OMORI, Junichi; 4th Floor, Matrice Bldg., 2-13-7, Minamiaoyama Minato-Ku, Tokyo 1070062 (JP)
優先権情報:
2006-319455 28.11.2006 JP
発明の名称: (EN) WINDING VACUUM FILM FORMING PROCESS AND APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM SOUS VIDE PAR ENROULEMENT
(JA) 巻取式真空成膜方法および巻取式真空成膜装置
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To carry out a high-quality film forming processing through effective maintenance of the cleaning function of a can roller by a cleaning unit. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] Prior to formation to base film (12), cleaning unit (30) is brought into contact with can roller (14) for cooling, and the can roller (14) is cleaned while rotating the same in noncooled condition. Accordingly, there can be realized prevention of supercooling of the cleaning unit (30), inhibition of detachment of removed dust and efficient execution of dust removal processing of the can roller (14) by the cleaning unit (30). Further, after completion of the cleaning, by cancellation of the state of contact between the cleaning unit (30) and the can roller (14), there can be attained prevention of cooling of the cleaning unit (30) by the cooling operation for the can roller (14) at film formation and retention of dust removed from the circumferential surface of the can roller (14) without being detached.
(FR)[PROBLÈMES] Réaliser un procédé de formation de film de haute qualité par l'entretien efficace de la fonction de nettoyage d'un rouleau métallique par une unité de nettoyage. [MOYENS POUR RÉSOUDRE LES PROBLÈMES] Avant la formation d'un film de base (12), une unité de nettoyage (30) est amenée en contact avec un rouleau métallique de refroidissement (14), et le rouleau métallique (14) est nettoyé tout en faisant tourner celui-ci dans un état non refroidi. Par conséquent, on peut parvenir à empêcher un sur refroidissement de l'unité de nettoyage (30), à empêcher le détachement de la poussière enlevée et à exécuter efficacement un processus de retrait de poussière du rouleau métallique (14) par l'unité de nettoyage (30). En outre, après achèvement du nettoyage, par l'annulation de l'état de contact entre l'unité de nettoyage (30) et le rouleau métallique (14), on peut parvenir à empêcher le refroidissement de l'unité de nettoyage (30) par la conduite du refroidissement pour le rouleau métallique (14) à la formation du film et à retenir la poussière enlevée de la surface périphérique du rouleau métallique (14) sans qu'elle ne soit détachée.
(JA)【課題】クリーニングユニットによるキャンローラのクリーニング機能を効果的に維持して品質の高い成膜処理を行うこと。 【解決手段】本発明においては、ベースフィルム12へ成膜する前に、クリーニングユニット30を冷却用のキャンローラ14に接触させてキャンローラ14を非冷却状態で回転させながらクリーニングすることで、クリーニングユニット30の過冷却を防止して、除去したダストの離脱を阻止し、クリーニングユニット30によるキャンローラ14の除塵処理を効率良く行うことが可能となる。また、クリーニング完了後は、クリーニングユニット30とキャンローラ14との接触状態を解除することで、成膜時におけるキャンローラ14の冷却操作によってクリーニングユニット30が冷却されることを防止して、キャンローラ14の周面から除去したダストを離脱させることなく保持することができる。  
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)