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1. (WO2008065820) 処理装置および処理方法、ならびに表面処理治具
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/065820    国際出願番号:    PCT/JP2007/069961
国際公開日: 05.06.2008 国際出願日: 12.10.2007
IPC:
H01L 21/304 (2006.01)
出願人: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. [JP/JP]; 150, Nakamaruko, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2110012 (JP) (AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IS, IT, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, SV, SY, SZ, TD, TG, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
IWATA, Yasumasa; (米国のみ).
NAKAMURA, Akihiko; (米国のみ)
発明者: IWATA, Yasumasa; .
NAKAMURA, Akihiko;
代理人: HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi Osaka 5300041 (JP)
優先権情報:
2006-324433 30.11.2006 JP
発明の名称: (EN) PROCESSING APPARATUS, PROCESSING METHOD, AND SURFACE PROCESSING JIG
(FR) APPAREIL, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT ET GABARIT DE TRAITEMENT DE SURFACE
(JA) 処理装置および処理方法、ならびに表面処理治具
要約: front page image
(EN)A processing apparatus (100) performs processing to a body (18) to be processed, which has surfaces to be processed including a second surface (18b) to be processed and a first surface (18a) to be processed on the outer circumference of the second surface (18b). The processing apparatus comprises a mounting portion (10) for mounting the body (18), and a processing jig (20) including a first supply portion (24) for supplying a first process liquid to a substantial boundary between the first surface (18a) and the second surface (18b) and a second supply portion (46) for supplying a second process liquid to the second surface (18b). This provides a processing apparatus, a processing method, and a surface processing jig, capable of performing different processings to one surface to be processed and other exposed surfaces disposed on the outer circumference of the one surface to be processed.
(FR)La présente invention concerne un appareil de traitement (100) pour le traitement d'un corps (18) à traiter, dont les surfaces à traiter comprennent une seconde surface (18b) à traiter et une première surface (18a) à traiter sur la périphérie externe de la seconde surface (18b). L'appareil de traitement comprend une partie d'assemblage (10) du corps (18), et un gabarit de traitement (20) comprenant une première partie d'alimentation (24) pour amener un premier liquide de traitement à une limite sensible entre la première surface (18a) et la seconde surface (18b) et une seconde partie d'alimentation (46) pour amener un second liquide de traitement à la seconde surface (18b). On obtient ainsi un appareil de traitement, un procédé de traitement, et un gabarit de traitement de surface permettant de réaliser différents traitements sur une surface à traiter et d'autres surfaces exposées placées sur la périphérie externe de ladite surface à traiter.
(JA) 本発明にかかる処理装置(100)は、第2被処理面(18b)と、該第2被処理面(18b)の外周に配置された第1被処理面(18a)とを含む被処理面を有する被処理体(18)に対して処理を行なう処理装置であって、前記被処理体(18)を載置する載置部(10)と、第1被処理面(18a)と第2被処理面(18b)との略境界に第1処理液を供給する第1供給部(24)と、第2被処理面(18b)に第2処理液を供給する第2供給部(46)と、を含む処理治具(20)と、を含むことを特徴としている。これにより、一の被処理面と、被処理面の外周に配置された他の露出面とに、それぞれ別々の処理を施すことができる処理装置および処理方法、ならびに、表面処理治具を提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)