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1. (WO2008065755) 現像液の濃度調節方法および調製装置ならびに現像液
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/065755    国際出願番号:    PCT/JP2007/001319
国際公開日: 05.06.2008 国際出願日: 29.11.2007
IPC:
G03F 7/30 (2006.01), G03D 3/00 (2006.01), G03F 7/32 (2006.01)
出願人: MITSUBISHI CHEMICAL ENGINEERING CORPORATION [JP/JP]; 2-8, Shibaura 4-chome Minato-ku Tokyo 1080023 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TAKASAKI, Norihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUGIMOTO, Kenji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANAHASHI, Ryouta [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
BANDOU, Yoshifumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NOYA, Atsuko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANIGUCHI, Katsuto [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TAKASAKI, Norihiro; (JP).
SUGIMOTO, Kenji; (JP).
TANAHASHI, Ryouta; (JP).
BANDOU, Yoshifumi; (JP).
NOYA, Atsuko; (JP).
TANIGUCHI, Katsuto; (JP)
代理人: OKADA, Kazuhiko; Okada & Associates 6F, Kudan Kangyo Bldg. 10-1, Kudan-kita 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 1020073 (JP)
優先権情報:
2006-322814 30.11.2006 JP
2007-106188 13.04.2007 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR REGULATING CONCENTRATION OF DEVELOPING SOLUTION, APPARATUS FOR PREPARING THE DEVELOPING SOLUTION, AND DEVELOPING SOLUTION
(FR) PROCÉDÉ DE RÉGULATION D'UNE CONCENTRATION DE SOLUTION DE DÉVELOPPEMENT, APPAREIL DE PRÉPARATION DE LA SOLUTION DE DÉVELOPPEMENT ET SOLUTION DE DÉVELOPPEMENT
(JA) 現像液の濃度調節方法および調製装置ならびに現像液
要約: front page image
(EN)This invention provides a method for regulating the concentration of a developing solution, which can regulate the alkali concentration of an alkaline developing solution used in a photoresist development process so that high-quality development treatment can be carried out, and an apparatus for preparing the developing solution. In the method for regulating the concentration of a developing solution, the concentration of an alkali in the developing solution and the concentration of a carbonate in the developing solution are specified, and the alkali concentration is regulated based on a previously provided relationship between alkali concentration and carbonate concentration, which can realize such a dissolving capability that can render the CD value obtained by the development treatment constant. The apparatus for preparing a developing solution comprises a preparation tank, a feed line for feeding a developing solution to a development process, a recovery line for receiving a used developing solution, a stock solution feed line for feeding a fresh developing solution stock to the preparation tank, a concentration meter for detecting the concentration of an alkali in the developing solution and the concentration of a carbonate in the developing solution, and a control unit forcontrolling the feed of the developing solution stock based on a specific relation.
(FR)Cette invention concerne un procédé de régulation de la concentration d'une solution de développement, permettant de réguler la concentration en alcali d'une solution de développement alcaline utilisée dans un procédé de développement de photorésine, de telle sorte qu'un traitement de développement de haute qualité peut être effectué; l'invention concerne également un appareil de préparation de la solution de développement. Selon le procédé de régulation de la concentration d'une solution de développement, la concentration d'un alcali dans la solution de développement et la concentration d'un carbonate dans la solution de développement sont spécifiées, et la concentration en alcali est régulée sur la base d'une relation préalablement fournie entre la concentration en alcali et la concentration en carbonate, ce qui permet d'obtenir une aptitude à la dissolution telle qu'elle peut rendre constante la valeur de CD obtenue par le traitement de développement. L'appareil de préparation d'une solution de développement comprend un réservoir de préparation, une ligne d'alimentation pour adresser une solution de développement à un procédé de développement, une ligne de récupération pour recevoir une solution de développement utilisée, une ligne d'alimentation de solution-mère pour adresser une solution-mère de développement fraîche au réservoir de préparation, un instrument de mesure de concentration pour détecter la concentration d'un alcali dans la solution de développement et la concentration d'un carbonate dans la solution de développement, et une unité de commande pour commander l'alimentation de la solution-mère de développement sur la base d'une relation spécifique.
(JA) フォトレジストの現像プロセスに使用されるアルカリ性の現像液のアルカリ濃度を高品質の現像処理が出来る様に調節する現像液の濃度調節方法および調製装置を提供する。  現像液の濃度調節方法では、現像液のアルカリ濃度および現像液中の炭酸塩濃度を測定し、現像処理して得られるCD値が一定の値となる様な溶解能を発揮し得るアルカリ濃度と炭酸塩濃度との予め作成された関係に基づき、アルカリ濃度を調節する。また、現像液の調製装置は、調製槽、現像液を現像プロセスへ供給する供給ライン、使用済現像液を受け入れる回収ライン、新たな現像液原液を調製槽に供給する原液供給ライン、現像液のアルカリ濃度および現像液中の炭酸塩濃度を検出する濃度計、および、特定の関係に基づいて現像液原液の供給を制御する制御装置とを備えている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)