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1. (WO2008062667) 電子線照射装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/062667    国際出願番号:    PCT/JP2007/071604
国際公開日: 29.05.2008 国際出願日: 07.11.2007
IPC:
G21K 5/00 (2006.01), B05C 9/12 (2006.01), G21K 5/04 (2006.01)
出願人: HAMAMATSU PHOTONICS K.K. [JP/JP]; 1126-1, Ichino-cho Higashi-ku Hamamatsu-shi Shizuoka 4358558 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MATSUMURA, Tatsuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MATSUMURA, Tatsuya; (JP)
代理人: HASEGAWA, Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM Ginza First Bldg. 10-6, Ginza 1-chome, Chuo-ku Tokyo 1040061 (JP)
優先権情報:
2006-317499 24.11.2006 JP
発明の名称: (EN) ELECTRON BEAM IRRADIATION APPARATUS
(FR) DISPOSITIF D'IRRADIATION À FAISCEAU D'ÉLECTRONS
(JA) 電子線照射装置
要約: front page image
(EN)In an electron beam irradiation apparatus (1), a second window unit (5) having an outer window (34) is provided opposing a first window unit (4) having an electron beam exit window (24). This prevents dirt from adhering to the electron beam exit window (24) because the outer window (34) blocks flying particles and the like produced when an irradiation object is irradiated with an electron beam (EB). Further, in the electron beam irradiation apparatus (1), the thickness of the outer window (34) in the direction of the exit axis of the electron beam (EB) is made smaller than the thickness of the electron beam exit window (24) in the direction of the exit axis of the electron beam (EB). Accordingly, the output loss occurring when the electron beam (EB) exiting the electron beam exit window (24) passes through the outer window (34) is suppressed to be extremely small, so that a sufficient dose of the electron beam (EB) emitted to the outside of the apparatus can be ensured.
(FR)Dans un dispositif d'irradiation (1) à faisceau d'électrons, un second ensemble fenêtre (5) comprenant une fenêtre externe (34), est installé face à un premier ensemble fenêtre (4) comprenant une fenêtre (24) de sortie de faisceau d'électrons. Cette structure empêche que des salissures ne viennent se coller sur la fenêtre (24) de sortie de faisceau d'électrons du fait que la fenêtre externe (34) bloque les particules volantes et analogues produites lors de l'irradiation d'un objet avec un faisceau d'électrons (EB). En outre, dans ce dispositif d'irradiation (1) à faisceau d'électrons, l'épaisseur de la fenêtre externe (34) dans la direction de l'axe de sortie du faisceau d'électrons (EB) est inférieure à l'épaisseur de la fenêtre (24) de sortie du faisceau d'électrons dans la direction de l'axe de sortie du faisceau d'électrons (EB). La perte de rendement se produisant lorsque le faisceau d'électrons (EB) sortant par la fenêtre de sortie (24) correspondante passe à travers la fenêtre externe (34) est ainsi réduite à un niveau extrêmement faible, ce qui permet d'assurer l'émission d'une dose de rayonnement suffisante du faisceau d'électrons (EB).
(JA) 電子線照射装置1では、電子線出射窓24を有する第1の窓ユニット4に対して、外窓34を有する第2の窓ユニット5が設けられている。そのため、電子線EBが照射対象物に照射される際に発生する飛散物等は外窓34によってブロックされ、電子線出射窓24への汚れの付着が防止される。また、この電子線照射装置1では、外窓34における電子線EBの出射軸方向の厚さが、電子線出射窓24における電子線EBの出射軸方向の厚さよりも小さくなっている。したがって、電子線出射窓24から出射した電子線EBが外窓34を通過する際の出力ロスを極めて小さく抑えることができ、装置外部に出射する電子線EBの線量を十分に確保できる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)