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1. (WO2008059799) 処理システムと処理方法および記録媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/059799    国際出願番号:    PCT/JP2007/071935
国際公開日: 22.05.2008 国際出願日: 12.11.2007
IPC:
H01L 21/304 (2006.01), B08B 3/04 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
AMANO, Yoshifumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: AMANO, Yoshifumi; (JP)
代理人: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2006-309210 15.11.2006 JP
発明の名称: (EN) PROCESSING SYSTEM, PROCESSING METHOD AND RECORDING MEDIUM
(FR) SYSTÈME DE TRAITEMENT, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT
(JA) 処理システムと処理方法および記録媒体
要約: front page image
(EN)A processing system (1) is provided with a processing container (30) which stores a processing object (W) in a processing space (83); a processing fluid generating section (41) for generating a processing fluid at a prescribed temperature; and a main channel (56) arranged between the processing fluid generating section (41) and the processing container (30), for guiding the processing fluid supplied from the processing fluid generating section (41). In the downstream of the main channel (56), a processing fluid supply channel (171) is arranged for guiding the processing fluid into the processing container (30) through a switch valve (70) and supplying the processing fluid into the processing space (83) in the processing container (30). In the downstream of the main channel (56), a processing fluid bypass channel (172) is arranged for guiding the processing fluid, which is not guided to the processing fluid supply channel (171), to bypass the processing space (83) through the switch valve (70). On the main channel (56), a flow volume adjusting mechanism (65) for adjusting the flow volume of the processing fluid flowing in the main channel (56) is arranged.
(FR)Un système de traitement (1) comporte un conteneur de traitement (30) qui stocke un objet de traitement (W) dans un espace de traitement (83) ; une section (41) de génération de fluide de traitement pour générer un fluide de traitement à une température prescrite ; et un canal principal (56) disposé entre la section (41) de génération de fluide de traitement et le conteneur de traitement (30), pour guider le fluide de traitement alimenté par la section (41) de génération de fluide de traitement. En aval du canal principal (56), un canal (171) d'alimentation en fluide de traitement est disposé pour guider le fluide de traitement à l'intérieur du conteneur de traitement (30) à travers une soupape de commutation (70) et pour fournir le fluide de traitement dans l'espace de traitement (83) situé dans le conteneur de traitement (30). En aval du canal principal (56), un canal (172) de dérivation de fluide de traitement est disposé pour guider le fluide de traitement qui n'est pas guidé vers le canal (171) d'alimentation en fluide de traitement, et éviter l'espace de traitement (83) en passant à travers la soupape de commutation (70). Un mécanisme (65) d'ajustement de volume d'écoulement pour ajuster le volume d'écoulement du fluide de traitement circulant dans le canal principal (56) est disposé sur le canal principal (56).
(JA) 処理システム1は、被処理体Wを処理空間83内に収納する処理容器30と、所定の温度の処理流体を発生させる処理流体発生部41と、前記処理流体発生部41と前記処理容器30との間に配置され、該処理流体発生部41から供給される前記処理流体を案内する主流路56と、を備えている。主流路56の下流側には、切替弁70を介して、処理容器30内に処理流体を導き、該処理流体を処理容器30内の処理空間83に供給する処理流体供給流路171が配置されている。主流路56の下流側には、切替弁70を介して、処理流体供給流路171に導かれない処理流体を処理空間83を迂回させるように案内する処理流体バイパス流路172が配置されている。主流路56には、該主流路56内を流れる処理流体の流量を調節するための流量調節機構65が設けられている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)