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1. (WO2008053934) 静電チャック装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/053934    国際出願番号:    PCT/JP2007/071252
国際公開日: 08.05.2008 国際出願日: 31.10.2007
IPC:
H01L 21/683 (2006.01), H02N 13/00 (2006.01)
出願人: Tomoegawa Co., Ltd. [JP/JP]; 5-15, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1048335 (JP) (米国を除く全ての指定国).
TOYODA, Yukio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAGI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: TOYODA, Yukio; (JP).
YAGI, Hiroshi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2006-295035 31.10.2006 JP
2007-273691 22.10.2007 JP
発明の名称: (EN) ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE
(JA) 静電チャック装置
要約: front page image
(EN)This invention provides an electrostatic chuck device which has improved resistance to physical external force by virtue of stacking of ceramic on an insulating organic film and, at the same time, has excellent voltage endurance characteristics and has excellent adsorption power. The electrostatic chuck device comprises a ceramic layer, for adsorbing a material to be adsorbed, stacked on an insulating organic film. The surface roughness Ra of the ceramic layer in its adsorption face is not more than 7.0 &mgr;m.
(FR)Cette invention concerne un mandrin électrostatique qui possède une résistance améliorée à une force physique externe grâce à l'empilement d'une céramique sur un film organique isolant, et qui dans le même temps présente d'excellentes caractéristiques de rigidité diélectrique et un excellent pouvoir d'adsorption. Le mandrin électrostatique comprend une couche céramique permettant d'adsorber un matériau à adsorber, empilée sur un film organique isolant. La rugosité de surface Ra de la couche céramique sur sa face d'adsorption ne dépasse pas 7,0 µm.
(JA) 本発明は、絶縁性有機フィルム上にセラミックスを積層することにより物理的外力への耐性を向上させ、且つ、優れた耐電圧特性を有し、吸着力に優れた静電チャック装置提供することを目的の一つとし、被吸着体を吸着するためのセラミックス層が絶縁性有機フィルムに積層された静電チャック装置であって、前記セラミックス層における吸着面の表面粗さRaが7.0μm以下である静電チャック装置を提供する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)