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1. (WO2008053929) 微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法及び基板保持装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/053929    国際出願番号:    PCT/JP2007/071244
国際公開日: 08.05.2008 国際出願日: 31.10.2007
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), B81C 99/00 (2010.01), H01L 21/683 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HAYASHI, Masato [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUJIWARA, Hisashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
AMEMIYA, Kazuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HAYASHI, Masato; (JP).
FUJIWARA, Hisashi; (JP).
AMEMIYA, Kazuki; (JP)
代理人: KIMURA, Mitsuru; 2nd Floor Kyohan Building 7, Kandanishiki-cho 2-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1010054 (JP)
優先権情報:
2006-299485 02.11.2006 JP
発明の名称: (EN) APPARATUS FOR INSPECTING FINE STRUCTURE, METHOD FOR INSPECTING FINE STRUCTURE AND SUBSTRATE HOLDING APPARATUS
(FR) APPAREIL PERMETTANT D'INSPECTER UNE STRUCTURE FINE, PROCÉDÉ PERMETTANT D'INSPECTER UNE STRUCTURE FINE ET APPAREIL DE SUPPORT DE SUBSTRAT
(JA) 微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法及び基板保持装置
要約: front page image
(EN)Provided is an inspecting apparatus, which has a movable section (16a) supported on the both sides and inspects a fine structure. The inspecting apparatus is provided with a chuck top (9) for holding a wafer (8) whereupon the fine structure is formed, so that the main surface of the wafer (8) is in a protruding shape or a recessed shape with a substantially fixed curvature radius. Furthermore, the inspecting apparatus includes a deforming means for changing the curvature radius of the main surface shape of the wafer (8). Especially the deforming means is a temperature control means for deforming by the temperature the shape of the upper surface of the chuck top (9) whereupon the substrate is to be placed. The upper surface of the chuck top (9) may be flat, and a transfer tray, which has a protruding or recessed upper surface whereupon the wafer (8) is to be placed, may be sandwiched between the wafer (8) and the chuck top (9).
(FR)La présente invention concerne un appareil d'inspection, qui est pourvu d'une section mobile (16a) supportée sur les deux côtés et qui inspecte une structure fine. L'appareil d'inspection est équipé d'un haut de mandrin (9) permettant de maintenir une tranche (8) sur laquelle la structure fine est formée, de telle sorte que la surface principale de la tranche (8) se présente sous une forme en saillie ou une forme encastrée avec un rayon de courbure sensiblement fixe. D'autre part, l'appareil d'inspection inclut des moyens de déformation permettant de changer le rayon de courbure de la forme de la surface principale de la tranche (8). En particulier, les moyens de déformation sont des moyens de régulation thermique permettant de déformer grâce à la température la forme de la surface supérieure du haut de mandrin (9) sur lequel le substrat doit être placé. La surface supérieure du haut de mandrin (9) peut être plate, et un plateau de transfert, qui est pourvu d'une surface supérieure en saillie ou encastrée sur laquelle la tranche (8) doit être placée, peut être pris en sandwich entre la tranche (8) et le haut de mandrin (9).
(JA) 両側で支えられた可動部(16a)を有する微小構造体の検査装置であって、前記微小構造体が形成されたウエハ(8)の主要面が、ほぼ一定の曲率半径を有する凸形状又は凹形状になるように、ウエハ(8)を保持するチャックトップ(9)を備える。さらに、ウエハ(8)の主要面の形状の曲率半径を変化させる変形手段を含む。特に、変形手段は、基板を載置するチャックトップ(9)の上面の形状を、温度によって変形させる温度制御手段である。チャックトップ(9)の上面を平面として、ウエハ(8)を載置する上面が凸形状又は凹形状の搬送用トレイを、ウエハ(8)とチャックトップ(9)の間に挟む構成でもよい。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)