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1. (WO2008053881) 減光板、露光装置、露光方法およびデバイスの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/053881    国際出願番号:    PCT/JP2007/071105
国際公開日: 08.05.2008 国際出願日: 30.10.2007
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G02B 5/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IKEDA, Junji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOMATSUDA, Hideki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IKEDA, Junji; (JP).
KOMATSUDA, Hideki; (JP)
代理人: HASEGAWA, Yoshiki; SOEI PATENT AND LAW FIRM Ginza First Bldg. 10-6, Ginza 1-chome Chuo-ku, Tokyo 1040061 (JP)
優先権情報:
2006-298167 01.11.2006 JP
発明の名称: (EN) DIMMER PLATE, EXPOSURE APPARATUS, METHOD OF EXPOSURE AND PROCESS FOR MANUFACTURING DEVICE
(FR) PLAQUE DE GRADATEUR, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF
(JA) 減光板、露光装置、露光方法およびデバイスの製造方法
要約: front page image
(EN)Dimmer plate (101a) being a dimmer plate for regulating the intensity of light from a light source, which dimmer plate has multiple high transmission factor regions of relatively high transmission factor, the high transmission factor regions each having a configuration defined so that the distribution of intensity of diffused light or focused light having passed through the dimmer plate is uniform.
(FR)L'invention concerne une plaque de gradateur (101a) qui est une plaque de gradateur pour réguler l'intensité de la lumière provenant d'une source de lumière, laquelle plaque de gradateur a de multiples régions à facteur de transmission élevé d'un facteur de transmission relativement élevé, les régions à facteur de transmission élevé ayant chacune une configuration définie de telle sorte que la distribution de l'intensité de la lumière diffusée ou de la lumière concentrée passée à travers la plaque de gradateur est uniforme.
(JA)本発明による減光板(101a)は、光源からの光の量を調整する減光板であって、相対的に透過率の高い複数の高透過率領域を有し、前記高透過率領域の形状は、減光板を通過した拡散光または集光光の強度分布が一様となるように定められている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)