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1. (WO2008053879) ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/053879    国際出願番号:    PCT/JP2007/071102
国際公開日: 08.05.2008 国際出願日: 30.10.2007
IPC:
H01L 21/302 (2006.01)
出願人: Japan Aviation Electronics Industry Limited [JP/JP]; 21-2, Dogenzaka 1-chome, Shibuya-ku, Tokyo 1500043 (JP) (米国を除く全ての指定国).
Kyoto University [JP/JP]; 36-1, Yoshida-honmachi, Sakyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6068501 (JP) (JP only).
SATO, Akinobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUZUKI, Akiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
BOURELLE, Emmanuel [FR/FR]; (FR) (米国のみ).
MATSUO, Jiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SEKI, Toshio [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SATO, Akinobu; (JP).
SUZUKI, Akiko; (JP).
BOURELLE, Emmanuel; (FR).
MATSUO, Jiro; (JP).
SEKI, Toshio; (JP)
代理人: NAKAO, Naoki; 4th Floor, Shinjuku NSO Building 1-22, Shinjuku 3-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2006-293686 30.10.2006 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR FLATTENING SOLID SURFACE WITH GAS CLUSTER ION BEAM, AND SOLID SURFACE FLATTENING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ D'APLANISSEMENT D'UNE SURFACE SOLIDE AVEC UN FAISCEAU IONIQUE D'AGRÉGATS GAZEUX, ET DISPOSITIF D'APLANISSEMENT DE SURFACE SOLIDE
(JA) ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置
要約: front page image
(EN)A scratch existing on a solid surface and a similar surface roughness are reduced by the irradiation with a gas cluster ion beam. A method for flattening the solid surface with the gas cluster ion beam includes an irradiation process for irradiating the solid surface with the gas cluster ion beam. This irradiation process includes a step of causing clusters in plural directions to impinge upon at least such regions (or spots) of the solid surface as are irradiated with the gas cluster ion beam. The cluster collisions against the spots in the plural directions can be performed by the irradiations with the gas cluster ion beam, in which the scanning directions of the clusters are scattered with respect to the beam center.
(FR)Selon l'invention, une rayure sur une surface solide et les rugosités de surface similaires sont réduites par irradiation avec un faisceau ionique d'agrégats gazeux. L'invention concerne en particulier un procédé d'aplanissement d'une surface solide avec un faisceau ionique d'agrégats gazeux qui comprend une procédure permettant d'irradier la surface solide avec ce faisceau. Cette procédure d'irradiation comprend une étape consistant à amener des agrégats se déplaçant dans plusieurs directions à frapper au moins les régions (ou points) de la surface solide qui sont irradiées avec le faisceau ionique d'agrégats gazeux. Les collisions entre les agrégats et les points dans les différentes directions peuvent être assurées par le faisceau ionique d'agrégats gazeux, dans lequel les directions de déplacement des agrégats sont dispersées par rapport au centre du faisceau.
(JA) 固体表面上に存在するスクラッチやそれに類する表面粗さをガスクラスターイオンビームの照射によって低減する。固体表面に対してガスクラスターイオンビームを照射する照射過程を含むガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法であるとし、この照射過程は、固体表面のうち少なくともガスクラスターイオンビームが照射されている領域(スポット)に、複数方向からクラスターを衝突させる過程を含むとする。スポットに対する複数方向からのクラスター衝突は、例えば、ビーム中心に対してクラスターの飛散方向が発散する上記ガスクラスターイオンビームの照射によって行うことができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)