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1. (WO2008050648) 検査用保持部材,検査装置及び検査方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/050648    国際出願番号:    PCT/JP2007/070246
国際公開日: 02.05.2008 国際出願日: 17.10.2007
予備審査請求日:    18.07.2008    
IPC:
G01R 31/26 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOMATSU, Shigekazu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MIYAZONO, Mitsuyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ASAOKA, Kazuya [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOMATSU, Shigekazu; (JP).
MIYAZONO, Mitsuyoshi; (JP).
ASAOKA, Kazuya; (JP)
代理人: KANEMOTO, Tetsuo; Hazuki International Shinjuku Akebonobashi Building 1-12, Sumiyoshi-cho Shinjuku-ku, Tokyo 1620065 (JP)
優先権情報:
2006-283015 17.10.2006 JP
発明の名称: (EN) HOLDING MEMBER FOR INSPECTION, INSPECTING DEVICE, AND INSPECTING METHOD
(FR) ÉLÉMENT DE SUPPORT POUR UNE INSPECTION, DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査用保持部材,検査装置及び検査方法
要約: front page image
(EN)A required inspection is stably carried out by forming an electrical path having a light load when inspecting an electrical characteristic of a power device having terminals on both upper and lower sides. A probe device is provided with an inspection holding member placeable on a chuck. The holding member comprises a base on which a chip where a power device is fabricated can be placed, pins for positioning the placed chip, a place area where the chip is placed on the base, and a metal film formed on the exposed area of the base except the area where the chip is placed. When a power device is inspected, the chip is fixed to the place area of the holding member. One probe pin is brought into contact with the upper-side terminal of the chip, and another probe pin is brought into contact with the exposed area of the metal film.
(FR)On effectue de façon stable une inspection requise en formant un trajet électrique ayant une charge légère lors de l'inspection d'une caractéristique électrique d'un dispositif d'alimentation ayant des bornes sur les deux côtés supérieur et inférieur. Un dispositif de sonde est doté d'un élément de support d'inspection pouvant être placé sur un mandrin. L'élément de support comprend une base sur laquelle une puce dans laquelle un dispositif d'alimentation est fabriqué peut être placée, des broches pour positionner la puce placée, une zone de mise en place où la puce est placée sur la base, et un film métallique formé sur la zone exposée de la base à l'exception de la zone où la puce est placée. Lorsqu'un dispositif d'alimentation est inspecté, la puce est fixée à la zone de mise en place de l'élément de support. Une broche de sonde est amenée en contact avec la borne côté supérieur de la puce, et une autre broche de sonde est amenée en contact avec la zone exposée du film métallique.
(JA) 本発明は,上下面に端子を有するパワーデバイスの電気的特性の検査において,負荷の小さい電路を形成して,要求される検査を安定的に行う。 プローブ装置に,チャックに載置可能な検査用保持部材を設ける。検査用保持部材は,パワーデバイスが形成されたチップを載置可能な基台と,基台に載置されたチップを位置決めするピンと,基台の表面において,チップが載置される載置領域と,チップが載置されない露出領域に亘って形成される金属膜を備えている。パワーデバイスの検査の際には,チップを検査用保持部材の載置領域に固定し,一のプローブピンをチップの上面端子に接触し,他のプローブピンを露出領域の金属膜に接触させる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)