WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2008035529) 切断方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/035529    国際出願番号:    PCT/JP2007/066227
国際公開日: 27.03.2008 国際出願日: 22.08.2007
IPC:
H01L 21/304 (2006.01), B24B 27/06 (2006.01), B28D 5/04 (2006.01)
出願人: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OISHI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAMATA, Daisuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OISHI, Hiroshi; (JP).
NAKAMATA, Daisuke; (JP)
代理人: YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F 6-11, Ueno 7-chome Taito-ku, Tokyo 110-0005 (JP)
優先権情報:
2006-257380 22.09.2006 JP
発明の名称: (EN) CUTTING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE DÉCOUPE
(JA) 切断方法
要約: front page image
(EN)In a cutting method, a wire is wound and hooked on a roller having a plurality of grooves, the wire is permitted to run to press an ingot while the roller is being supplied with a cutting slurry, and the ingot is cut into wafers. In the cutting method, the feed temperature of the cutting slurry is controlled, and cutting is performed by having at least the feeding temperature of the cutting slurry and the temperature of the ingot at 30°C or higher when cutting of the ingot is completed. Thus, when a wire saw is used for cutting the ingot, rapid cooling of the ingot around the completion of ingot cutting is suppressed, and as a result, generation of nano-topography can be suppressed.
(FR)L'invention concerne un procédé de découpe dans lequel : un fil est enroulé et accroché sur un cylindre pourvu d'une pluralité de rainures; le fil est amené à passer sur un lingot et à être pressé sur celui-ci pendant que le cylindre est alimenté en bouillie de découpe; et le lingot est découpé en plaquettes. Dans ledit procédé, la température d'alimentation de la bouillie de découpe est régulée, et la découpe est effectuée à une température d'alimentation de bouillie de découpe et/ou à une température de lingot de 30 °C ou plus lorsque la découpe du lingot est terminée. Ainsi, lorsqu'une scie à fil est utilisée pour la découpe du lingot, un refroidissement rapide du lingot peu après la découpe est évité, et par conséquent, la production de nanotopographie peut être éliminée.
(JA) 本発明は、ワイヤを複数の溝付きローラに巻掛けし、該溝付きローラに切断用スラリを供給しつつ、前記ワイヤを走行させながらインゴットに押し当ててウエーハ状に切断する方法であって、前記切断用スラリの供給温度を制御し、少なくとも、前記インゴットの切断終了時に前記切断用スラリの供給温度およびインゴットの温度を30°C以上となるようにして切断する切断方法を提供する。これにより、ワイヤソーを用いてインゴットを切断する際、インゴットの切断終了時付近におけるインゴットの急激な冷却を軽減し、その結果ナノトポグラフィの発生を抑制することができる切断方法が提供される。  
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)