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1. (WO2008032455) 基板搬送装置及び基板搬送方法

Pub. No.:    WO/2008/032455    International Application No.:    PCT/JP2007/052669
Publication Date: 2008/03/20 International Filing Date: 2007/02/15
IPC: H01L 21/677
B65G 47/53
B65G 49/06
B65G 49/07
Applicants: IHI Corporation
株式会社IHI
HIRATA, Kensuke
平田 賢輔
MIZUNO, Tomoo
水野 智夫
MURAYAMA, Susumu
村山 晋
Inventors: HIRATA, Kensuke
平田 賢輔
MIZUNO, Tomoo
水野 智夫
MURAYAMA, Susumu
村山 晋
Title: 基板搬送装置及び基板搬送方法
Abstract:
 基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、前記メインコンベヤから水平に分岐する分岐コンベヤと、前記基板の進行方向に対する向きが維持されるように前記基板を水平に回動させながら、前記メインコンベヤから前記分岐コンベヤに、あるいは、前記分岐コンベヤから前記メインコンベヤに前記基板を受け渡す基板受渡部と、を備える基板搬送装置である。