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1. (WO2008032416) 走査型電子顕微鏡点収差計測アライメントチップ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/032416    国際出願番号:    PCT/JP2006/318796
国際公開日: 20.03.2008 国際出願日: 15.09.2006
IPC:
G01N 1/00 (2006.01)
出願人: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi-Shimbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 105-8717 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OHASHI, Kenya [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MINATA, Shinsuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHOJI, Yasunori [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAJIMA, Katsunori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OHASHI, Kenya; (JP).
MINATA, Shinsuke; (JP).
SHOJI, Yasunori; (JP).
NAKAJIMA, Katsunori; (JP)
代理人: INOUE, Manabu; c/o Hitachi, Ltd., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) ALIGNMENT CHIP FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE POINT ABERRATION MEASUREMENT
(FR) PUCE D'ALIGNEMENT POUR UNE MESURE D'ABERRATION PONCTUELLE DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
(JA) 走査型電子顕微鏡点収差計測アライメントチップ
要約: front page image
(EN)Provided is an alignment chip for point aberration correction measurement for a scanning electron microscope. The alignment chip can be simply manufactured at a low cost and is provided with a novel alignment pattern suitable for point aberration correction measurement. The alignment chip has an uneven pattern on the surface, and the uneven pattern has a protruding section or a recessed section configuring a circular or polygonal closed loop.
(FR)L'invention propose une puce d'alignement pour une mesure de correction d'aberration ponctuelle pour microscope électronique à balayage. La puce d'alignement peut être fabriquée simplement et à un faible coût, et dotée d'un nouveau motif d'alignement approprié pour une mesure de correction d'aberration ponctuelle. La surface de puce d'alignement est munie d'un motif irrégulier, qui présente une section en relief ou une section en creux configurant une boucle fermée circulaire ou polygonale.
(JA)本発明は、走査型電子顕微鏡の点収差補正計測用のアライメントチップにおいて、低コストで簡便に作製が可能であり、点収差補正計測に適した新規なアライメントパターンを有するアライメントチップを提供することを目的とする。表面に凹凸パターンを有する走査型電子顕微鏡の点収差計測用のアライメントチップにおいて、前記凹凸パターンが円形あるいは多角形の閉ループを構成する凸部又は凹部を有するアライメントチップを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)