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1. (WO2008026488) 研磨パッド
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2008/026488    国際出願番号:    PCT/JP2007/066288
国際公開日: 06.03.2008 国際出願日: 22.08.2007
IPC:
B24B 37/20 (2012.01), C08G 18/32 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01), C08G 101/00 (2006.01)
出願人: TOYO TIRE & RUBBER CO., LTD. [JP/JP]; 17-18, Edobori 1-chome, Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5508661 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KAZUNO, Atsushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIMOMURA, Tetsuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAKAI, Yoshiyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OGAWA, Kazuyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KIMURA, Tsuyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KAZUNO, Atsushi; (JP).
SHIMOMURA, Tetsuo; (JP).
NAKAI, Yoshiyuki; (JP).
OGAWA, Kazuyuki; (JP).
KIMURA, Tsuyoshi; (JP)
代理人: OZAKI, Yuzo; SHIN-OSAKA MT Bldg. 1, 13-9, Nishinakajima 5-chome, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011 (JP)
優先権情報:
2006-235978 31.08.2006 JP
発明の名称: (EN) POLISHING PAD
(FR) TAMPON À POLIR
(JA) 研磨パッド
要約: front page image
(EN)The invention aims at providing a polishing pad excellent in planarization characteristics and wear resistance and a process for production of the pad. The invention relates to a polishing pad having a polishing layer made of a micro-cellular polyurethane foam which is characterized in that the polyurethane foam is a cured body formed by reacting (1) an isocyanate -terminated prepolymer (A) capable of reacting with 4,4' -methylenebis(o-chloroaniline) to form a non-cellular polyurethane having a peak temperature of tan δ of 100°C or above and (2) an isocyanate-terminated prepolymer (B) capable of reacting with 4,4'-methylenebis(o-chloroaniline) to form a non-cellular polyurethane having a peak temperature of tan δ of 40°C or below with (3) 4,4'-methylenebis(o-chloroaniline) at a prepolymer (A)/prepolymer (B) ratio (A/B ratio) of 50/50 to 90/10 (% by weight).
(FR)L'invention concerne un tampon à polir présentant d'excellentes caractéristiques de planarisation ainsi qu'une excellente résistance à l'usure, et un procédé de production du tampon. Le tampon à polir selon l'invention comprend une couche de polissage constituée d'une mousse de polyuréthane microcellulaire, caractérisé en ce que la mousse de polyuréthane est un corps cuit formé en faisant réagir (1) un prépolymère terminé par un isocyanate (A) capable de réagir avec 4,4'-methylenebis(o-chloroaniline) pour former un polyuréthane non cellulaire ayant une température de crête de tan δ de 100 °C ou plus et (2) un prépolymère terminé par un isocyanate (B) capable de réagir avec 4,4'-methylenebis(o-chloroaniline) pour former un polyuréthane non cellulaire ayant une température de crête de tan δ de 40 °C ou moins avec (3) 4,4'-methylenebis(o-chloroaniline) suivant un rapport prépolymère (A)/prépolymère (B) (rapport A/B) de 50/50 à 90/10 (% en poids).
(JA) 平坦化特性及び耐摩耗性に優れる研磨パッド及びその製造方法を提供することを目的とする。本発明は、微細気泡を有するポリウレタン発泡体からなる研磨層を含む研磨パッドにおいて、前記ポリウレタン発泡体は、 (1)4,4’-メチレンビス(o-クロロアニリン)との反応によりtanδのピーク温度が100°C以上である無発泡ポリウレタンを形成するイソシアネート末端プレポリマーA、 (2)4,4’-メチレンビス(o-クロロアニリン)との反応によりtanδのピーク温度が40°C以下である無発泡ポリウレタンを形成するイソシアネート末端プレポリマーB、及び (3)4,4’-メチレンビス(o-クロロアニリン) との反応硬化体であり、かつイソシアネート末端プレポリマーAとイソシアネート末端プレポリマーBの配合比が、A/B=50/50~90/10(重量%)であることを特徴とする研磨パッド、に関する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)