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1. WO2007135883 - 真空ポンプ

公開番号 WO/2007/135883
公開日 29.11.2007
国際出願番号 PCT/JP2007/059846
国際出願日 14.05.2007
予備審査請求日 21.01.2008
IPC
F04D 19/04 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D非容積形ポンプ
19特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02多段ポンプ
04高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
CPC
F04D 19/042
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
042Turbomolecular vacuum pumps
F04D 29/542
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
40Casings; Connections of working fluid
52for axial pumps
54Fluid-guiding means, e.g. diffusers
541Specially adapted for elastic fluid pumps
542Bladed diffusers
F04D 29/644
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
60Mounting; Assembling; Disassembling
64of axial pumps
644especially adapted for elastic fluid pumps
Y10T 29/49323
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
29Metal working
49Method of mechanical manufacture
49316Impeller making
4932Turbomachine making
49323Assembling fluid flow directing devices, e.g., stators, diaphragms, nozzles
出願人
  • エドワーズ株式会社 Edwards Japan Limited [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 時 永偉 SHI, Yongwei [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 高橋 勇次 TAKAHASHI, Yuji [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 時 永偉 SHI, Yongwei
  • 高橋 勇次 TAKAHASHI, Yuji
代理人
  • 和田 成則 WADA, Shigenori
優先権情報
2006-14018619.05.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VACUUM PUMP
(FR) POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ
要約
(EN)
[PROBLEMS] To provide a vacuum pump where stationary blades and rotating blades do not interfere with each other even if the stationary blades are cut and formed into a semi-circular shape by inexpensive cutting or grinding method without relying upon wire electric discharge machining that provides a small cutting width. [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] The distance h from a reference end face (12ta, (12tb)) of a stationary blade outer ring part (12a) to a plane including a corresponding rotor end face (4aa, (4ab)) is set larger than the range of deformation of the rotating blades (4a) during operation of the pump. It may happen in an assembly process that the semi-circular cutting width w of the stationary blades (12) is large to cause the stationary blades (12) to be radially displaced from a ring-like spacer (13) and the outer ring part (12a) to be projected into a space between each rotating blade (4a) and the stationary blade (12). However, even in such a case, the outer ring part (12a) of the rotating blade (12) does not collide with the rotating blades (4a) during operation. Since the outer ring part (12a) and the rotating blades (4a) do not interfere with each other even if the semi-circular cutting width w of the stationary blade (12) is large, the stationary blade (12) can be economically cut into the semi-circular shape by cutting using a cutter etc. and grinding, without using expensive wire electric discharge machining. Also, the pump can be assembled easily.
(FR)
Le problème à résoudre dans le cadre de la présente invention est de proposer une pompe à vide où des aubes stationnaires et aubes rotatives ne se gênent pas même si les aubes stationnaires sont coupées et formées pour présenter une forme semi-circulaire par l'intermédiaire d'un procédé de coupe ou meulage peu coûteux sans faire appel à un usinage par électro-érosion qui fournit une faible largeur de coupe. La solution proposée réside dans la distance (h) à partir d'une face d'extrémité de référence (12ta, (12tb)) d'une partie annulaire extérieure d'aube stationnaire (12a) jusqu'à un plan qui comprend une face d'extrémité de rotor correspondante (4aa, (4ab)) qui est établie pour être supérieure à la plage de déformation des aubes rotatives (4a) au cours du fonctionnement de la pompe. Il peut arriver dans un procédé d'assemblage que la largeur de coupe semi-circulaire (w) des aubes stationnaires (12) soit importante pour forcer les aubes stationnaires (12) à être déplacées de façon radiale par rapport à une entretoise en forme d'anneau (13) et la partie annulaire extérieure (12a) à faire saillie dans un espace entre chaque aube rotative (4a) et l'aube stationnaire (12). Cependant, même dans un tel cas, la partie annulaire extérieure (12a) de l'aube rotative (12) n'entre pas en collision avec les aubes rotatives (4a) au cours du fonctionnement. Du fait que la partie annulaire extérieure (12a) et les aubes rotatives (4a) ne se gênent pas même si la largeur de coupe semi-circulaire (w) de l'aube stationnaire (12) est importante, l'aube stationnaire (12) peut être coupée économiquement pour obtenir la forme semi-circulaire en coupant à l'aide d'un élément de coupe etc. et en meulant, sans utiliser d'usinage par électro-érosion coûteux. De même, la pompe peut être facilement assemblée.
(JA)
【課題】固定翼を半円環状固定翼に切断するのに、切断幅が小さいワイヤ放電加工等によらず、よりコストの安い切削や研削によって切断しても、固定翼と回転翼との干渉が起こらない真空ポンプを提供する。 【解決手段】固定翼外輪部12aの基準端面12ta(12tb)から、対応する回転翼端面4aa(4ab)を含む平面までの距離hを、ポンプ運転時の回転翼4aの変形範囲よりも大きく設定する。これにより、組立工程で、固定翼12の半円環切断幅wが大きくて、固定翼12がリング状スペーサ13に対して径方向にずれ、外輪部12aが回転翼4aと固定翼12の間の空間にはみ出した場合にも、運転中に固定翼12の外輪部12aが回転翼4aにぶつかるおそれがない。固定翼12の半円環切断幅wが大きくても外輪部12aと回転翼4aとの干渉が起こらないのであるから、固定翼12の半円環切断に高価なワイヤ放電加工を用いずに、カッター等、切削加工や研削加工を用いて経済的に加工でき、しかも、ポンプ組立ても容易になる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報