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1. WO2007129567 - サーバ装置、およびプログラム

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サーバ装置、およびプログラム

技術分野

[0001] 本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、 当該複数の製造装置と接続されるサーバ装置を具備する群管理システム、サーバ装 置等に関するものである。

背景技術

[0002] 従来の群管理システムにおいて、測定器力も送られてくるデータを自動的に、かつ 正確に加工できる半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法 を実現する(例えば、特許文献 1参照)。本測定データ加工方法において、群管理シ ステムの群管理部の測定器通信部に、測定器が送信してくる種々の測定データを受 信する。本測定データ加工方法は、前記測定データを加工する計算式を予め登録し ておき、前記測定データを受信したとき、前記測定データを測定データ受信バッファ に格納するとともに、前記測定データが有するレシピ名称に基づいて、前記登録され た計算式の中から前記測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシ ピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された前記測定 データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格 納バッファに記憶するものである。

[0003] また、従来の半導体製造装置の群管理システムでは、半導体製造装置で測定され た時系列の情報 (以下チャートと記載)を表示する機能を有して!/、た。

[0004] さらに、群管理システムを構成する製造装置として、いわゆるバッチ式縦型熱処理 装置がある (特許文献 2、特許文献 3参照)。

特許文献 1 :特開平 11 354395号公報 (第 1頁、第 1図等)

特許文献 2 :特許 3543996号公報 (第 1頁、第 1図等)

特許文献 3:特開 2002— 25997号公報 (第 1頁、第 1図等)

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力しながら、従来の半導体製造装置の群管理システムにおいては、製品ゥエーハ 枚数をキーとして測定された情報をフィルタリングして、異常検知を行うことができな かった。そのために、精度の高い異常の検知ができない、という課題があった。具体 的には、例えば、ダミーのゥエーハ枚数を含めた総ゥエーハ枚数をキーとして測定さ れた情報をフィルタリングして、異常検知を行った場合、測定情報のばらつきが大きく 、正常な状態を異常であると判断されないために、異常の判断の閾値を甘く(広く)設 定しなければならず、その結果精度の高い異常の検知ができな力つた。さらに具体 的には、製品ゥエーハには配線 (パターン)が形成されて!、るために表面上に凹凸を 有し、ダミーのゥエーハには配線 (パターン)が形成されていないのが通常である。し たがって、例えば、製品ゥエーハ枚数によってガスを流した場合の抵抗値が異なり、 そのために、異常の発生頻度や異常の種類などが異なってくる場合がある。従来の 半導体製造装置の群管理システムにおいては、製品ゥヱーハ枚数の違いによる異常 の検知が行えなかった。

課題を解決するための手段

[0006] 本発明のサーバ装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装 置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知を行う 機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記複数の製造装置 で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品 のゥエーハ枚数である製品ゥヱーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である 測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、製品ゥーハ枚数に関する条件で ある製品ゥーハ枚数条件を含む出力情報の出力指示を受け付ける指示受付部と、 測定情報が異常か否かを判断するための条件を示す条件情報を格納している条件 情報格納部と、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含 む製品ゥーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読 み出し、当該読み出した複数の測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判 断する異常検知部と、前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出 力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具 備するサーバ装である。

発明を実施するための最良の形態

[0007] 以下、サーバ装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の 形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省 略する場合がある。

(実施の形態)

[0008] 図 1は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは 、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステム である。また、群管理システムは、 1以上の製造装置 11 (製造装置 11 (1)から製造装 置 11 (n) )、サーバ装置 12、およびクライアント装置 13を有する。

[0009] 製造装置 11は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。製造装置 11は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各 種処理を行う。製造装置 11は、例えば、上述の特許文献 2、または特許文献 3等に おけるバッチ式縦型熱処理装置である。本製造装置 11の例を図 2に示す。本製造装 置 11は、ローデイング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気と して N 2ガスが供給 ·真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた 装置である。製造装置 11は、被処理体であるゥエーハ Wに所定の処理を施す処理 室であるプロセスチューブ aと、このプロセスチューブ aに対して多数枚例えば 100枚 のゥエーハ Wを収納した保持体としてのウェハボート fを挿脱する移送機構 gを備えた ローデイング室としてのロードロック室 hと、このロードロック室 hに対してゥエーハ Wを 搬出入する搬出入室 abと、この搬出入室 abに形成されたカセット収容容器用ポート a cと、このポート acに載置されたカセット収容容器 adを搬出入室 ab内に取り込む取り 込み手段 aeと、取り込んだカセット収容容器 adを一時的に保管する容器保管ステー ジ afと、カセット収容容器 ad内に収容されたカセット Cを取り出すカセット取り出しステ ージ agと、搬出入室 ab内にてカセット収容容器 adの受け渡しを行う容器移載手段 ah と、ロードロック室 hと搬出入室 abとの間に配置されるウェハボート fを収容する保持体 収容室 aiとで主要部が構成されている。なお、図 2の製造装置 11の例における、そ の他の部位、および動作については、公知技術 (特許文献 2参照)であるので詳細な 説明は省略する。また、製造装置 11を構成するチャンバ一として、特許文献 3の図 1 におけるチャンバ一が好適である。

[0010] また、製造装置 11は、例えば、ゥーハに対する所定のプロセスに関する情報であ るレシピ (通常、プロセス条件値の集合)を格納しており、当該レシピを用いて制御さ れる。

[0011] また、サーバ装置 12は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、複 数の製造装置 11における各種の測定情報を格納しており、当該測定情報に対して、 異常検知を行う機能を有する。

[0012] また、クライアント装置 13は、サーバ装置 12に対して各種の要求を出し、サーバ装 置 12における処理結果を受け付ける。

[0013] 図 3は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。群管理システム は、 1以上の製造装置 11、サーバ装置 12、クライアント装置 13を具備する。

[0014] 製造装置 11は、入力受付部 1101、レシピ格納部 1102、製造装置識別子格納部

1103、製品ゥヱーハ枚数格納部 1104、処理部 1105、測定部 1106、元情報蓄積 部 1107、元情報送信部 1108を具備する。

[0015] サーバ装置 12は、測定情報格納部 1201、元情報受信部 1202、測定情報取得部

1203、測定情報蓄積部 1204、指示受付部 1205、出力情報構成部 1206、出力部

1207、出力指示蓄積部 1208、条件情報格納部 1209、異常検知部 1210を具備す る。

[0016] クライアント装置 13は、指示入力部 1301、指示送付部 1302、受付部 1303、表示 部 1304を具備する。

[0017] 入力受付部 1101は、製造装置 11のユーザ力も各種の入力を受け付ける。各種の 入力とは、例えば、レシピゃ、レシピを識別するレシピ識別子や、製品ゥエーハ枚数 や、ゥエーハの製造の指示 (処理の実行指示)などである。製品ゥエーハ枚数とは、ダ ミーのゥヱーハの枚数を含まないゥヱーハの枚数であり、製品として製造するゥエー ハの枚数である。なお、製造装置 11に収納できるゥエーハの枚数は、例えば、 50枚 や 30枚等であり、そのうち、ダミーのゥエーハが 10枚や 5枚等である。また、収納でき るゥエーハのうち、ダミーのゥエーハの数、製造するゥエーハの数は問わない。ユーザ 力 各種の入力の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面による もの等、何でも良い。入力受付部 1101は、テンキーやキーボード等の入力手段のデ バイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。

[0018] レシピ格納部 1102は、製造装置 11を制御するために使用されるレシピを格納して いる。レシピとは、ゥエーハに対する所定のプロセスに関する情報であり、通常、プロ セスパラメータの情報の集合を含む。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリ 一名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリ一名とは、プロセスパラメータの 種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」 などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、「上 下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、 例えば、「C」「A」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である。 通常、レシピは、レシピを識別するレシピ識別子 (例えば、レシピ名)と対に格納され ている。レシピ格納部 1102は、不揮発性の記録媒体が好適である力揮発性の記 録媒体でも実現可能である。

[0019] 製造装置識別子格納部 1103は、製造装置 11を識別する製造装置識別子を格納 している。この製造装置識別子は、入力受付部 1101が受け付けた情報でも良いし、 製造装置出荷時に予め格納した情報でも良い。製造装置識別子格納部 1103は、 ハードディスクや ROM等の不揮発性の記録媒体でも、 RAM等の揮発性の記録媒 体でも良い。

[0020] 製品ゥエーハ枚数格納部 1104は、製品ゥエーハ枚数を示す情報を格納して、る。

ここで、製品ゥヱーハ枚数を示す情報とは、通常、数値 (例えば、 40)であるが、数値 に対応する記号などでも良い。つまり、製品ゥヱーハ枚数を示す情報と製品ゥヱーハ 枚数とは、同意義である。製品ゥエーハ枚数格納部 1104の製品ゥエーハ枚数は、例 えば、入力受付部 1101が受け付けた数値である。また、製品ゥエーハ枚数格納部 1 104の製品ゥエーハ枚数は、例えば、図示しない手段により、自動的に取得した情報 でも良い。製品ゥエーハ枚数を取得する図示しない手段とは、例えば、製品ゥエーハ とダミーゥエーハの表面の色の違、を画像処理により検知し、製品ゥエーハの枚数を 算出する手段である。通常、製品ゥーハとダミーゥーハの表面の色は異なる。ま た、製品ゥエーハ枚数を取得する図示しない手段とは、例えば、製品ゥエーハに記載

された IDを画像処理により読み取り、製品ゥーハの枚数を算出する手段である。そ の他、自動的に製品ゥエーハ枚数を取得する手段は問わない。製品ゥエーハ枚数格 納部 1104は、ハードディスクや ROM等の不揮発性の記録媒体でも、 RAM等の揮 発性の記録媒体でも良い。

[0021] 処理部 1105は、レシピ格納部 1102のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって 、ゥエーハに対する所定のプロセスを行う。処理部 1105は、通常、 MPUやメモリ等 から実現され得る。処理部 1105の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該 ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア(専用回路) で実現しても良い。

[0022] 測定部 1106は、製造装置 11内の温度や、ガス流量や、圧力などを測定し、チヤ一 ト化される測定情報の元になる情報である元情報を取得する。元情報は、測定した温 度などの情報である。元情報は、通常、測定した時刻を示す時刻情報を有する。元 情報は、測定部 1106が温度等の値を測定して、た際に処理して、たレシピを識別 するレシピ識別子と、測定した値と、測定した時刻を示す時刻情報を有することはさら に好適である。測定部 1106は、複数の箇所の複数の温度や、温度とガス流量など の複数の値を測定しても良いことは言うまでもない。つまり、元情報は、二種類以上の 測定された値を有しても良い。測定部 1106は、 1以上の温度センサや 1以上の流量 センサなどのセンサ等で実現され得る。

[0023] 元情報蓄積部 1107は、測定部 1106が取得した元情報を、図示しな、記録媒体 に蓄積する。元情報蓄積部 1107は、通常、 MPUやメモリ等から実現され得る。元情 報蓄積部 1107の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは RO M等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウア(専用回路)で実現しても良い 。また、上記の図示しない記録媒体は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発 性の記録媒体でも実現可能である。

[0024] 元情報送信部 1108は、元情報蓄積部 1107が蓄積した元情報を、サーバ装置 12 に送信する。元情報の送信のトリガーは問わない。また、元情報送信部 1108が送信 する元情報は、測定された一種以上 (例えば、温度とガス流量)の値、時刻情報、製 品ゥヱーハ枚数を有する。また、元情報送信部 1108が送信する元情報は、さらにカロ えて、製造装置 11を識別する製造装置識別子や、レシピを識別するレシピ識別子を 有することが好適である。また、元情報送信部 1108が送信する元情報は、ダミーの ゥエーハ枚数を含む総ゥエーハ枚数などを有しても良い。つまり、元情報蓄積部 110 7が蓄積した元情報と、元情報送信部 1108が送信する元情報は、その構造や構成 が異なっていても良い。また、元情報は、複数の測定された値に対して、一つの製品 ゥエーハ枚数または Zおよび一つの製造装置識別子または Zおよび一つのレシピ 識別子を有する構成でも良い。元情報送信部 1108は、無線または有線の通信手段 等で実現され得る。なお、元情報送信部 1108は、元情報をサーバ装置 12に送信す る前に、製品ゥエーハ枚数格納部 1104からゥエーハ枚数を読み出し、元情報に付 加しても良い。また、元情報送信部 1108は、元情報をサーバ装置 12に送信する前 に、レシピ格納部 1102や製造装置識別子格納部 1103から、それぞれレシピ識別子 や製造装置識別子を読み出し、元情報に付加しても良い。また、元情報送信部 110 8は、測定された値 (例えば、ガス流量)を、 1秒ごとにサンプリングしたまとめたデータ (例えば、 10個をまとめたデータ)を一度に送信しても良い。元情報送信部 1108が 送信するデータの単位やデータ構造等は問わない。また、送信する元情報を構成す る処理は、元情報送信部 1108ではなぐ元情報蓄積部 1107が行っても良い。測定 された一種以上 (例えば、温度とガス流量)の値と時刻情報の組の情報、および製品 ゥエーハ枚数や製造装置識別子やレシピ識別子の送信するタイミングなども問わな い。

測定情報格納部 1201は、複数の測定情報を格納し得る。複数の測定情報は、複 数の製造装置 11で測定された一種以上の情報 (例えば、温度や圧力)についての 時系列の情報であり、製造装置 11で製造する製品のゥーハ枚数である製品ゥー ハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である。また、複数の測定情報は、複数 の製造装置 11で測定された一種以上の情報についての時系列の情報であり、製品 ゥ ーハ枚数と製造装置 11を識別する装置識別子と時刻情報を有する情報であつ ても良い。さらに、複数の測定情報は、複数の製造装置 11で測定された一種以上の 情報についての時系列の情報であり、製品ゥヱーハ枚数とレシピ識別子と時刻情報 を有する情報であっても良い。測定情報は、元情報受信部 1202が受信した複数の

元情報に対して、測定情報取得部 1203が所定の演算を行い、取得された情報でも 良いし、元情報と同じ情報でも良い。測定情報格納部 1201は、不揮発性の記録媒 体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。なお、測定情報格納部 1201の測定情報は、測定情報蓄積部 1204が蓄積した情報でも良いし、製造装置 1 1から直接に受信した情報でも良いし、図示しない記録媒体力読み出した情報でも 良い。

[0026] 元情報受信部 1202は、複数の測定情報の元になる情報である元情報を複数の製 造装置 11から受信する。元情報受信部 1202は、無線または有線の通信手段等で 実現され得る。

[0027] 測定情報取得部 1203は、元情報受信部 1202が受信した複数の元情報に対して 所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。所定の演算とは、例えば、所定の 時間間隔ごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を 取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演 算である。また、所定の演算とは、例えば、レシピ内の所定のステップごとに、複数の 元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取 得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算でも良い。測定情報 取得部 1203は、通常、 MPUやメモリ等力も実現され得る。測定情報取得部 1203の 処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体 に記録されている。但し、ハードウェア(専用回路)で実現しても良い。

[0028] 測定情報蓄積部 1204は、測定情報取得部 1203が取得した複数の測定情報を測 定情報格納部 1201に蓄積する。なお、測定情報取得部 1203が取得した複数の測 定情報を、測定情報格納部 1201に配置する場合は、測定情報蓄積部 1204が行う 蓄積処理は NOP (No Operation)と同意義となる。測定情報蓄積部 1204は、通 常、 MPUやメモリ等から実現され得る。測定情報蓄積部 1204の処理手順は、通常 、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウエアは ROM等の記録媒体に記録されている。 但し、ハードウェア(専用回路)で実現しても良い。

[0029] 指示受付部 1205は、指示を受け付ける。この指示は、通常、クライアント装置 13か ら受信する力サーバ装置 12に接続されているキーボードやマウス等力も受け付け ても良い。指示受付部 1205が受け付ける指示は、例えば、製品ゥエーハ枚数を含む チャートの出力指示や、製品ゥエーハ枚数と一以上の装置識別子を含むチャートの 出力指示や、製品ゥエーハ枚数と一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示 や、製品ゥエーハ枚数と一以上の装置識別子と一以上のレシピ識別子を含むチヤ一 トの出力指示などである。なお、製品ゥエーハ枚数を含むチャートの出力指示におけ る製品ゥヱーハ枚数は、製品ゥヱーハ枚数の範囲(20〜40など)でも良いし、製品ゥ エーハ枚数 (40など)を示す情報だけでも良い。出力指示は、チャートの種類 (SPC チャート、相関チャート、または MDチャートなど)の情報を含んでも良い。また、出力 指示は、チャート出力する対象のデータのタイプ (温度や、ガス流量や、圧力などの 測定情報)を含んでも良い。また、出力指示は、チャートを構成する点または Zおよ び線の属性情報を含んでも良い。属性情報とは、点の色、点の種類 (形状)、線の色 、線種などである。さら〖こ、出力指示がレシピ識別子を含む場合、通常、当該レシピ 識別子は、複数の装置の同一の識別子を有する複数のレシピを示すものである。指 示受付部 1205は、例えば、無線または有線の受信手段力もなる。指示の入力手段 は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示受 付部 1205は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メ-ュ 一画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。

出力情報構成部 1206は、異常検知部 1210の判断結果に応じた出力情報を構成 する。例えば、出力指示が含む製品ゥーハ枚数条件に合致する複数の測定情報 を異常検知部 1210が測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した複数の 測定情報から、出力情報構成部 1206は、チャートを構成する。その際、出力情報構 成部 1206は、異常な測定情報と正常な測定情報とを視覚的に区別して出力情報を 構成することが好適である。ここで、出力情報とは、例えば、異常である測定情報に 関する測定部名と時刻のリスト情報である。また、出力情報とは、例えば、当該リスト 情報力も構成されたチャートの情報である。出力情報とは、例えば、正常である旨、 異常である旨である。出力情報とは、例えば、正常 Z異常のどちらかを示す音情報( ブザーなど)である。また、出力情報構成部 1206は、異常の検知のために、異常値 、正常値の範囲を示したチャートを構成する処理を行っても良い。かかる場合、異常 検知部 1210が、出力指示に合致する測定情報を読み込むが、異常検知の処理を 行うか否かは問わない。出力情報構成部 1206は、出力指示に二以上の装置識別 子が含まれる場合、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチヤ一 トを構成することは好適である。また、出力情報構成部 1206は、出力指示に二以上 のレシピ識別子が含まれる場合、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別でき る態様のチャートを構成することは好適である。ここで、装置識別子ごとの測定情報 が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が 2以上の装置識別子を含む 場合、装置識別子ごとの測定情報が異なる点の種類 (四角と丸の形状、色、大きさ) で出力されているチャートや、装置識別子ごとの測定情報が異なる線の色で連結さ れているチャートなどである。また、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別でき る態様のチャートとは、出力指示が一つの装置識別子のみを含む場合、当該一の装 置識別子の複数の測定情報力もなるチャートをいう。また、レシピ識別子ごとの測定 情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が 2以上のレシピ識別子 を含む場合、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる点の種類(四角と丸の形状、色、 大きさ)や、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる線の種類 (実線と破線など)で連結 されているチャートなどである。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別 できる態様のチャートとは、出力指示が一つのレシピ識別子のみを含む場合、当該 一のレシピ識別子の複数の測定情報力もなるチャートをいう。また、出力情報構成部 1206は、読み出された複数の測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的 に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時 刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートである SPCチャート(単 変量異常検知チャート)を構成しても良い。 SPCチャートは、単変量を監視して異常 検知を行うためのチャートである。 SPCチャートにおいて、監視対象の上下限値 (管 理値)を設定 (条件情報格納部 1209が予め保持)しておき、管理値外の値となった 場合、異常検知部 1210が異常を検知し、検知した異常を視覚的に示すことは好適 である。また、出力情報構成部 1206は、出力指示が一以上の装置識別子を含む場 合、当該一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報から、装置 識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定 情報の相関を示すチャートである相関チャート(2変量異常検知チャート)を構成して も良い。相関チャートは、 2変量の相関関係を監視するチャートである。また、出力情 報構成部 1206は、出力指示が一以上のレシピ識別子を含む場合、当該一以上のレ シピ識別子のうちの、ずれ力を有する複数の測定情報から、レシピ識別子ごとの測 定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関 を示すチャートである MDチャートを構成しても良い。チャートの構成は、例えば、時 間軸にしたがって、複数の測定情報を線で連結し、チャートを得る処理である。値と 時刻情報を有する測定情報が複数与えられた場合に、チャートを構成する処理は公 知技術であるので、詳細な説明は省略する。また、値と時刻情報を有する測定情報 が複数与えられた場合に、 SPCチャートや、相関チャートや、 MDチャートを構成す る処理は公知技術であるので、詳細な説明は省略する。また、二種類の測定情報と は、一の測定情報の中に、二種類の測定された値 (例えば、温度とガス流量)を含む 情報も含む。また、三種類以上の測定情報とは、一の測定情報の中に、三種類以上 の測定された値 (例えば、温度とガス流量と圧力)を含む情報も含む。出力情報構成 部 1206は、通常、 MPUやメモリ等力も実現され得る。出力情報構成部 1206の処理 手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記 録されている。但し、ハードウェア(専用回路)で実現しても良い。

[0031] 出力部 1207は、出力情報構成部 1206が構成したチャートを出力する。ここで、出 力とは、通常、クライアント装置 13への送信である。ただし、出力部 1207は、サーバ 装置 12に接続されて!、るディスプレイにチャートを表示したり、プリンタへ印字したり、 外部の装置へ送信したりしても良い。出力部 1207は、無線または有線の通信手段 で実現され得る。ただし、出力部 1207は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出 力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現しても良い。

[0032] 出力指示蓄積部 1208は、点または Zおよび線の属性情報と装置識別子、または 点または Zおよび線の属性情報とレシピ識別子を有するなどの指示である出力指示 を蓄積する。出力指示蓄積部 1208は、例えば、指示受付部 1205がチャートの設定 (色情報を含む)を蓄積する指示である蓄積指示を受け付けた場合に、点または Z および線の属性情報と装置識別子、または点または Zおよび線の属性情報とレシピ

識別子を有する出力指示を蓄積しても良い。また、出力指示蓄積部 1208は、通常、 MPUやメモリ等力も実現され得る。出力指示蓄積部 1208の処理手順は、通常、ソ フトウェアで実現され、当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。伹 し、ハードウェア (専用回路)で実現しても良い。

[0033] 条件情報格納部 1209は、異常検知の条件に関する情報である条件情報を格納し ている。条件情報は、例えば、測定値の正常範囲を示す上限値と下限値である。条 件情報は、例えば、正常値と異常値の間の上限値のみでも良い。その他、条件情報 は、測定の対象の値 (温度、圧力、ガス流量など)によって、異なる。また、条件情報 の構造は問わない。条件情報格納部 1209は、不揮発性の記録媒体が好適である 力 揮発性の記録媒体でも実現可能である。

[0034] 異常検知部 1210は、測定情報格納部 1201の測定情報が有する測定値が異常で あるか、正常であるかを判断する。異常検知部 1210は、条件情報格納部 1209の条 件情報を用いて、測定情報が有する測定値が異常であるか、正常であるかを判断す る。さらに具体的には、異常検知部 1210は、指示受付部 1205が出力指示を受け付 けた場合、当該出力指示が含む製品ゥーハ枚数条件に合致する複数の測定情報 を測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、それぞ れ条件情報に合致するか否かを判断する。また、異常検知部 1210は、指示受付部 1205が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含むゥエーハ枚数条件に合 致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する複数の測定情 報を測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報が、それぞれ条 件情報に合致するか否かを判断する。また、異常検知部 1210は、指示受付部 1205 力 S出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥエーハ枚数条件に合致 し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれ力を有する複数の測定情 報を測定情報格納部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報が、それぞれ条 件情報に合致するか否かを判断する。異常検知部 1210は、通常、 MPUやメモリ等 から実現され得る。異常検知部 1210の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、 当該ソフトウェアは ROM等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウア(専用 回路)で実現しても良い。なお、異常検知部 1210における異常検知処理は、公知の 異常検知の処理でも良い。

[0035] 指示入力部 1301は、各種の指示を入力する。各種の指示とは、起動の指示や、チ ヤートの出力指示や、チャートの属性値 (線種や線の色や点の種類や点の色など)の 変更の指示などである。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメ-ュ 一画面によるもの等、何でも良い。指示入力部 1301は、テンキーやキーボード等の 入力手段と、そのデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現さ れ得る。

[0036] 指示送付部 1302は、指示入力部 1301から入力された指示をサーバ装置 12に送 付する。ここでの送付とは、通常、通信手段を用いた送信である。指示送付部 1302 は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。

[0037] 受付部 1303は、サーバ装置 12からチャートの情報を受け付ける。ここでの受け付 けとは、通常、通信手段を用いた受信である。受付部 1303は、無線または有線の通 信手段等で実現され得る。

[0038] 表示部 1304は、受付部 1303が受け付けたチャートの情報をディスプレイに表示 する。表示部 1304は、ディスプレイを含むと考えても含まないと考えても良い。表示 部 1304は、ディスプレイのドライバーソフトまたは、ディスプレイのドライバーソフトと ディスプレイ等で実現され得る。

[0039] 次に、群管理システムの動作について説明する。まず、製造装置 11の動作につい て図 4のフローチャートを用いて説明する。

[0040] (ステップ S401)処理部 1105は、レシピ格納部 1102のレシピを読み出す。

[0041] (ステップ S402)処理部 1105は、カウンタ iに 1を代入する。

[0042] (ステップ S403)処理部 1105は、ステップ S401で読み込んだレシピ中に、 i番目の 処理ステップが存在するか否かを判断する。 i番目の処理ステップが存在すればステ ップ S404に行き、 i番目の処理ステップが存在しなければステップ S409に行く。

[0043] (ステップ S404)処理部 1105は、 i番目のステップの処理を実行する。

[0044] (ステップ S405)測定部 1106は、予め決められた 1種以上の測定 (例えば、温度と 圧力)を行い、元情報 (ここでの元情報は、通常、 1種以上の値のみ有する)を取得す る。

[0045] (ステップ S406)測定部 1106は、図示しな、時計から時刻情報を取得し、測定し た情報に時刻情報を付与して、元情報を構成する。

[0046] (ステップ S407)元情報蓄積部 1107は、ステップ S406で構成した元情報を、図示 しな、メモリに一時蓄積する。

[0047] (ステップ S408)元情報送信部 1108は、ステップ S407で一時蓄積した元情報 (こ こでは、 1種以上の値と時刻情報の組)をサーバ装置 12に送信する。なお、元情報 送信部 1108は、サーバ装置 12と通信するための情報 (例えば、サーバ装置 12の IP アドレス等)を保持して、る、とする。

[0048] (ステップ S409)処理部 1105は、カウンタ iを 1、インクリメントし、ステップ S403に戻 る。

[0049] (ステップ S410)元情報送信部 1108は、製品ゥエーハ枚数格納部 1104から、製 品ゥエーハ枚数を読み出す。

[0050] (ステップ S411)元情報送信部 1108は、レシピ格納部 1102から、レシピ識別子を 読み出す。このレシピ識別子は、ステップ S401で読み込んだレシピのレシピ識別子 である。

[0051] (ステップ S412)元情報送信部 1108は、製造装置識別子格納部 1103から、製造 装置識別子を読み出す。

[0052] (ステップ S413)元情報送信部 1108は、ステップ S410力らステップ S412で読み 出した製品ゥエーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子をサーバ装置 12に 送信する。なお、元情報送信部 1108は、サーバ装置 12と通信するための情報 (例 えば、サーバ装置 12の IPアドレス等)を保持している、とする。

[0053] なお、図 4のフローチャートにおいて、送信する元情報が有する 1種以上の値と時 刻情報の複数の組と、製品ゥヱーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識別子を 一緒にサーバ装置 12に送信しても良い。

[0054] 次に、サーバ装置 12の動作について図 5のフローチャートを用いて説明する。

[0055] (ステップ S501)指示受付部 1205は、指示を受け付けた力否かを判断する。指示 を受け付ければステップ S502に行き、指示を受け付けなければステップ S508に行

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[0056] (ステップ S502)異常検知部 1210は、ステップ S501で受け付けた指示がチャート の出力指示である力否かを判断する。チャートの出力指示であればステップ S503に 行き、チャートの出力指示でなければステップ S501に戻る。

[0057] (ステップ S503)異常検知部 1210は、ステップ S501で受け付けた指示が有する 製品ゥエーハ枚数 (製品ゥエーハ枚数の範囲でも良い)、または製品ゥエーハ枚数と 一以上の装置識別子、または製品ゥエーハ枚数と一以上のレシピ識別子、または製 品ゥエーハ枚数と一以上の装置識別子と一以上のレシピ識別子を取得する。なお、 ステップ S501で受け付けた指示が、総ゥエーハ枚数など他の属性値を含む場合、 異常検知部 1210は、力かる他の属性値も取得する。

[0058] (ステップ S504)異常検知部 1210は、ステップ S503で取得した製品ゥエーハ枚数

(製品ゥーハ枚数の範囲でも良い)等をキーとして、測定情報格納部 1201を検索 し、 1以上の測定情報を取得する。なお、測定情報は、少なくとも値 (温度やガス流量 の値など)と時刻情報と製品ゥエーハ枚数を有する。また、一以上の装置識別子をキ 一として検索する、とは、一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する測定情報を 取得することである。また、一以上のレシピ識別子をキーとして検索する、とは、ー以 上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する測定情報を取得することである。

[0059] (ステップ S505)異常検知部 1210は、ステップ S504で取得した 1以上の測定情報 が有する各測定値が異常であるか、正常である力否かを判断する。異常検知部 121 0は、条件情報を用いて、各測定値が異常であるか、正常である力否かを判断する。

[0060] (ステップ S506)出力情報構成部 1206は、ステップ S 504で取得した測定情報か ら、受け付けた出力指示に従ったチャートなどの出力情報を構成する。なお、出力情 報がチャートである場合、チャートの線の属性値 (線の色や線種や点の色や点の種 類など)は、指示された属性値や、デフォルトの属性値等であり、出力情報構成部 12 06は、力かる属性値を用いて、チャートを構成する。構成するチャートは、装置識別 子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャート、または Zおよびレシピ識別 子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートである。また、構成するチヤ ートは、出力指示が有するチャートの種類の情報(SPCチャート、相関チャート、 MD チャートなど)に従ったチャートである。また、出力情報構成部 1206は、ステップ S50 5における異常検知処理の結果に応じた出力情報を構成する。「異常検知処理の結 果に応じた出力情報」とは、異常な測定情報か、正常な測定情報かを明示する態様 の出力情報でも良いし、異常と正常の閾値を明示したチャート等でも良い。

[0061] (ステップ S507)出力部 1207は、ステップ S505で構成した出力情報を出力する。

ここで、出力とは、クライアント装置 13への送信である。ステップ S501に戻る。

[0062] (ステップ S508)元情報受信部 1202は、 1種類以上の値と時刻情報の組を製造装 置 11力受信したか否かを判断する。 1種類以上の値と時刻情報の組を受信すれば ステップ S509に行き、 1種類以上の値と時刻情報の組を受信しなければステップ S5 10に行く。

[0063] (ステップ S509)元情報受信部 1202は、ステップ S508で受信した 1種類以上の値 と時刻情報の組を、図示しないメモリに追記する。ステップ S501に戻る。

[0064] (ステップ S510)元情報受信部 1202は、製品ゥエーハ枚数等の属性値を製造装 置 11から受信したか否かを判断する。製品ゥヱーハ枚数等の属性値を受信すれば ステップ S511に行き、製品ゥエーハ枚数等の属性値を受信しなければステップ S50 1に戻る。製品ゥエーハ枚数等の属性値とは、例えば、製品ゥエーハ枚数と装置識別 子とレシピ識別子である。

[0065] (ステップ S511)元情報受信部 1202は、メモリに追記した 1種類以上の値と時刻情 報の複数の組に対して、ステップ S510で受信した製品ゥエーハ枚数等の属性値を 付加し、元情報を構成する。ここで、複数の元情報が構成される。また、製品ゥヱーハ 枚数等の属性値は、 1種類以上の値と時刻情報の複数の組に対して一つ付与され て 、ても良、し、 1種類以上の値と時刻情報の各組に対して一つの属性値が付与さ れていても良い。つまり、元情報のデータ構造は問わない。

[0066] (ステップ S512)測定情報取得部 1203は、ステップ S511で構成した複数の元情 報に対して所定の演算を行い、 1以上の測定情報を取得する。複数の元情報に対し て所定の演算を行うとは、複数の元情報が有する複数の組が有する 1種類以上の値 それぞれに対して所定の演算 (平均値算出、標準偏差算出、最大値取得など)を行 うことである。また、所定の演算の対象となる複数の元情報とは、所定時間間隔 (例え ば、 10分)ごとの複数の元情報ごとであってり、所定のステップ数ごとの複数の元情 報ごとである。

[0067] (ステップ S513)測定情報蓄積部 1204は、ステップ S512で取得した 1以上の測定 情報を測定情報格納部 1201に蓄積する。ステップ S501に戻る。

[0068] なお、図 5のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は 終了する。

[0069] また、図 5のフローチャートにおいて、元情報と測定情報は同じ情報でも良い。かか る場合、ステップ S512において、元情報を読み出す処理を行う。

[0070] また、図 5のフローチャートにおいて、チャートの出力指示を受け付ける前に、測定 情報が蓄積されている、とする。

[0071] また、図 5のフローチャートにおいて、元情報を蓄積しておいて、チャートなどの出 力情報の出力を行う際に、複数の元情報に対して所定の演算を行い、 1以上の測定 情報を取得し、当該 1以上の測定情報を用いて出力情報を構成し、出力しても良い。 つまり、測定情報を構成するタイミングは問わない。

[0072] さらに、図 5のフローチャートにおいて、ユーザが、製品ゥエーハ枚数条件を含む出 力情報の出力指示を入力することにより、リアルタイムに異常検知が開始され、元情 報を受信する度に、出力情報 (チャートなど)を更新しながら異常検知処理を行い、 異常が起こればすぐにユーザに知らせるようにすることは好適である。つまり、図 5の フローチャートにおいて、以下の処理を行うことはさらに好適である。つまり、元情報 受信部 1202は、製造装置 11から元情報を次々と、リアルタイム (製造装置 11での製 造中)に受信し、測定情報取得部 1203は、元情報から測定情報を次々と構成し、測 定情報蓄積部 1204は、測定情報格納部 1201に測定情報を少なくとも一時的に配 置し、異常検知部 1210は、次々に構成される測定情報から異常の検知処理を行い 、出力情報構成部 1206は、出力情報を更新し、出力部 1207は、更新された出力情 報を次々に出力する。力かる処理により、リアルタイムに異常検知がなされ、ユーザは 異常の発生を直ちに認識できる。

[0073] 次に、クライアント装置 13の動作について説明する。クライアント装置 13の指示入 力受付部 1301がユーザ力もチャートの出力指示を受け付けた場合、指示送付部 13 02は、当該出力指示をサーバ装置 12に送付し、サーバ装置 12での処理結果であ るチャートの情報を受付部 1303が受け付け、表示部 1304がチャートを表示する。

[0074] 以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。

群管理システムの概念図は図 1である。

[0075] 本具体例において、複数の製造装置 11の入力受付部 1101が、ユーザからのゥェ ーハの製造の開始指示を受け付けると、処理部 1105は、レシピ格納部 1102のレシ ピを読み出し、読み出したレシピを実行し、ゥエーハの製造処理を進める。そして、測 定部 1106は、ゥヱーハの製造処理中、例えば、 1秒ごとに、予め決められた炉内の ガス流量を測定し、取得したガス流量と、図示しない時計から取得した時刻情報を対 にして、元情報送信部 1108は、例えば、 1秒ごとにサーバ装置 12に送信する。この 送信する元情報の例は、図 6である。元情報は、ガス流量、時刻情報を有する。なお 、時刻情報は、時刻を示す情報であり、時 ·分'秒までを特定する情報でも良いし、日 時、および時だけの情報でも良い。

[0076] また、レシピのすべてのステップの実行が完了した段階で、製造装置 11の元情報 送信部 1108は、製造装置識別子格納部 1103の製造装置識別子、レシピ格納部 1 102のレシピ識別子 (被処理基板に対する所定のプロセスを行う際に実行したレシピ の識別子)、および製品ゥエーハ枚数格納部 1104の製品ゥエーハ枚数を読み出し、 サーバ装置 12に送信する。

[0077] 次に、サーバ装置 12の元情報受信部 1202は、例えば、 1秒ごとに、順次、ガス流 量と時刻情報の組の情報を受信し、一時蓄積する。そして、製造装置識別子、レシピ 識別子、および製品ゥエーハ枚数を受信する。そして、元情報受信部 1202は、ガス 流量と時刻情報の複数の組、製品ゥヱーハ枚数、レシピ識別子、および製造装置識 別子を有する元情報を一時的にメモリに記録する。力かる元情報の例を図 7に示す。 図 7は、元情報管理表である。元情報管理表は、「製造装置識別子」「レシピ識別子」 「製品ゥヱーハ枚数」「値 (ガス流量)」「時刻情報」を有する。図 7において、一の製造 装置識別子、レシピ識別子、製品ゥエーハ枚数に対して、複数の値 (ここでは、 1種類 の値)と時刻情報が対応するデータ構造である。また、図 7において、複数の製造装 置 11、および複数のレシピの実行に対する元情報が管理されて、る。

[0078] 次に、測定情報取得部 1203は、同一の製造装置識別子、レシピ識別子、および

製品ゥーハ枚数ごとに、複数の元情報を取得し、当該複数の元情報に対して所定 の演算を行い、複数の測定情報を取得する。ここでは、所定の演算は、平均値の算 出であり、測定情報取得部 1203は、 1時間おきに平均値を算出する、とする。そして 、測定情報取得部 1203は、図 7の元情報管理表から、図 8に示す測定情報管理表 を得た、とする。

[0079] 次に、測定情報蓄積部 1204は、測定情報取得部 1203が取得した図 8の測定情 報管理表を測定情報格納部 1201に蓄積する。

[0080] 以上の処理を繰り返し、測定情報格納部 1201には、例えば、膨大なデータ量の測 定情報が格納されている、とする。

[0081] また、条件情報格納部 1209には、炉内のガス流量の正常 Z異常を判断する条件 情報「300く =ガス流量く = 350」を格納している、とする。条件情報「300く =ガス 流量 < = 350」は、ガス流量が 300以上、 350以下の場合は、正常であることを示す 。つまり、条件情報「300く =ガス流量く = 350」は、ガス流量が 300未満、または 3 50より大きい場合は、異常であることを示す。

[0082] 力かる状況において、ユーザは、クライアント装置 13から、図 9に示す画面に対して 、必要な情報を入力し、「チャート出力」ボタンを押下する、とする。図 9は、チャートの 出力指示を入力し、チャートを出力するための画面である。ここで、必要な情報とは、 データタイプ (測定情報のデータの種類であり、例えば、ガス流量や温度や圧力など 力 Sある)、ゥエーハ枚数の情報、製造装置識別子、レシピ識別子のうちの 1以上の情 報である。通常、データタイプは必要である。また、図 9の画面に対して、データタイ プ、ゥエーハ枚数の情報のみの入力でも良い。さらに、図 9の画面に対して、データタ イブ、製造装置識別子のみの入力でも、データタイプ、レシピ識別子のみの入力でも 良い。図 9において、データタイプ「ガス流量」、製品ゥエーハ枚数「35〜40」、製造 装置識別子「E1」、レシピ識別子「R1」「R5」が入力されていることとなる。製品ゥエー ハ枚数は、「製品のみ」のトグルが選択されていることにより認識される。したがって、 かかる状況で、ユーザカ^チャート出力」ボタンを押下すれば、指示入力部 1301は、 「ガス流量」の測定情報 (例えば、図 8に示す情報)のうち、「35< =製品ゥーハ枚 数く =40」かつ「製造装置識別子 =E1」かつ「レシピ識別子 =R1、または R5」の条 件に合致する測定情報を出力する出力指示を受け付ける。なお、かかる出力指示の 例は、例えば、「チャート出力データタイプ ="ガス流量" and 35< =製品ゥエー ハ枚数く =40 and 製造装置識別子 = "E1" and レシピ識別子 = "Rl"or"R2" 」である。

[0083] 次に、指示送付部 1302は、出力指示「チャート出力データタイプ = "ガス流量〃 and 35< =製品ゥエーハ枚数く =4 and 製造装置識別子 = "E1" and レシピ 識別子 = "R 1 "or"R2"」をサーバ装置 12に送信する。

[0084] そして、サーバ装置 12の指示受付部 1205は、出力指示「チャート出力データタ イブ = "ガス流量" and 35< =製品ゥエーハ枚数く =4 and 製造装置識別子 = "El〃 and レシピ識別子 =〃Rl"or"R2"」を受信する。

[0085] 次に、サーバ装置 12の異常検知部 1210は、測定情報格納部 1201に格納されて いる測定情報から、出力指示「チャート出力データタイプ ="ガス流量" and 35く =製品ゥェーハ枚数く =4 and 製造装置識別子 = "E1" and レシピ識別子 =" Rl"or"R2"jに合致する測定情報を検索し、取得する。具体的には、異常検知部 12 10は、図 8の測定情報管理表から、「35< =製品ゥエーハ枚数く =4 and 製造装 置識別子 = "E1" and レシピ識別子 = "Rl"or"R2"」に合致するレコードを検索す る。そして、異常検知部 1210は、図 10の情報を得る。

[0086] 次に、異常検知部 1210は、条件情報格納部 1209から条件情報「300< =ガス流 量 < = 350」を読み出し、当該条件情報を用いて、図 10の測定情報の異常を検知 する。図 10の情報「平均値」のすベて力 300未満であるので、異常値である、と判 断される。

[0087] 次に、出力情報構成部 1206は、図 10の情報と、異常検知部 1210の判断結果を 用いて、出力情報であるチャートを構成する。本チャートは、横軸が時刻情報の示す 時刻、縦軸が値 (ガス流量の平均値)である折れ線グラフである。

[0088] 次に、出力部 1207は、出力情報構成部 1206が構成した折れ線グラフをクライアン ト装置 13に送信する。

[0089] 次に、クライアント装置 13の受付部 1303は当該折れ線グラフを受信し、表示部 13 04は、図 11に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。図 11において、正 常範囲を網掛けで示して、る。

[0090] 以上の処理により、ユーザは、所望の製品ゥヱーハ枚数を含む条件で測定された 値のみに着目して、製造装置の製造の状態を知ることができ、製造装置の異常の検 出に極めて有効である。具体的には、製品ゥエーハ枚数によってガスを流した場合 の抵抗値が異なり、そのために、異常の発生頻度や異常の種類などが異なってくる 場合があり、力かる状況に対応するため、所望の製品ゥヱーハ枚数を含む条件で測 定された値のみに着目して、製造装置の製造の状態を知り、異常の検出を精度高く 行なえる。なお、図 11の折れ線グラフにおいて、製品ゥエーハ枚数が 35から 40と多 い場合に、ガスの流量が正常範囲より少なくなり(例えば、 300が正常な状態の下限 値であるとする。)、不良が発生する可能性が高い、と判断できる、とする。

[0091] また、図 9において、ユーザが、ゥエーハ枚数の「すべて」を選択した場合、ダミーゥ エーハと製品ゥエーハ枚数力なる全ゥエーハ枚数を含む条件で、測定情報を検索 することとなる。かかる場合、測定情報は、全ゥエーハ枚数の属性値を含むこととなる

[0092] また、図 9において、ユーザは、ゥエーハ枚数 (製品ゥエーハ枚数、または全ゥエー ハ枚数)、 1以上の製造装置識別子、 1以上のレシピ識別子を含む条件をいかように 指定しても良い。つまり、ユーザは、製品ゥエーハ枚数のみを指定してチャート出力 を得ても良いし、製品ゥエーハ枚数と 1以上の製造装置識別子のみを指定してチヤ ート出力を得ても良いし、製品ゥエーハ枚数と 1以上のレシピ識別子のみを指定して チャート出力を得ても良いし、製品ゥエーハ枚数と 1以上の製造装置識別子と 1以上 のレシピ識別子を指定してチャート出力を得ても良い。力かる場合も、チャートを出力 するまでの処理は、上述した処理と同様である。また、図 9において、指定したゥエー ハ枚数は、範囲を有する情報であった(Fromと Toの BOXの両方がチェックされて!/ヽ る) 1S 一の値のみの指定でも良いことは言うまでもない。

[0093] 以上、本実施の形態によれば、製品ゥエーハ枚数を用いて、測定された情報をフィ ルタリングして、チャートを構成することができる。その結果、精度の高い異常の検知 ができる。具体的には、製品ゥヱーハには配線が接続されており、ダミーのゥヱーハ には配線が接続されていないのが通常である力例えば、製品ゥエーハ枚数によつ

てガスを流した場合の抵抗値が異なり、そのために、異常の発生頻度や異常の種類 などが異なってくる場合がある。本実施の形態によれば、力かる状況に対応した異常 の検知が可能となるチャートの出力ができる。さらに具体的には、例えば、ダミーのゥ エーハ枚数を含めない製品ゥエーハ枚数をキーとして測定された情報をフィルタリン グして、異常検知を行うため、測定情報のばらつきを小さくでき、そのため、異常の判 断の閾値を狭く設定でき、その結果精度の高い異常の検知ができる。

[0094] なお、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 12に示すように、出力指 示 (SPCチャートを出力する指示)に合致する複数の測定情報を測定情報格納部 12 01から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは Zおよびレ シピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の 測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロ ットしたチャートである SPCチャートであっても良い。なお、図 12に示す SPCチャート は、例えば、一つの装置識別子の測定情報力も構成されている SPCチャートである。 また、図 12に示す SPCチャートにおいて、管理値 (上限)、および管理値 (下限)が出 力されている。この管理値の外の値となった場合、異常であることを示している。管理 値 (上限)、および管理値 (下限)は、条件情報格納部 1209が予め保持している。

[0095] また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 13に示すように、出力指 示 (相関チャートを出力する指示)に合致する複数の測定情報を測定情報格納部 12 01から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは Zおよびレ シピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の 測定情報 (例えば、温度と圧力など)の相関を示すチャートである相関チャートであつ ても良い。なお、図 13に示す相関チャートは、例えば、一つの装置識別子の、二種 類の測定情報力も構成されている相関チャートである。また、図 13に示す相関チヤ ートにおいて、 2つの管理値が出力されている。この 2つの管理値の範囲外の値とな つた場合、異常であることを示している。

[0096] また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図 14に示すように、出力指 示 (MDチャートを出力する指示)が含む一以上の装置識別子の!/、ずれか、または Z および一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納

部 1201から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは Zおよ びレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類 以上の測定情報 (例えば、 2箇所の温度とガス流量と圧力)の相関を示すチャートで ある MDチャートであっても良い。なお、図 14に示す MDチャートは、例えば、一つの 装置識別子の測定情報から構成されている MDチャートである。また、図 14に示す MDチャートは、例えば、マハラノビスの距離を用いて異常判定しているチャートであ る。さらに具体的には、図 14に示す MDチャートは、正常時のデータをモデルィ匕し、 マハラノビスの距離を用いて異常時の度合いを数値で示すチャートである。また、図 14に示す MDチャートにおいて、 2つの管理値が出力されている。この 2つの管理値 の範囲外の値となった場合、異常であることを示して、る。

[0097] また、本実施の形態の具体例において、出力されたチャートは、一の装置識別子ま たは一のレシピの測定情報が表示されたチャートであり、一種類の測定情報が有す る時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報を連結した一の折れ線 グラフであった。しかし、出力されるチャートは、図 15に示すように、出力指示が含む 3つの装置識別子を有する複数の測定情報を測定情報格納部 1201から読み出し、 当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる 態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読 み出した複数の測定情報をプロットした 3つのチャートであっても良い。かかる場合、 出力指示は、例えば、「装置 A」「装置 B」「装置 C」の 3つの装置識別子を含む。そし て、異常検知部 1210は、「装置 A」「装置 B」「装置 C」をそれぞれキーとして、 3度、測 定情報格納部 1201を検索し、 3度、測定情報を取得し、それぞれのキーごとに、出 力情報構成部 1206は、異なる点や線の属性値のチャートを別個に構成し、 3つのチ ヤートを得る。そして、 3つのチャートが出力される。

[0098] 本実施の形態において、上記のように 3つ以上のチャート(SPCチャート、相関チヤ ート、 MDチャートなど)の表示形態を自由に選択できるので、全数検査の結果に応 じた、状況分析が可能となる。

[0099] また、本実施の形態の具体例において、元情報や測定情報は、予めサーバ装置 1 2が保持していても良い。かかる場合、元情報または測定情報は、図示しない手段に

より製造装置 11から取得され、記録媒体等を経由してサーバ装置 12に渡される。

[0100] また、本実施の形態において、ユーザは着目するチャートの一部を拡大する指示を 入力し、当該チャートの一部のスケールを変えて(測定情報の時間間隔やステップの 間隔を変えて)チャート出力することは好適である。

[0101] また、本実施の形態において、元情報と測定情報が同じ構成でも良い。かかる場合

、測定情報取得部や測定情報蓄積部は不要となる。

[0102] また、本実施の形態において、製造装置とサーバ装置間で元情報を送受信するこ とは必須ではない。元情報は、例えば、記録媒体を経由して、製造装置からサーバ 装置に与えられても良い。

[0103] また、本実施の形態において、群管理システムは、クライアント装置 13を有さなくて も良い。かかる場合、ユーザは、サーバ装置 12に対して、出力指示などの指示を入 力する。

[0104] また、本実施の形態の具体例において、装置識別子またはレシピ識別子を指定し てチャートを出力したが、 1以上の装置識別子および 1以上のレシピ識別子を指定し てチャートを出力しても良い。ユーザが、 1以上の装置識別子および 1以上のレシピ 識別子を含む出力指定を入力した場合、異常検知部 1210は、指定された 1以上の 各装置識別子および 1以上の各レシピ識別子をそれぞれキーとして測定情報 (また は元情報)を検索し、異常を検知し、出力情報構成部 1206は、チャートを構成する。

[0105] また、本実施の形態において、指示受付部が出力指示を受け付けたことをトリガー として、リアルタイムに異常検知処理を行い、元情報を受信する毎に出力情報 (チヤ ートなど)を更新することは、極めて好適である。異常の発生がユーザに直ちに分か る力である。なお、力かるリアルタイムの異常検知は、以下の処理である。つまり、異 常検知部は、測定情報取得部が次々に取得する測定情報に対して、条件情報に合 致するか否かを直ちに判断し、出力情報構成部は、異常検知部の判断結果に応じ た出力情報を次々に構成し、出力部は、出力情報構成部が構成した出力情報を更 新しながら出力する。

[0106] さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、この ソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェア を CD— ROMなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、本実施の形態にお けるサーバ装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、こ のプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の 製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置で製造 する製品のゥヱーハ枚数である製品ゥヱーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情 報である測定情報を、複数格納しており、製品ゥーハ枚数に関する条件である製 品ゥヱーハ枚数条件を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、 前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥ ーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測 定情報が、条件情報に合致するか否かを判断する異常検知ステップと、前記異常検 知ステップの判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成ステップと、前記 出力情報構成ステップで構成した出力情報を出力する出力ステップを実行させるた めのプログラム、である。

[0107] また、上記プログラムにお、て、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定さ れた情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と 製品ゥーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製 品ゥエーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、前記異常検知ステップにお、て 、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品 ゥエーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれか を有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報 に合致する力否かを判断するプログラム、であることは好適である。

[0108] また、上記プログラムにお、て、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定さ れた情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と 製品ゥーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製 品ゥエーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、前記異常検知ステップにお、て 、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品 ゥエーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれか を有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報

に合致する力否かを判断するプログラム、であることは好適である。

[0109] また、上記プログラムにお、て、前記測定情報は、前記複数の製造装置で測定さ れた情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と製品ゥェ ーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、前記出力情報の出力指示は、製品ゥー ハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、前記異常検知ステップにおいて、前記 指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥエー ハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有 する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に合 致するカゝ否かを判断プログラム、であることは好適である。

[0110] また、上記プログラムは、コンピュータに、前記複数の測定情報の元になる情報で ある元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、前記元情報 受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行!、、複数の測定情 報を取得する測定情報取得ステップと、前記測定情報取得ステップで取得した複数 の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるためのプログラム、 であっても良い。

[0111] また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステツ プで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態 様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記 読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートである SPCチャートを構成すること は好適である。

[0112] また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステツ プで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態 様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを 構成することは好適である。

[0113] また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステツ プで読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態 様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートである MDチヤ一 トを構成することは好適である。

[0114] また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステツ プで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる 態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前 記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートである SPCチャートを構成する ことは好適である。

[0115] また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステツ プで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる 態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャート を構成することは好適である。

[0116] また、上記プログラムの前記出力情報構成ステップにおいて、前記異常検知ステツ プで読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる 態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートである MDチヤ ートを構成することは好適である。

[0117] また、上記各実施の形態において、各処理 (各機能)は、単一の装置 (システム)に よって集中処理されることによって実現されてもよぐあるいは、複数の装置によって 分散処理されることによって実現されてもょ、。

[0118] なお、上記プログラムにお、て、情報を送信するステップや、情報を受信するステツ プなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信するステップにおける モデムやインターフェースカードなどで行われる処理(ノヽ一ドウエアでしか行われなヽ 処理)は含まれない。

[0119] また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよぐ複数であって もよい。すなわち、集中処理を行ってもよぐあるいは分散処理を行ってもよい。

[0120] また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する 2以上の通信手段 (元情 報受信部や出力部など)は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでも ない。

[0121] 本発明は、以上の実施の形態に限定されることなぐ種々の変更が可能であり、そ れらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。

[0122] また、 2006年 5月 9日に出願された日本国特許出願番号 2006— 129729の詳細 な説明、図面、特許請求の範囲を含む開示は、その全体の参照により、この開示に 含まれる。

産業上の利用可能性

[0123] 以上のように、本発明にかかるサーバ装置は、製品ゥエーハ枚数をキーとして、測 定された情報をフィルタリングできる、という効果を有し、被処理基板に対する所定の プロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装 置を具備する群管理システム等として有用である。

図面の簡単な説明

[0124] [図 1]実施の形態における群管理システムの概念図を示す図

[図 2]同半導体ゥーハ製造装置の例を示す図

[図 3]同群管理システムのブロック図

[図 4]同製造装置の動作について説明するフローチャート

[図 5]同サーバ装置の動作にっ、て説明するフローチャート

[図 6]同元情報の例を示す図

[図 7]同元情報管理表を示す図

[図 8]同測定情報管理表を示す図

[図 9]同クライアント装置の出力指示の入力画面の例を示す図

[図 10]同異常検知部が取得したチャートの元になる情報の例を示す図

[図 11]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図

[図 12]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図

[図 13]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図

[図 14]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図

[図 15]同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図